本实用新型专利技术公开了传输装置以及真空系统，其中，传输装置可安装到真空腔体，并在所述真空腔体内传输载具，包括：驱动部，设置在所述真空腔体的外部；多个轨道部，设置在所述真空腔体内，所述轨道部支撑并传输所述载具，多个所述轨道部当中，其中一个所述轨道部设置有主传动轴，所述主传动轴和所述驱动部连接并被所述驱动部驱动；传动部，设置在所述真空腔体内，可拆卸地连接所述轨道部，以使所述驱动部经由所述主传动轴驱动多个所述轨道部。本实用新型专利技术的传输装置，能够容易地进行安装或者维护。能够容易地进行安装或者维护。能够容易地进行安装或者维护。
【技术实现步骤摘要】
传输装置以及真空系统
[0001]本技术涉及运输机构领域，由于涉及传输装置以及具有该传输装置的真空系统。
技术介绍
[0002]随着半导体及相关行业的蓬勃发展，作为行业中的关键系统之一，真空系统例如一些镀膜设备也得到了极大地发展。在真空系统当中，需要产品在真空状态下在各腔内、或者在腔体和腔体之间传输。例如，在板式真空系统中，通常采用托盘作为真空设备中工件的载体，工件的传输就变成了托盘的传输。
[0003]已知的真空系统中，托盘的传输通常使用双列动力滚轮的形式，每个滚轮的动力都通过磁流体等真空部件由真空腔外传入。数量众多的磁流体导致腔体结构复杂，安装、调试难度大，后期维护工作量大。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少一定程度上解决已知技术当中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种传输装置，能够容易地进行安装或者维护。此外，本技术还提出了具有该传输装置的真空系统。
[0005]根据本技术第一方面实施例的传输装置，可安装到真空腔体，并在所述真空腔体内传输载具，包括：驱动部，设置在所述真空腔体的外部；多个轨道部，设置在所述真空腔体内，所述轨道部支撑并传输所述载具，多个所述轨道部当中，其中一个所述轨道部设置有主传动轴，所述主传动轴和所述驱动部连接并被所述驱动部驱动；传动部，设置在所述真空腔体内，可拆卸地连接所述轨道部，以使所述驱动部经由所述主传动轴驱动多个所述轨道部。
[0006]根据本技术第一方面的传输装置，至少具有如下有益效果：由于设置了多个通过传动部可拆卸地连接的轨道部，并通过使驱动部经由其中一个轨道部的主传动轴驱动这些轨道部，能够减少驱动部的数量，简化传输装置的驱动结构，因此能够容易地进行安装或者维护。
[0007]在一些实施例中，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机通过磁流体或者磁耦合密封传动装置，和所述主传动轴连接。
[0008]在一些实施例中，所述轨道部包括：两块基板，所述基板分别设置在所述真空腔体的两侧；各所述基板上，分别可转动地安装有多根第一转轴；各所述第一转轴的一端，装有用于支撑并传输所述载具的支撑件。
[0009]在一些实施例中，所述第一转轴通过轴承座可转动地被支撑在所述基板。
[0010]在一些实施例中，所述主传动轴上装有第一直齿轮，设置有所述主传动轴的所述轨道部中，其中一根所述第一转轴和所述主传动轴连接，和所述主传动轴连接的所述第一转轴上，装有第二直齿轮，所述第一直齿轮和所述第二直齿轮啮合。
[0011]在一些实施例中，所述支撑件为滚轮，所述滚轮上设置有用于对所述载具进行导向的导向部。
[0012]在一些实施例中，所述传动部包括多个，各所述轨道部的两块基板，分别安装有一个所述传动部；所述传动部的一端和所述第一转轴连接，所述传动部的另一端和与其相邻的所述轨道部中的所述传动部可拆卸地连接。
[0013]在一些实施例中，各所述第一转轴的另一端，分别装有第一锥齿轮；所述传动部包括：第二转轴和多个装在所述第二转轴上的第二锥齿轮，所述第二锥齿轮分别和所述第一锥齿轮啮合。
[0014]在一些实施例中，相邻的所述传动部的所述第二转轴，通过联轴器可拆卸地连接。
[0015]根据本技术第二方面实施例的真空系统，包括：真空腔体，所述真空腔体安装有上述任一项的传输装置。
附图说明
[0016]图1是具有本技术的传输装置的真空系统的俯视示意图。
[0017]图2是图1中的真空系统的立体图。
[0018]图3是图1的传输装置的轨道部和传动部的立体图。
[0019]图4是图3中的A处的局部放大图。
具体实施方式
[0020]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0023]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0024]图1是具有本技术的传输装置100的真空系统124的俯视示意图,图2是图1中的真空系统124的立体图，参照图1、图2，根据本技术第一方面实施例的传输装置100，可安装到真空腔体101，并在真空腔体101内传输载具102，包括：驱动部103、多个轨道部104和传动部105。其中，驱动部103设置在真空腔体101的外部。多个轨道部104设置在真空腔体101内，轨道部104支撑并传输载具102。多个轨道部104当中，其中一个轨道部104设置有主
传动轴106，主传动轴106和驱动部103连接并被驱动部103驱动。传动部105设置在真空腔体101内，可拆卸地连接轨道部104，以使驱动部103经由主传动轴106驱动多个轨道部104。
[0025]在本实施例中，由于设置了多个通过传动部105可拆卸地连接的轨道部104，并通过使驱动部103经由其中一个轨道部104的主传动轴106驱动这些轨道部104，能够减少驱动部103的数量，简化传输装置100的驱动结构，因此能够容易地进行安装或者维护。
[0026]此外，由于轨道部104以组件的形式通过传动部105可拆卸地连接，因此，能够轨道部104能够整体安装或者拆卸，从而能够容易地进行安装或者维护。
[0027]具体地，本实施方式的真空腔体101，可以是例如用于镀膜、注液、贴膜等的各种类型的真空腔体101。
[0028]具体地，载具102是工件的载体，例如，在太阳能电池的生产制造工艺中，载具102可以是托盘等，用于承载待镀膜的衬底。
[0029]在一些实施例中，为了能够有效地对真空腔体101进行密封，驱动部103包括驱动电机107，驱动电机107通过磁流体108或者磁耦合密封传动装置，和主传动轴106连接。具体地，磁流体108、磁耦合密封传动装置可以选择市购的磁流体108或者磁耦合密封传动装置(未图示)。在本实施例中，由于仅设置了一个驱动部103驱动各轨道部104，因此，能够大大减少需要进行密封的磁流体108或者本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.传输装置，可安装到真空腔体，并在所述真空腔体内传输载具，其特征在于，包括：驱动部，设置在所述真空腔体的外部；多个轨道部，设置在所述真空腔体内，所述轨道部支撑并传输所述载具，多个所述轨道部当中，其中一个所述轨道部设置有主传动轴，所述主传动轴和所述驱动部连接并被所述驱动部驱动；传动部，设置在所述真空腔体内，可拆卸地连接所述轨道部，以使所述驱动部经由所述主传动轴驱动多个所述轨道部。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机通过磁流体或者磁耦合密封传动装置，和所述主传动轴连接。3.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述轨道部包括：两块基板，所述基板分别设置在所述真空腔体的两侧；各所述基板上，分别可转动地安装有多根第一转轴；各所述第一转轴的一端，装有用于支撑并传输所述载具的支撑件。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述第一转轴通过轴承座可转动地被支撑在所述基板。5.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述主传动轴上装有第一直齿轮，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，刘兵吉，廖凯，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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