本实用新型专利技术涉及晶圆检测技术领域，具体公开了一种晶圆的位置检测装置，该晶圆的位置检测装置包括量测腔体、图像采集组件和图像传递组件，其中，晶圆放置于处于真空状态的量测腔体内进行检测；图像采集组件设于量测腔体内，图像采集组件用于采集量测腔体的内部图像，以表征晶圆与量测腔体的相对位置；图像传递组件设于量测腔体内，且与图像采集组件连接，图像传递组件被配置为将图像采集组件采集到的内部图像传递至量测腔体外部的处理器，内部图像最终通过与处理器连接的显示装置进行表征。本实用新型专利技术避免了对显微镜进行故障排查时将量测腔体打开的步骤，进而避免了在故障排查过程对晶圆或者显微镜造成二次损坏的情况。对晶圆或者显微镜造成二次损坏的情况。对晶圆或者显微镜造成二次损坏的情况。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的位置检测装置
[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种晶圆的位置检测装置。
技术介绍
[0002]微距测量扫描式电子显微镜在测量晶圆时，通过承载台搭载晶圆在样品腔中沿X/Y轴移动进行量测。如果显微镜或者厂务端发生异常，晶圆就会卡在样品腔内，这时就需要进行故障排查，故障排查时我们首先要进行晶圆的位置判断，判断样品腔里面是否有晶圆，现有的判断方法需要将样品腔打开，会造成误判且会对晶圆或显微镜造成二次损坏，影响显微镜的恢复时间。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于：提供一种晶圆的位置检测装置，以解决相关技术中排查故障时对晶圆或显微镜造成二次损坏的问题。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术提供一种晶圆的位置检测装置，该晶圆的位置检测装置包括：
[0006]量测腔体，晶圆放置于处于真空状态的所述量测腔体内进行检测；
[0007]图像采集组件，所述图像采集组件设于所述量测腔体内，所述图像采集组件用于采集所述量测腔体的内部图像，以表征所述晶圆与所述量测腔体的相对位置；
[0008]图像传递组件，所述图像传递组件设于所述量测腔体内，且与所述图像采集组件连接，所述图像传递组件被配置为将所述图像采集组件采集到的所述内部图像传递至所述量测腔体外部的处理器，并通过与所述处理器连接的显示装置表征。
[0009]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述图像采集组件包括摄像头，所述摄像头可拆卸地设置于所述量测腔体的内壁。
[0010]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述图像采集组件还包括吸附件，所述摄像头通过所述吸附件吸附于所述量测腔体的内壁。
[0011]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述量测腔体的内壁固设有铁块，所述吸附件为磁铁，所述磁铁用于将所述摄像头吸附于所述铁块。
[0012]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述图像传递组件包括无线通讯件，所述图像采集组件采集的所述内部图像通过所述无线通讯件传递至所述量测腔体的外部。
[0013]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述图像传递组件包括有线图像传递件与密封部件，所述有线图像传递件的线缆穿过所述量测腔体将所述内部图像传递出去；所述密封件设于所述线缆与所述量测腔体之间，所述密封件用于密封所述线缆与所述量测腔体的连接处。
[0014]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述量测腔体内设有测量台、驱动组件与承载件，所述驱动组件设于所述测量台上，所述驱动组件能驱动所述承载件沿第一方向和第二方向移动，所述承载件用于承载所述晶圆。
[0015]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述承载件为承载盘，所述驱动组件包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件的移动端与所述第二驱动组件连接，所述第二驱动组件的移动端和所述承载盘连接。
[0016]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述图像采集组件设于所述测量台，用于采集所述量测腔体内所述测量台上表面以上的图像。
[0017]作为一种晶圆的位置检测装置的优选方案，所述测量台为不锈钢材质。
[0018]本技术的有益效果为：
[0019]本技术提供一种晶圆的位置检测装置，该晶圆的位置检测装置通过图像采集组件采集量测腔体的内部图像，以表征晶圆与量测腔体的相对位置；并通过图像传递组件将图像采集组件采集到的内部图像传递至量测腔体外部的处理器，最终通过与处理器连接的显示装置表征。上述设置避免了故障排查时将量测腔体打开的步骤，进而避免了在故障排查过程对晶圆或者显微镜造成二次损坏的情况。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例中晶圆的位置检测装置的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]1、量测腔体；11、铁块；12、测量台；13、第一驱动组件；14、第二驱动组件；15、承载盘；
[0023]2、摄像头；
[0024]3、无线通讯件；
[0025]41、安装板；42、磁铁；43、插销；
[0026]100、晶圆。
具体实施方式
[0027]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0031]如图1所示，本实施例提供一种晶圆的位置检测装置，该晶圆的位置检测装置包括量测腔体1、图像采集组件和图像传递组件，晶圆100放置于处于真空状态的量测腔体1内进行检测；图像采集组件设于量测腔体1内，图像采集组件用于采集量测腔体1的内部图像，以表征晶圆100与量测腔体1的相对位置；图像传递组件设于量测腔体1内，且与图像采集组件连接，图像传递组件被配置为将图像采集组件采集到的内部图像传递至量测腔体1外部的处理器，并通过与处理器连接的显示装置表征。
[0032]本实施例通过在量测腔体1内设置的图像采集组件，对量测腔体1的内部图像进行采集，并通过图像传递组件将量测腔体1的内部图像传输到量测腔体1外部的处理器，内部图像经过显示装置表征，进而能快速查看量测腔体1内部的晶圆100所处的位置，避免了查看晶圆100位置过程将量测腔本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆的位置检测装置，其特征在于，包括：量测腔体(1)，晶圆(100)放置于处于真空状态的所述量测腔体(1)内进行检测；图像采集组件，所述图像采集组件设于所述量测腔体(1)内，所述图像采集组件用于采集所述量测腔体(1)的内部图像，以表征所述晶圆(100)与所述量测腔体(1)的相对位置；图像传递组件，所述图像传递组件设于所述量测腔体(1)内，且与所述图像采集组件连接，所述图像传递组件被配置为将所述图像采集组件采集到的所述内部图像传递至所述量测腔体(1)外部的处理器，并通过与所述处理器连接的显示装置表征。2.根据权利要求1所述的晶圆的位置检测装置，其特征在于，所述图像采集组件包括摄像头(2)，所述摄像头(2)可拆卸地设置于所述量测腔体(1)的内壁。3.根据权利要求2所述的晶圆的位置检测装置，其特征在于，所述图像采集组件还包括吸附件，所述摄像头(2)通过所述吸附件吸附于所述量测腔体(1)的内壁。4.根据权利要求3所述的晶圆的位置检测装置，其特征在于，所述量测腔体(1)的内壁固设有铁块(11)，所述吸附件为磁铁(42)，所述磁铁(42)用于将所述摄像头(2)吸附于所述铁块(11)。5.根据权利要求1所述的晶圆的位置检测装置，其特征在于，所述图像传递组件包括无线通讯件(3)，所述图像采集组件采集的所述内部图像通过所述无...
【专利技术属性】
技术研发人员：栾克豪，闫鹏，王玉宝，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：
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