加液装置及研磨设备制造方法及图纸

本申请实施例提供一种加液装置及研磨设备，涉及半导体技术领域，该加液装置包括用于盛放研磨液的筒体、出液管以及控制器；所述筒体上设置有出液口，所述出液管可拆卸连接在出液口上，且所述出液管上设置有电磁阀；所述控制器与所述电磁阀信号连接，用于控制所述电磁阀工作。本申请实施例通过在研磨设备上设置加液装置，利用电磁阀和控制器的设置，可以使得该加液装置自动向研磨设备的研磨盘提供研磨液，与相关技术中手动向研磨设备的研磨盘提供研磨液的技术方案相比，一方面可以提高研磨效率，另一方面可以节约研磨液的用量，降低生产成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
加液装置及研磨设备


[0001]本申请实施例涉及研磨机
，尤其涉及一种加液装置及研磨设备。

技术介绍

[0002]半导体失效分析是借用各种测试分析工具和分析方法来确认芯片内部的失效现象、分析其失效模式和失效机理、确定其最终的失效原因。
[0003]为了对半导体结构进行失效分析，需要制作失效分析样品，相关技术中，通常是将晶圆的待研磨面放置到研磨机的研磨台上，然后用手按压晶圆，并向研磨台上添加研磨液，利用研磨液与晶圆的待研磨面之间相互摩擦，对晶圆的待研磨面进行研磨，直至出现所需的目标层，以得到失效分析样品。
[0004]但是上述的研磨机存在研磨效率低的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种加液装置及研磨设备，用于方便添加研磨液，提高研磨设备的效率。
[0006]本申请实施例的第一方面提供一种加液装置，其包括：用于向研磨设备的研磨盘提供研磨液，所述加液装置包括用于盛放研磨液的筒体、出液管以及控制器；
[0007]所述筒体上设置有出液口，所述出液管可拆卸连接在出液口上，且所述出液管上设置有电磁阀；
[0008]所述控制器与所述电磁阀信号连接，用于控制所述电磁阀工作。
[0009]在一些实施例中，所述出液口的内壁上设置有第一内螺纹，所述出液管的外壁上设置有第一外螺纹，所述出液管螺纹连接在所述出液口上。
[0010]在一些实施例中，还包括遮挡件，所述遮挡件可抽拉安装在所述筒体内，用于打开或者遮挡所述出液口。
[0011]在一些实施例中，所述筒体的侧壁上设置有抽拉口；
[0012]所述遮挡件包括遮挡板以及与所述遮挡板连接的抽拉杆，所述抽拉杆背离所述遮挡板的一端穿设在所述抽拉口后延伸至所述筒体内，所述抽拉杆与所述抽拉口之间密封连接。
[0013]在一些实施例中，所述筒体上设置有加液口，以及可拆卸连接在所述加液口上的盖体。
[0014]在一些实施例中，所述盖体上设置有提手。
[0015]在一些实施例中，所述筒体内设置有可拆卸连接的过滤网。
[0016]在一些实施例中，还包括搅拌组件，所述搅拌组件包括转动轴、驱动器以及搅拌件；
[0017]所述驱动器设置在筒体上，所述驱动器的输出端与所述转动轴连接；
[0018]所述搅拌件设置在所述转动轴上，并随所述转动轴进行转动。
[0019]在一些实施例中，所述搅拌件包括传动机构、搅拌轴以及搅拌叶片；
[0020]所述传动机构包括固定连接在所述筒体的侧壁上的齿环以及与所述齿环啮合传动的齿轮，所述齿环的齿牙设置在所述齿环的上表面；
[0021]所述搅拌轴的一端与所述传动机构中的齿轮固定连接，所述搅拌轴的另一端与所述转动轴转动连接；
[0022]所述搅拌叶片设置在所述搅拌轴上。
[0023]在一些实施例中，还包括承载环，所述承载环固定连接在所述筒体的侧壁上，所述齿环固定连接在所述承载环的上表面上。
[0024]在一些实施例中，还包括安装支架，所述安装支架的一端与所述筒体连接，所述安装支架的另一端用于与研磨设备连接。
[0025]在一些实施例中，所述安装支架包括可伸缩的第一安装杆以及与所述第一安装杆连接的第二安装杆，所述筒体固定连接在所述第二安装杆上；
[0026]所述第一安装杆的轴线与所述第二安装杆的轴线相互垂直。
[0027]在一些实施例中，所述第一安装杆包括第一杆体以及套设在所述第一杆体上的第二杆体，所述第二杆体能够相对所述第一杆体的轴线方向上下移动
[0028]本申请实施例的第二方面提供一种研磨设备，包括研磨机和上述第一方面所述的加液装置，所述加液装置的安装支架固定连接在所述研磨机上。
[0029]在一些实施例中，所述研磨机上设置有出水口，所述出水口用于向所述研磨机的研磨盘上提供清洗水；
[0030]所述研磨机上设置有第一调节按钮，所述第一调节按钮用于调节所述清洗水的流速；
[0031]所述研磨机上设置有第二调节按钮，所述第二调节按钮用于调节位于所述筒体内的研磨液的流速。
[0032]本申请实施例所提供的加液装置及研磨设备中，通过在研磨设备上设置加液装置，利用电磁阀和控制器的设置，可以使得该加液装置自动向研磨设备的研磨盘提供研磨液，与相关技术中手动向研磨设备的研磨盘提供研磨液的技术方案相比，一方面可以提高研磨效率，另一方面可以节约研磨液的用量，降低生产成本。
[0033]除了上面所描述的本申请实施例解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本申请实施例提供的加液装置及研磨设备所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]图1为本申请实施例提供的加液装置的结构示意图一；
[0036]图2为本申请实施例提供的筒体的结构示意图；
[0037]图3为本申请实施例提供的遮挡件的结构示意图；
[0038]图4为本申请实施例提供的过滤网的结构示意图；
[0039]图5为本申请实施例提供的搅拌组件的结构示意图；
[0040]图6为本申请实施例提供的加液装置的结构示意图二；
[0041]图7为本申请实施例提供的研磨设备的结构示意图。
[0042]附图标记：
[0043]100：加液装置；
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110：筒体；
[0044]111：底壁；
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112：侧壁；
[0045]113：容纳空间；
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114：出液口；
[0046]115：出液管；
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116：电磁阀；
[0047]117：抽拉口；
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118：盖体；
[0048]1181：顶盖；
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1182：环形侧板；
[0049]119：提手；
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120：控制器；
[0050]130：遮挡件；
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131：遮挡板；
[0051]132：抽拉杆；
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140：过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加液装置，其特征在于，用于向研磨设备的研磨盘提供研磨液，所述加液装置包括用于盛放研磨液的筒体、出液管以及控制器；所述筒体上设置有出液口，所述出液管可拆卸连接在出液口上，且所述出液管上设置有电磁阀；所述控制器与所述电磁阀信号连接，用于控制所述电磁阀工作。2.根据权利要求1所述的加液装置，其特征在于，所述出液口的内壁上设置有第一内螺纹，所述出液管的外壁上设置有第一外螺纹，所述出液管螺纹连接在所述出液口上。3.根据权利要求2所述的加液装置，其特征在于，还包括遮挡件，所述遮挡件可抽拉安装在所述筒体内，所述遮挡件用于打开或者遮挡所述出液口。4.根据权利要求3所述的加液装置，其特征在于，所述筒体的侧壁上设置有抽拉口；所述遮挡件包括遮挡板以及与所述遮挡板连接的抽拉杆，所述抽拉杆背离所述遮挡板的一端穿设在所述抽拉口后延伸至所述筒体内，所述抽拉杆与所述抽拉口之间密封连接。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的加液装置，其特征在于，所述筒体上设置有加液口，以及可拆卸连接在所述加液口上的盖体。6.根据权利要求5所述的加液装置，其特征在于，所述盖体上设置有提手。7.根据权利要求1
‑
4任一项所述的加液装置，其特征在于，所述筒体内设置有可拆卸连接的过滤网。8.根据权利要求1
‑
4任一项所述的加液装置，其特征在于，还包括搅拌组件，所述搅拌组件包括转动轴、驱动器以及搅拌件；所述驱动器设置在筒体上，所述驱动器的输出端与所述转动轴连接；所述搅拌件设置在所述转动轴上，并随所述转动轴进行转动。9.根据权利要求8所述的加液装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家宝，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：