本实用新型专利技术公开了基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极，所述外壳的上端安装有空气压缩机，所述外壳的内部侧壁上安装有加热器，所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板，所述外壳的中部安装有第一板体、第二板体和第三板体，所述第二板体上贯穿连接有透明管路，所述透明管路的另一端连接有第三板体，所述透明管路和第二板体之间安装有检测机构。本装置通过按动控制面板上的按钮即可启动空气压缩机将加热的压缩空气通入管路中，将融化的药水冲出管路，操作简单，完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果，达标将停止，如未达到设定的清洁度，将重新清洁处理。将重新清洁处理。将重新清洁处理。
【技术实现步骤摘要】
基于PECVD管理的高温自动清洁装置
[0001]本技术涉及清洁装置
，尤其涉及基于PECVD管理的高温自动清洁装置。
技术介绍
[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)是利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜；药品通过管道传输后残留的药品沾附在管路壁上，管路需要清洁后利用PECVD在其表面形成固态薄膜，但是清洁操作繁琐，并且清洁效果差。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供基于PECVD管理的高温自动清洁装置，具备操作检测，清洁效果好的特点，解决了现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极，所述外壳的上端安装有空气压缩机，所述外壳的内部侧壁上安装有加热器，所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板，所述外壳的中部安装有垂直于外壳底面的第一板体、第二板体和第三板体，所述第一板体的上端安装有射频电极，所述第一板体的一侧设有第二板体，所述第二板体上贯穿连接有透明管路，所述透明管路的另一端连接有第三板体，所述透明管路和第二板体之间安装有检测机构；
[0005]所述检测机构包括外管体、内管体、相机和光圈，所述外管体的中部套接有内管体，所述内管体的中部固定安装有相机，所述外管体的外部固定连接有光圈。<br/>[0006]优选的，所述外壳的下端安装有抽气机。
[0007]优选的，所述光圈的一端安装有光源，光圈的表面开设有外螺纹，光圈通过外螺纹固定连接有透明管路。
[0008]优选的，所述外管体、内管体的一端连接有第二板体，另一端连接有透明管路，透明管路通过外管体和内管体之间的间隙与外壳的内部空腔相通。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0010]本技术的基于PECVD管理的高温自动清洁装置，通过按动控制面板上的按钮即可启动空气压缩机将外界空气压缩，压缩后的气体进入外壳内部的空腔中，经过加热气加热空气和管路，融化管路内的药水结晶，再将加热的压缩空气通入管路中，将融化的药水冲出管路，操作简单；完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果，达标将停止，如未达到设定的清洁度，将重新清洁处理；检测是光源发射光线，相机将管路的表面拍摄并传输至控制面板，经过PLC程序分析并判断清洁效果；清洁结束，利用抽气机抽取空腔内部的气体，形成真空状态后射频电极开启，形成电场可激发反应气体沉积薄膜。
附图说明
[0011]图1为本技术的整体结构图；
[0012]图2为本技术的外壳内部机构图；
[0013]图3为本技术的透明管路连接图；
[0014]图4为本技术的检测机构结构图。
[0015]图中：1、空气压缩机；2、外壳；21、第一板体；22、第二板体；23、第三板体；3、控制面板；4、射频电极；5、透明管路；6、加热器；7、检测机构；71、外管体；72、内管体；73、相机；74、光圈；741、光源；8、抽气机。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机1、外壳2、控制面板3、加热器6和射频电极4，外壳2的上端安装有空气压缩机1，外壳2的内部侧壁上安装有加热器6，外壳2的外部侧壁上安装有控制面板3，所述外壳2的中部安装有垂直于外壳2底面的第一板体21、第二板体22和第三板体23，第一板体21的上端安装有射频电极4，第一板体21的一侧设有第二板体22，第二板体22上贯穿连接有透明管路5，透明管路5的另一端连接有第三板体23，透明管路5和第二板体22之间安装有检测机构7，外壳2的下端安装有抽气机8，清洁结束，利用抽气机8抽取空腔内部的气体，形成真空状态后射频电极4开启，形成电场可激发反应气体沉积薄膜，外管体71、内管体72的一端连接有第二板体22，另一端连接有透明管路5，透明管路5通过外管体71和内管体72之间的间隙与外壳2的内部空腔相通，控制面板3通过PLC程序自动控制，只需要确认清洁按钮，设备将自动运行清洁程序，中间不用人手干预，清洁是通过空气压缩机1将外界空气压缩，压缩后的气体进入外壳2内部的空腔中，经过加热气加热空气和管路，融化管路内的药水结晶，再将加热的压缩空气通入管路中，将融化的药水冲出管路；完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果，达标将停止，如未达到设定的清洁度，将重新清洁处理。
[0018]请参阅图4，检测机构7包括外管体71、内管体72、相机73和光圈74，外管体71的中部套接有内管体72，内管体72的中部固定安装有相机73，外管体71的外部固定连接有光圈74，光圈74的一端安装有光源741，光圈74的表面开设有外螺纹，光圈74通过外螺纹固定连接有透明管路5，检测是光源741发射光线，相机73将管路的表面拍摄并传输至控制面板3，经过PLC程序分析并判断清洁效果。
[0019]工作原理：控制面板3通过PLC程序自动控制，只需要确认清洁按钮，设备将自动运行清洁程序，中间不用人手干预，清洁是通过空气压缩机1将外界空气压缩，压缩后的气体进入外壳2内部的空腔中，经过加热气加热空气和管路，融化管路内的药水结晶，再将加热的压缩空气通入管路中，将融化的药水冲出管路；完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果，达标将停止，如未达到设定的清洁度，将重新清洁处理；检测是光源741发射光线，相机73将管路的表面拍摄并传输至控制面板3，经过PLC程序分析并判断清洁效果；清洁结束，
利用抽气机8抽取空腔内部的气体，形成真空状态后射频电极4开启，形成电场可激发反应气体沉积薄膜。
[0020]综上所述：本技术的基于PECVD管理的高温自动清洁装置，通过按动控制面板3上的按钮即可启动空气压缩机1将外界空气压缩，压缩后的气体进入外壳2内部的空腔中，经过加热气加热空气和管路，融化管路内的药水结晶，再将加热的压缩空气通入管路中，将融化的药水冲出管路；完成清洁后通过检测装置自动检测清洁效果，达标将停止，如未达到设定的清洁度，将重新清洁处理；检测是光源741发射光线，相机73将管路的表面拍摄并传输至控制面板3，经过PLC程序分析并判断清洁效果；清洁结束，利用抽气机8抽取空腔内部的气体，形成真空状态后射频电极4开启，形成电场可激发反应气体沉积薄膜。
[0021]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机(1)、外壳(2)、控制面板(3)、加热器(6)和射频电极(4)，其特征在于：所述外壳(2)的上端安装有空气压缩机(1)，所述外壳(2)的内部侧壁上安装有加热器(6)，所述外壳(2)的外部侧壁上安装有控制面板(3)，所述外壳(2)的中部安装有垂直于外壳(2)底面的第一板体(21)、第二板体(22)和第三板体(23)，所述第一板体(21)的上端安装有射频电极(4)，所述第一板体(21)的一侧设有第二板体(22)，所述第二板体(22)上贯穿连接有透明管路(5)，所述透明管路(5)的另一端连接有第三板体(23)，所述透明管路(5)和第二板体(22)之间安装有检测机构(7)；所述检测机构(7)包括外管体(71)、内管体(72)、相机(73)和光圈(74)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘卓铭，杨福年，
申请(专利权)人：深圳和力纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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