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本实用新型公开了基于PECVD管理的高温自动清洁装置，包括空气压缩机、外壳、控制面板、加热器和射频电极，所述外壳的上端安装有空气压缩机，所述外壳的内部侧壁上安装有加热器，所述外壳的外部侧壁上安装有控制面板，所述外壳的中部安装有第一板体、第二...
该专利属于深圳和力纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳和力纳米科技有限公司授权不得商用。

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