一种机械手压篮检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板、勾取板固定件、感应部和磁铁部，所述活动勾取板与勾取板固定件滑动配合，所述活动勾取板的顶部内嵌设置有感应部，所述勾取板固定件上远离活动勾取板的一侧内嵌设置有磁铁部，所述感应部和磁铁部通过磁感应方式进行信号传输，通过感应部和磁铁部磁感应方式进行压篮检测，不受环境内雾气等干扰条件影响，能够显著提高检测的可靠性，同时此检测装置反应灵敏，能及时异常做出反应，有效降低因异常带来的设备或产品损害。低因异常带来的设备或产品损害。低因异常带来的设备或产品损害。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手压篮检测装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体是一种机械手压篮检测装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如硅片就是采用半导体制作的器件。
[0003]在半导体及太阳能槽式自动清洗行业, 由于槽体热胀冷缩，常出现机械手不能有效勾取到位于处理槽内的硅片载具，导致硅片载具在悬空移动中掉落，或出现机械手上下移动时处理槽有遗留硅片载具，机械手仍然再次往反应槽内放置硅片载具，导致压篮故障，针对压篮这一异常，为降低异常带来的意外损失，行业内通常会在机械手上安装传感器，目的是在机械手压篮时能及时停止机械手运动并报警，受工况环境的影响，检测的方法及传感器的选择局限性较大，市面上设备通常使用的光电传感器或超声波传感器、压力传感器等常出现误报警情况，导致设备非正常停机。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种机械手压篮检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板、勾取板固定件、感应部和磁铁部，所述活动勾取板与勾取板固定件滑动配合，所述活动勾取板的顶部内嵌设置有感应部，所述勾取板固定件上远离活动勾取板的一侧内嵌设置有磁铁部，所述感应部和磁铁部通过磁感应方式进行信号传输。
[0007]进一步的，所述活动勾取板上底部远离勾取板固定件的一侧固定安装有机械手。
[0008]进一步的，所述勾取板固定件固定安装在检测仪器上。
[0009]进一步的，所述感应部与数据处理器通过信号线缆连接。
[0010]进一步的，所述活动勾取板的底部外侧的机械手与PLC控制元件通过信号线缆连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过感应部和磁铁部磁感应方式进行压篮检测，不受环境内雾气等干扰条件影响，能够显著提高检测的可靠性，同时此检测装置反应灵敏，能及时异常做出反应，有效降低因异常带来的设备或产品损害。
附图说明
[0012]图1为本技术的初始状态的结构示意图。
[0013]图2为本技术中触发状态的结构示意图。
[0014]图中：1
‑
活动勾取板，2
‑
勾取板固定件，3
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感应部，4
‑
磁铁部。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]实施例1
[0017]请参阅图1～2，本技术实施例中，一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板1、勾取板固定件2、感应部3和磁铁部4，所述活动勾取板1与勾取板固定件2滑动配合，所述活动勾取板1的顶部内嵌设置有感应部3，所述勾取板固定件2上远离活动勾取板1的一侧内嵌设置有磁铁部4，所述感应部3和磁铁部4通过磁感应方式进行信号传输，当感应部3与磁铁部4的位移量超过预设感应区域，感应部3内的电路通断状态发生改变，对装置进行紧急停车，防止压篮故障的发生。
[0018]所述活动勾取板1上底部远离勾取板固定件2的一侧固定安装有机械手，可对处理槽内的硅片载具进行勾取清洁。
[0019]实施例2
[0020]请参阅图1～2，本技术实施例中，所述勾取板固定件2固定安装在检测仪器上，可对活动勾取板1和机械手起到支撑作用。
[0021]所述感应部3与数据处理器通过信号线缆连接，可及时将信号变化传输给数据处理器进行快速处理。
[0022]所述活动勾取板1的底部外侧的机械手与PLC控制元件通过信号线缆连接，PLC控制元件与数据处理器连接，可对处理的信号进行快速反应调整。
[0023]本技术的工作原理是：安装在活动勾取板1上的机械手在向下运动压到其他异物时，受到相对作用力活动勾取板1会沿勾取板固定件2向上滑动，感应部3与磁铁部4之间发生相对位移，当位移量超过预设感应区域，传感器感应部电路通断状态改变，发给数据处理器，通过PLC或相关控制元件对机械手进行紧急停车并发出异常报警。
[0024]本技术使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
[0025]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0026]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手压篮检测装置，包括活动勾取板（1）、勾取板固定件（2）、感应部（3）和磁铁部（4），其特征在于，所述活动勾取板（1）与勾取板固定件（2）滑动配合，所述活动勾取板（1）的顶部内嵌设置有感应部（3），所述勾取板固定件（2）上远离活动勾取板（1）的一侧内嵌设置有磁铁部（4），所述感应部（3）和磁铁部（4）通过磁感应方式进行信号传输。2.根据权利要求1所述的一种机械手压篮检测装置，其特征在于，所述活动勾取...

【专利技术属性】
技术研发人员：王相军，梁建，戴洪烨，鱼科军，
申请(专利权)人：上海釜川智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：