一种接触式传感器制造技术

本发明专利技术涉及半导体及太阳能清洗设备技术领域，具体是一种接触式传感器，其包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架，感应元件的连接状态改变而向外发送信号；还包括数据处理器，所述数据处理器与感应元件连接，所述数据处理器接收感应元件发送的信号；所述数据处理器连接有指示元件，所述数据处理器控制指示元件发出或显示报警信号；本发明专利技术的有益效果是：接触式传感器检测检测标的，不受环境内雾气、震动影响；提高了检测的可靠性；同时接触式传感器反应灵敏，有效降低因异常带来的设备或产品损害。有效降低因异常带来的设备或产品损害。有效降低因异常带来的设备或产品损害。

【技术实现步骤摘要】
一种接触式传感器


[0001]本专利技术涉及半导体及太阳能清洗设备
，具体是一种接触式传感器。

技术介绍

[0002]在半导体及太阳能槽式自动清洗行业，由于槽体热胀冷缩，常出现机械手不能有效勾取到位于处理槽内的硅片载具，导致硅片载具在悬空移动中掉落，或出现机械手上下移动时处理槽有遗留硅片载具，机械手仍然再次往处理槽内放置硅片载具，导致压篮故障。针对这一异常，为降低异常带来的意外损失。行业内通常会在机械手上安装传感器，目的是确认硅片载具有真实被勾取走，或真实与勾取装置分离。
[0003]受工况环境的影响，检测的方法及传感器的选择局限性较大。市面上设备通常使用的光电传感器或超声波传感器或称重传感器常出现误报警情况，导致设备非正常停机，检测的可靠性低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种接触式传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种接触式传感器，所述接触式传感器包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接触式传感器，其特征在于，所述接触式传感器包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架，感应元件的连接状态改变而向外发送信号。2.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述接触元件包括接触杠杆，所述接触杠杆通过旋转轴铰接安装在所述支架上。3.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述支架远离接触元件的一端设有连接部，所述连接部与机械手连接。4.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述感应元件包括安装在支架上的磁感应件、安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王相军，梁建，戴洪烨，鱼科军，
申请(专利权)人：上海釜川智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：