扁平引脚芯片的测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体领域，公开了一种扁平引脚芯片的测试装置，包括绝缘的测试插座、导电的接触件以及枢轴结构，测试插座内具有空腔、分别与空腔连通的第一开口和第二开口，接触件设置为能够保持在空腔内并具有从第一开口伸出的第一部分和从第二开口伸出的第二部分，第一部分形成为尖端，枢轴结构与接触件弹性地接触，从而接触件能够在扁平引脚芯片施加在第一部分上的作用力的作用下围绕枢轴结构转动，并且同时枢轴结构能够对接触件施加作用力，以使第二部分与测试板紧密接触并能够促动接触件复位转动。通过与扁平引脚芯片形成线

【技术实现步骤摘要】
扁平引脚芯片的测试装置


[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体地涉及一种扁平引脚芯片的测试装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造行业中，有一种芯片叫做扁平引脚芯片(QFN)，它应用于很多量产封装集成电路中。而通常所有的芯片都需要用进行模拟终端用户程序的测试。测试芯片的一种方式是将芯片放在一个测试套内进行各种功能性测试，这个测试套包含了印刷电路板(也被称为测试板)以及测试装置。测试装置包括高强度复合绝缘材料制成的测试插座主体以及高导电金属材料制作的弹簧探针。使用时，弹簧探针的一端连接测试板，另一端连接被测芯片的引脚。当被测芯片放置于测试插座内受到按压后，弹簧探针的一端与被测芯片的引脚接触并带动下移，使弹簧探针内部呈开路状态，此时被测芯片和测试板形成闭合回路，从而进行测试。
[0003]测试装置用来重复使用测试大量的芯片，每一个芯片放置到测试插座的测试成为一个“循环周期”，测试装置必须承受一定的“循环周期”测试而不降低性能。但是实际上，由于弹簧探针的两端均形成了点接触，接触面积小导致连接性能不可靠，并且点接触使得接触电阻相对较大，测试准确性受到影响。此外，在大量的循环测试后，触点的电气和机械性能会开始退化，例如弹簧探针金属氧化，磨损，弹簧力退化等等。这样的下降逐渐积累形成质变，最终将影响测试本身的完整性，从而导致测试装置到达使用寿命。另外，由于弹簧探针的点接触，需要将芯片、测试插座、弹簧探针、测试板彼此精准定位，对测试装置的加工精度要求较高。
[0004]因此，现有的测试装置存在测试不可靠、使用寿命短且加工精度要求较高的缺点。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的测试不可靠、使用寿命短且加工精度要求较高的问题，提供一种扁平引脚芯片的测试装置，该测试装置的测试可靠、易于制造且具有延长的使用寿命。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术一方面提供一种扁平引脚芯片的测试装置，其中，所述测试装置包括绝缘的测试插座、导电的接触件以及枢轴结构，所述测试插座内具有空腔，所述测试插座的上表面和下表面上设置有分别与所述空腔连通的第一开口和第二开口，所述接触件设置为能够保持在所述空腔内并具有从所述第一开口伸出以与扁平引脚芯片形成接触的第一部分和从所述第二开口伸出以与测试板形成接触的第二部分，所述第一部分形成为具有与所述扁平引脚芯片形成线
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面接触的宽度的尖端，所述枢轴结构设置在所述空腔内并与所述接触件弹性地接触，从而所述接触件能够在所述扁平引脚芯片施加在所述尖端上的作用力的作用下围绕所述枢轴结构转动，使得所述尖端刮擦所述扁平引脚芯片，并且同时所述枢轴结构能够对所述接触件施加作用力，以使所述第二部分与所述测试板紧密接触并能够在撤去所述第一部分上的作用力时促动所述接触件复位转动。
[0007]可选地，所述接触件具有定位在所述空腔内的自由状态、仅通过所述第二部分与所述测试板接触而可转动的预加载状态以及分别通过所述第一部分和所述第二部分与所述扁平引脚芯片和所述测试板稳定接触的加载状态。
[0008]可选地，所述接触件包括基部和分别从所述基部的两端向上倾斜延伸的第一分支和第二分支，所述基部的底面形成所述第二部分，所述第一分支的末端形成所述第一部分，所述空腔具有在所述自由状态与所述第一分支和第二分支的底部接触以保持所述接触件的支撑壁以及引导所述第二分支的末端从所述自由状态向上移动到所述预加载状态的引导壁。
[0009]可选地，所述第一分支的末端具有圆角部分。
[0010]可选地：所述空腔为槽状，所述第一分支的延伸高度高于所述第二分支，使得所述第一分支伸出所述第一开口且所述第二分支保持在所述空腔内部；和/或，所述基部的顶面和所述枢轴结构分别包括用于转动接触的内凹的第一弧面部和外凸的第二弧面部。
[0011]可选地，所述枢轴结构包括用于限定所述接触件转动轴线的轴部和从所述轴部延伸并在所述预加载状态和所述加载状态下与所述第二分支的末端弹性接触的抵压部，优选地，所述轴部和所述抵压部为由弹性材料形成的均质一体件。
[0012]可选地，所述第二分支的末端设置有与所述抵压部接触的第三弧面部；和/或，所述测试装置包括用于从上方定位所述枢轴结构的定位框。
[0013]可选地，所述基部的底面为矩形平面并能够在旋转到所述加载状态下通过所述矩形平面的边缘与所述测试板形成线
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面接触。
[0014]可选地，所述测试插座的顶部具有用于朝向所述第一部分引导所述扁平引脚芯片的引导面。
[0015]可选地，所述测试插座具有多个所述腔体，每个所述腔体内均设置有单独的所述接触件。
[0016]通过上述技术方案，第一部分通过尖端与扁平引脚芯片形成线
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面接触，能够保持稳定的接触并降低了接触电阻，使得测量更加可靠且使用寿命延长。并且，本申请的测试装置无需较高的加工精度，可以通过接触件的转动方便地实现接触件与扁平引脚芯片和测试板精确接触。
附图说明
[0017]图1是说明本专利技术的测试装置的一种实施方式在自由状态的截面图，其中仅显示了测试插座的腔体附近的结构；
[0018]图2是图1的测试装置在预加载状态的截面图；
[0019]图3是图1的测试装置在加载状态的截面图；
[0020]图4是图1的接触件的立体图；
[0021]图5是图1中的测试装置的使用的立体图；
[0022]图6是图1中测试插座的立体图；
[0023]图7为显示本专利技术的测试装置的用于多个引脚的实施方式的局部立体图。
[0024]附图标记说明
[0025]100
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测试插座，110
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第一开口，120
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第二开口，130
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支撑壁，140
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引导壁，150
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引导
面，160
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座体，170
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定位块，200
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接触件，210
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第一部分，220
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第二部分，230
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基部，231
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第一弧面部，240
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第一分支，250
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第二分支，251
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第三弧面部，252
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边缘，300
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枢轴结构，310
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第二弧面部，320
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抵压部，400
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扁平引脚芯片，410
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第二触点，500
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测试板，510
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第一触点，600
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定位框。
具体实施方式
[0026]以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。
[0027]在本专利技术中，在未作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扁平引脚芯片的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括绝缘的测试插座(100)、导电的接触件(200)以及枢轴结构(300)，所述测试插座(100)内具有空腔，所述测试插座(100)的上表面和下表面上设置有分别与所述空腔连通的第一开口(110)和第二开口(120)，所述接触件(200)设置为能够保持在所述空腔内并具有从所述第一开口(110)伸出以与扁平引脚芯片(400)形成接触的第一部分(210)和从所述第二开口(120)伸出以与测试板(500)形成接触的第二部分(220)，所述第一部分(210)形成为具有与所述扁平引脚芯片(400)形成线
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面接触的宽度的尖端，所述枢轴结构(300)设置在所述空腔内并与所述接触件(200)弹性地接触，从而所述接触件(200)能够在所述扁平引脚芯片(400)施加在所述尖端上的作用力的作用下围绕所述枢轴结构(300)转动，使得所述尖端刮擦所述扁平引脚芯片(400)，并且同时所述枢轴结构(300)能够对所述接触件(200)施加作用力，以使所述第二部分(220)与所述测试板(500)紧密接触并能够在撤去所述第一部分(210)上的作用力时促动所述接触件(200)复位转动。2.根据权利要求1所述的扁平引脚芯片的测试装置，其特征在于，所述接触件(200)具有定位在所述空腔内的自由状态、仅通过所述第二部分(220)与所述测试板(500)接触而可转动的预加载状态以及分别通过所述第一部分(210)和所述第二部分(220)与所述扁平引脚芯片(400)和所述测试板(500)稳定接触的加载状态。3.根据权利要求2所述的扁平引脚芯片的测试装置，其特征在于，所述接触件(200)包括基部(230)和分别从所述基部(230)的两端向上倾斜延伸的第一分支(240)和第二分支(250)，所述基部(230)的底面形成所述第二部分(220)，所述第一分支(240)的末端形成所述第一部分(210)，所述空腔具有在所述自由状态与所述第一分支(240)和第二分支(...

【专利技术属性】
技术研发人员：彼得，
申请(专利权)人：史密斯互连美洲公司，
类型：发明
国别省市：