精准固晶装置制造方法及图纸

本申请提供了一种精准固晶装置，包括：扩膜供晶机构；校正机构，用于旋转校正晶片的角度；焊头机构，用于将扩膜供晶机构供给的晶片移送至校正机构进行角度校正，再将校正后的晶片移送安装于支架上；以及，镜头机构，用于提供视觉定位。本申请通过校正机构对晶片的角度进行校正，以便能够精准固晶，提升固晶的准确性与精度；另外，还可以减轻固晶绑头的重量与复杂度，降低固晶绑头的成本，以及提升固晶绑头固晶效率与准确性；通过镜头机构提供视觉定位，以使扩膜供晶机构定位供给晶片，使所述校正机构精准校正，以及便于焊头机构准确吸取晶片并安装于支架上，以保证固晶精度与固晶品质。质。质。

【技术实现步骤摘要】
精准固晶装置


[0001]本申请属于半导体固晶
，更具体地说，是涉及一种精准固晶装置。

技术介绍

[0002]当前固晶一般是通过固晶绑头从扩膜供晶机构上吸取晶片，再放置到支架上，以实现固晶。由于扩膜供晶机构一般通过水平移动平台调整蓝膜上晶片的位置，再旋转蓝膜，以校正晶片角度。然后再被固晶绑头吸取安装在支架上。然而扩膜供晶机构是对整个蓝膜上的晶片进行旋转校正，特别是扩膜供晶机构在校正后，还需要顶出晶片，固晶绑头吸取晶片后，位置与角度会产生变化，致使固晶的精度降低。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种精准固晶装置，以解决现有技术中存在的在固晶绑头上设置旋转机构校正晶片角度，增加固晶绑头的重量与振动，而降低固晶效率和固晶精度的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种精准固晶装置，包括：
[0005]扩膜供晶机构，用于供给晶片；
[0006]校正机构，用于旋转校正所述晶片的角度；
[0007]焊头机构，用于将所述扩膜供晶机构供给的所述晶片移送至所述校正机构进行角度校正，再将校正后的所述晶片移送安装于支架上；以及，
[0008]镜头机构，用于摄取所述扩膜供晶机构供给的所述晶片的位置图像以使所述焊头机构定位吸取所述扩膜供晶机构供给的所述晶片，用于摄取所述校正机构上的所述晶片的晶片图像以配合所述校正机构校正所述晶片的角度，并用于摄取所述支架上的晶片安装位图像以使所述焊头机构根据所述晶片安装位图像向所述支架上安装所述晶片。
[0009]在一个可选实施例中，所述镜头机构包括用于摄取所述位置图像的取晶镜头、用于摄取所述晶片图像的校正镜头、用于摄取所述晶片安装位图像的固晶镜头和镜头座，所述取晶镜头、所述校正镜头及所述固晶镜头安装于所述镜头座上。
[0010]在一个可选实施例中，所述镜头机构还包括用于调节所述镜头座位置的镜头移动模块和支撑所述镜头移动模块的镜头支座，所述镜头座安装于所述镜头移动模块上。
[0011]在一个可选实施例中，所述校正机构包括用于定位所述晶片的校正台和驱动所述校正台转动的旋转电机，所述校正台具有用于供所述晶片定位放置的台面，所述台面呈水平设置的平面状。
[0012]在一个可选实施例中，所述校正台中开设有气道，所述校正机构包括用于外接抽气装置的气嘴，所述气嘴与所述气道连通。
[0013]在一个可选实施例中，所述校正台包括主轴和安装于所述主轴上端的定位头，所述定位头上设有所述台面，所述主轴与所述旋转电机相连。
[0014]在一个可选实施例中，所述焊头机构包括两套固晶绑头、驱动两套所述固晶绑头分别升降的固晶升降模块、分别驱动两套所述固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动所述固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑所述固晶横移模块的固晶支座，所述固晶纵移模块滑动安装于所述固晶支座上，所述固晶升降模块安装于所述固晶纵移模块上，各所述固晶绑头支撑于所述固晶纵移模块上。
[0015]在一个可选实施例中，所述固晶升降模块包括分别与各套所述固晶绑头相连的固晶动子、分别支撑各所述固晶绑头的滑板和驱动各所述固晶动子升降的固晶直线定子，各所述固晶动子安装于所述固晶直线定子中，两套所述固晶绑头分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板上，所述固晶纵移模块用于分别驱动两个所述固晶动子于所述固晶直线定子中纵向移动，各所述滑板分别与所述固晶纵移模块相连。
[0016]在一个可选实施例中，所述固晶纵移模块包括用于驱动一个所述滑板纵向移动的纵移直线电机和用于驱动另一个所述滑板纵向移动的丝杆传送模组，所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组滑动支撑于所述固晶支座上，所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组分别与所述固晶横移模块相连。
[0017]在一个可选实施例中，所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、与所述固晶升降模块相连的绑头座和连接所述支撑座与所述绑头座的弹片，所述升降驱动器安装于所述绑头座上。
[0018]本申请实施例提供的精准固晶装置的有益效果在于：与现有技术相比，本申请，通过校正机构对晶片的角度进行校正，以便能够精准固晶，提升固晶的准确性与精度；另外，还可以减轻固晶绑头的重量与复杂度，降低固晶绑头的成本，以及提升固晶绑头固晶效率与准确性；通过镜头机构提供视觉定位，以使扩膜供晶机构定位供给晶片，使所述校正机构精准校正，以及便于焊头机构准确吸取晶片并安装于支架上，以保证固晶精度与固晶品质。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的精准固晶装置的结构示意图；
[0021]图2为本申请实施例提供的校正机构的结构示意图；
[0022]图3为本申请实施例提供的校正机构的爆炸结构示意图；
[0023]图4为图3中校正台部分的剖视结构示意图；
[0024]图5为本申请实施例提供的镜头机构的结构示意图；
[0025]图6为本申请实施例提供的焊头机构的结构示意图一；
[0026]图7为本申请实施例提供的焊头机构的结构示意图二；
[0027]图8为本申请实施例提供的焊头机构的结构示意图三；
[0028]图9为本申请实施例提供的固晶绑头的结构示意图。
[0029]其中，图中各附图主要标记：
[0030]100
‑
精准固晶装置；
[0031]10
‑
扩膜供晶机构；
[0032]20
‑
校正机构；21
‑
校正台；2101
‑
台面；2102
‑
气道；2103
‑
定位环槽；211
‑
主轴；2111
‑
通道；212
‑
定位头；2121
‑
开孔；22
‑
旋转电机；231
‑
感应件；232
‑
探测器；24
‑
气嘴；25
‑
校正座；251
‑
定位槽；252
‑
盲孔；253
‑
孔道；261
‑
轴承；262
‑
轴承座；27
‑
传动组件；271
‑
主动轮；272
‑
从动轮；273
‑
传动带；28
‑
校正支座；29
‑
密封圈；
[0033]30
‑
镜头机构；31
‑
镜头支座；32
‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精准固晶装置，其特征在于，包括：扩膜供晶机构(10)，用于供给晶片；校正机构(20)，用于旋转校正所述晶片的角度；焊头机构(40)，用于将所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片移送至所述校正机构(20)进行角度校正，再将校正后的所述晶片移送安装于支架上；以及，镜头机构(30)，用于摄取所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片的位置图像以使所述焊头机构(40)定位吸取所述扩膜供晶机构(10)供给的所述晶片，用于摄取所述校正机构(20)上的所述晶片的晶片图像以配合所述校正机构(20)校正所述晶片的角度，并用于摄取所述支架上的晶片安装位图像以使所述焊头机构(40)根据所述晶片安装位图像向所述支架上安装所述晶片。2.如权利要求1所述的精准固晶装置，其特征在于：所述镜头机构(30)包括用于摄取所述位置图像的取晶镜头(34)、用于摄取所述晶片图像的校正镜头(35)、用于摄取所述晶片安装位图像的固晶镜头(36)和镜头座(33)，所述取晶镜头(34)、所述校正镜头(35)及所述固晶镜头(36)安装于所述镜头座(33)上。3.如权利要求2所述的精准固晶装置，其特征在于：所述镜头机构(30)还包括用于调节所述镜头座(33)位置的镜头移动模块(32)和支撑所述镜头移动模块(32)的镜头支座(31)，所述镜头座(33)安装于所述镜头移动模块(32)上。4.如权利要求1
‑
3任一项所述的精准固晶装置，其特征在于：所述校正机构(20)包括用于定位所述晶片的校正台(21)和驱动所述校正台(21)转动的旋转电机(22)，所述校正台(21)具有用于供所述晶片定位放置的台面(2101)，所述台面(2101)呈水平设置的平面状。5.如权利要求4所述的精准固晶装置，其特征在于：所述校正台(21)中开设有气道(2102)，所述校正机构(20)包括用于外接抽气装置的气嘴(24)，所述气嘴(24)与所述气道(2102)连通。6.如权利要求4所述的精准固晶装置，其特征在于：所述校正台(21)包括主轴(211)和安装于所述主轴(211)上端的定位头(212)，所述定位头(212)上设有所述台面(2101)，所述主轴(211)与所述旋转电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡新平，梁志宏，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：