一种纳米级不锈钢母版加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纳米级不锈钢母版加工设备，包括加工箱体、加工机构和真空机构，加工箱体：其上表面中部的加工孔处设有安装箱，加工箱体的前表面设有连通孔，加工箱体的前表面右端通过铰链转动连接有箱门，箱门右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃，加工箱体前表面左端的安装孔内设有电磁铁，加工机构：设置于安装箱的内部，真空机构：设置于加工箱体的左侧面，其中：好包括PLC控制器，所述PLC控制器设置于加工箱体的右侧面上端，PLC控制器的输入端电连接于外部电源，该纳米级不锈钢母版加工设备，节省了人力资源，加工的精确度高，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果。增强了加工的效果。增强了加工的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米级不锈钢母版加工设备


[0001]本技术涉及纳米级加工
，具体为一种纳米级不锈钢母版加工设备。

技术介绍

[0002]纳米印刷摒弃了传统感光成像思路，无需暗箱操作而且制版流程简单，不仅消除了环境的污染同时大大降低了成本，并且使图文质量大幅提高，该技术吸纳了纳米技术、精细加工技术、接触印刷技术、界面科学及新材料等众多科学技术之精华，并深入研究才开发出来的，在纳米印刷设备中最重要的是印刷母版，母版的质量关系这印刷效果的好坏，要想保证母版的质量，运用纳米加工技术对母版进行加工是必不可少的，纳米加工是指构建尺度在纳米范围内的微结构，在纳米尺度下操控物质的组装从而构成具有一定功能的微器件，纳米加工中常用的方法就是电子束加工，通过电子束投射到工件表面，对工件进行蚀刻，实现纳米级的加工效果，其中加工的环境要保持在真空环境下，避免电子与气体分子碰撞而获得高速运动，避免发射阴极和被加工表面在高温下氧化，可现在一些加工设备的密封效果不好，不能保持有限的真空环境，影响对母版的加工。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种纳米级不锈钢母版加工设备，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种纳米级不锈钢母版加工设备，包括加工箱体、加工机构和真空机构；
[0005]加工箱体：其上表面中部的加工孔处设有安装箱，加工箱体的前表面设有连通孔，加工箱体的前表面右端通过铰链转动连接有箱门，箱门右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃，加工箱体前表面左端的安装孔内设有电磁铁；
[0006]加工机构：设置于安装箱的内部；
[0007]真空机构：设置于加工箱体的左侧面；
[0008]其中：好包括PLC控制器，所述PLC控制器设置于加工箱体的右侧面上端，PLC控制器的输入端电连接于外部电源，电磁铁的输入端电连接于PLC控制器的输出端，方便纳米级不锈钢母版的加工，节省了人力资源，加工的精确度高，提高了加工的效率，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果。
[0009]进一步的，所述加工机构包括电子枪、束孔板、电磁透镜、偏转器和反射镜，所述电子枪设置于安装箱的顶壁，安装箱的内部上端设有束孔板，束孔板的上表面与电子枪的下表面贴合，电子枪的输出口与束孔板上的光束孔竖向对应，安装箱的内弧壁中部左右两端对称设有电磁透镜，安装箱的内部下端设有偏转器，安装箱内部下端的安装架上设有反射镜，反射镜位于偏转器的下侧，电子枪、电磁透镜和偏转器的输入端均电连接于PLC控制器的输出端，对不锈钢板进行纳米级加工。
[0010]进一步的，所述真空机构包括进气管道、电磁阀、真空泵和抽气管道，所述进气管道设置于加工箱体左侧面上端的进气孔处，加工箱体的左侧面下端的出气口处设有抽气管道，抽气管道和进气管道的右端均设有电磁阀，抽气管道的左端设有真空泵，真空泵和电磁阀的输入端均电连接于PLC控制器的输出端，使箱体内部真空，保障加工的效果。
[0011]进一步的，所述加工箱体的右侧面下端设有电动推杆，电动推杆的伸缩端左端穿过加工箱体上的轴孔并设有连接柱，连接柱的左侧面设有放置板，放置板上表面的放置槽内放置有不锈钢板，不锈钢板和加工箱体上表面中部的加工孔竖向对应，电动推杆的输入端电连接于PLC控制器的输出端，使不锈钢板始终处于电子束的偏转范围内。
[0012]进一步的，所述箱门的左侧面后端设有密封垫，增强箱体内部的真空效果。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本纳米级不锈钢母版加工设备，具有以下好处：
[0014]1、通过PLC控制器的调控，启动电子枪，电子枪发出的电子通过束孔板上的束孔发射出去，经过电磁透镜之间时，电子束被电磁透镜聚焦，提高束流能量密度，然后偏转器将电子束偏转，控制电子束的方向，通过反射镜将电子束投射到不锈钢板的上表面，对不锈钢板的上表面进行刻蚀，通过PLC控制器的调控对不锈钢板进行纳米级加工，方便纳米级不锈钢母版的加工，节省了人力资源，加工的精确度高，提高了加工的效率。
[0015]2、通过PLC控制器的调控，打开下端的电磁阀，启动真空泵，真空泵将箱体内部的空气抽出，使箱体内部实现真空，同时密封垫对箱体内部起到密封作用，提高了箱体内部的真空效果，减少外部大气的进入，增强了加工的效果。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术安装箱内部结构示意图；
[0018]图3为本技术真空机构结构示意图。
[0019]图中：1加工箱体、2安装箱、3连通孔、4箱门、5电磁铁、6高强度玻璃、7加工机构、71电子枪、72束孔板、73电磁透镜、74偏转器、75反射镜、8真空机构、81进气管道、82电磁阀、83真空泵、84抽气管道、9电动推杆、10连接柱、11放置板、12不锈钢板、13 PLC控制器、14密封垫。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种纳米级不锈钢母版加工设备，包括加工箱体1、加工机构7和真空机构8；
[0022]加工箱体1：其上表面中部的加工孔处设有安装箱2，加工箱体1的前表面设有连通孔3，加工箱体1的前表面右端通过铰链转动连接有箱门4，箱门4右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃6，通过高强度玻璃6对加工过程进行观察，加工箱体1前表面左端的安装孔内
设有电磁铁5，加工箱体1的右侧面下端设有电动推杆9，电动推杆9的伸缩端左端穿过加工箱体1上的轴孔并设有连接柱10，连接柱10的左侧面设有放置板11，放置板11上表面的放置槽内放置有不锈钢板12，不锈钢板12和加工箱体1上表面中部的加工孔竖向对应，电动推杆9的输入端电连接于PLC控制器13的输出端，加工过程中，启动电动推杆9，电动推杆9的伸缩端带动放置板11左右移动，保证加工面在电子束的偏转范围内，箱门4的左侧面后端设有密封垫14，方便箱体内部的真空处理；
[0023]加工机构7：设置于安装箱2的内部，加工机构7包括电子枪71、束孔板72、电磁透镜73、偏转器74和反射镜75，电子枪71设置于安装箱2的顶壁，安装箱2的内部上端设有束孔板72，束孔板72的上表面与电子枪71的下表面贴合，电子枪71的输出口与束孔板72上的光束孔竖向对应，安装箱2的内弧壁中部左右两端对称设有电磁透镜73，安装箱2的内部下端设有偏转器74，安装箱2内部下端的安装架上设有反射镜75，反射镜75位于偏转器74的下侧，电子枪7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米级不锈钢母版加工设备，其特征在于：包括加工箱体(1)、加工机构(7)和真空机构(8)；加工箱体(1)：其上表面中部的加工孔处设有安装箱(2)，加工箱体(1)的前表面设有连通孔(3)，加工箱体(1)的前表面右端通过铰链转动连接有箱门(4)，箱门(4)右侧面中部的安装孔内设有高强度玻璃(6)，加工箱体(1)前表面左端的安装孔内设有电磁铁(5)；加工机构(7)：设置于安装箱(2)的内部；真空机构(8)：设置于加工箱体(1)的左侧面；其中：好包括PLC控制器(13)，所述PLC控制器(13)设置于加工箱体(1)的右侧面上端，PLC控制器(13)的输入端电连接于外部电源，电磁铁(5)的输入端电连接于PLC控制器(13)的输出端。2.根据权利要求1所述的一种纳米级不锈钢母版加工设备，其特征在于：所述加工机构(7)包括电子枪(71)、束孔板(72)、电磁透镜(73)、偏转器(74)和反射镜(75)，所述电子枪(71)设置于安装箱(2)的顶壁，安装箱(2)的内部上端设有束孔板(72)，束孔板(72)的上表面与电子枪(71)的下表面贴合，电子枪(71)的输出口与束孔板(72)上的光束孔竖向对应，安装箱(2)的内弧壁中部左右两端对称设有电磁透镜(73)，安装箱(2)的内部下端设有偏转器(74)，安装箱(2)内部下端的安装架上设有反...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠厚，陈宏隆，华匀，薛旭，
申请(专利权)人：昆山明宝滕纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：