一种硅片脱胶清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片技术领域，且公开了一种硅片脱胶清洗设备，包括主体和移动挂钩，所述移动挂钩与主体的内部活动连接，所述移动挂钩的内部活动连接有拉杆，所述拉杆的侧表面活动连接有挡块，所述拉杆的侧表面活动连接有固定板，所述固定板的侧面固定连接有抵柱，所述固定板的内部活动连接有对拉杆。该硅片脱胶清洗设备，通过拉杆、挡块、固定板、抵柱、对拉杆、硅胶套、对拉螺母、隔板、连杆、锁紧螺母、移动管、限位块、弹簧、螺纹短杆和硅胶块之间的相互配合，可以将硅片固定在该清洗装置内部，达到了防止硅片在脱胶清洗时发生碰撞的效果，解决了现有的丝网硅片清洗篮在进行脱胶清洗时硅片易发生碰撞的问题。片易发生碰撞的问题。片易发生碰撞的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片脱胶清洗设备


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种硅片脱胶清洗设备。

技术介绍

[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻或离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，硅片在制造时需要经过清洗脱胶这一过程，因为硅片多使用硅溶胶对硅片进行抛光，由于硅溶胶的特殊性能，抛光后的工件表面性能往往能达到较高的标准要求，但是在使用硅溶胶抛光后，也极容易在硅片表面形成顽固性的脏污，所以需要对抛光后的硅片及时进行清洗，硅片脱胶多在硅片脱胶机内进行，其工艺流程依次为上料、喷淋清洗、超声波清洗、超声波清洗、热水超声脱胶、热水超声脱胶和下料等过程，在进行超声波清洗脱与热水胶时需要先将硅片放置硅片清洗篮中，然后在脱胶机的操控下，将装有硅片的硅片清洗篮依次放入清洗池中，进行加工。
[0003]在批量生产硅片的工厂内，现有的硅片清洗篮多为方框式丝网篮，使用该种清洗篮对硅片进行脱胶，在其移动与清洗过程中，硅片与硅片之间可能会发生碰撞，从而导致硅片表面出现划痕或破损，进而影响硅片的产品质量，无法满足使用者安全清洗脱胶的需求。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片脱胶清洗设备，具备便于防止硅片在脱胶清洗时发生碰撞的优点，解决了现有的丝网硅片清洗篮在进行脱胶清洗时硅片易发生碰撞的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片脱胶清洗设备，包括主体和移动挂钩，所述移动挂钩与主体的内部活动连接，所述移动挂钩的内部活动连接有拉杆，所述拉杆的侧表面活动连接有挡块，所述拉杆的侧表面活动连接有固定板，所述固定板的侧面固定连接有抵柱，所述固定板的内部活动连接有对拉杆，所述对拉杆的侧表面固定套接有硅胶套，所述对拉杆的侧表面螺纹连接有对拉螺母，所述对拉杆的侧表面活动连接有隔板，所述硅胶套的侧表面活动连接有硅片，所述隔板的内部活动连接有连杆，所述连杆的侧表面螺纹连接有锁紧螺母，所述连杆的侧表面活动连接有移动管，所述连杆远离隔板的一端固定连接有限位块，所述限位块远离连杆的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧远离限位块的一端与移动管的内壁抵持，所述移动管通过螺纹短杆连接有硅胶块，所述硅胶块的侧面与硅片抵持。
[0008]优选的，所述挡块的内部开设有固定孔，所述拉杆的侧表面与固定孔的内部螺纹连接。
[0009]优选的，所述隔板的内部开设有通孔，所述对拉杆位于通孔内部，所述硅胶套的侧表面与通孔的内部活动连接。
[0010]优选的，所述隔板的内部开设有通槽，所述连杆的侧表面与通槽的内部活动连接。
[0011]优选的，所述移动管的内部开设有螺纹槽，所述螺纹短杆的侧表面与螺纹槽的内部螺纹连接，所述硅胶块侧面与螺纹短杆远离限位块的一端固定连接。
[0012]优选的，所述固定板与隔板的内部均开设有透水孔，所述透水孔的直径略小于硅片的直径。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种硅片脱胶清洗设备，具备以下有益效果：
[0014]1、该硅片脱胶清洗设备，通过拉杆、挡块、固定板、抵柱、对拉杆、硅胶套、对拉螺母、隔板、连杆、锁紧螺母、移动管、限位块、弹簧、螺纹短杆和硅胶块之间的相互配合，可以将硅片固定在该清洗装置内部，达到了防止硅片在脱胶清洗时发生碰撞的效果，解决了现有的丝网硅片清洗篮在进行脱胶清洗时硅片易发生碰撞的问题。
[0015]2、该硅片脱胶清洗设备，通过拉杆、挡块、固定板、抵柱、对拉杆、对拉螺母和隔板之间的相互配合，可以通过增加对拉杆上隔板的数量来固定更多的硅片，达到了增加单次硅片清洗数量的效果，解决了传统硅片清洗篮难以增加单次硅片清洗数量的问题。
附图说明
[0016]图1为本技术正视图；
[0017]图2为本技术拉杆结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中A处放大图；
[0019]图4为本技术固定板结构示意图；
[0020]图5为本技术隔板结构示意图。
[0021]其中：1、主体；2、移动挂钩；3、拉杆；4、挡块；5、固定板；6、抵柱；7、对拉杆；8、硅胶套；9、对拉螺母；10、隔板；11、连杆；12、锁紧螺母；13、移动管；14、限位块；15、弹簧；16、螺纹短杆；17、硅胶块；18、硅片；19、透水孔。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，一种硅片脱胶清洗设备，包括主体1和移动挂钩2，主体1为全自动硅片脱胶机，其生产主线依次为：上料、超声清洗槽、超声清洗槽、超声波清洗槽、超声波清洗槽、超声脱胶槽和下料，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动冲击工件表面并热切割液作用使硅片脱胶，清洗篮的移动设备为一台单臂小车进行清洗动作，动作平稳可靠，移动挂钩2与主体1的内部活动连接，移动挂钩2的内部活动连接有拉杆3，拉杆3位于移动挂钩2的固定槽内，拉杆3的侧表面活动连接有挡块4，挡块4的内部开设有固定孔，拉杆3的侧表面与固定孔的内部螺纹连接，拉杆3的侧表面活动连接有固定板5，固定板5的侧面固定连接有抵柱6，抵柱6的材质为软质橡胶，起到固定隔板的作用，固定板5的内部活动连接有对拉杆7，固定板5的内部开设有对拉孔，对拉杆7与对拉孔的内部活动连接，对拉杆7的侧表面固定套接有硅胶套8，硅胶套8可以防止硅片边缘发生碰撞损伤。
[0024]对拉杆7的侧表面螺纹连接有对拉螺母9，每一对拉杆7上连接有四个对拉螺母9，每两个对拉螺母9为一组，每组均以拉杆3的中心线为对称轴对称分布，固定板5的前后两侧分别与不同的对拉螺母9抵持，从而使固定板5与对拉杆7的位置相对位置被固定，对拉杆7的侧表面活动连接有隔板10，通过拉杆3、挡块4、固定板5、抵柱6、对拉杆7、对拉螺母9和隔板10之间的相互配合，可以通过增加对拉杆7上隔板10的数量来固定更多的硅片18，达到了增加单次硅片18清洗数量的效果，解决了传统硅片清洗篮难以增加单次硅片18清洗数量的问题，固定板5与隔板10的内部均开设有透水孔19，透水孔19的直径略小于硅片18的直径，隔板10的内部开设有通孔，对拉杆7位于通孔内部，硅胶套8的侧表面与通孔的内部活动连接，硅胶套8的侧表面活动连接有硅片18，对拉杆7的数量为四个，硅片18被四个对拉杆7夹在中间，从而起到固定硅片18的作用，隔板10的内部活动连接有连杆11，隔板10的内部开设有通槽，连杆11的侧表面与通槽的内部活动连接。
[0025]连杆11的侧表面螺纹连接有锁紧螺母12，每个连杆11上连接有两个锁紧螺母12，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片脱胶清洗设备，包括主体(1)和移动挂钩(2)，其特征在于：所述移动挂钩(2)与主体(1)的内部活动连接，所述移动挂钩(2)的内部活动连接有拉杆(3)，所述拉杆(3)的侧表面活动连接有挡块(4)，所述拉杆(3)的侧表面活动连接有固定板(5)，所述固定板(5)的侧面固定连接有抵柱(6)，所述固定板(5)的内部活动连接有对拉杆(7)，所述对拉杆(7)的侧表面固定套接有硅胶套(8)，所述对拉杆(7)的侧表面螺纹连接有对拉螺母(9)，所述对拉杆(7)的侧表面活动连接有隔板(10)，所述硅胶套(8)的侧表面活动连接有硅片(18)，所述隔板(10)的内部活动连接有连杆(11)，所述连杆(11)的侧表面螺纹连接有锁紧螺母(12)，所述连杆(11)的侧表面活动连接有移动管(13)，所述连杆(11)远离隔板(10)的一端固定连接有限位块(14)，所述限位块(14)远离连杆(11)的一侧固定连接有弹簧(15)，所述弹簧(15)远离限位块(14)的一端与移动管(13)的内壁抵持，所述移动管(13)通过螺纹短杆(16...

【专利技术属性】
技术研发人员：方勇华，詹玉峰，陈跃华，方萌，
申请(专利权)人：浙江旭盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：