本实用新型专利技术公开了一种光刻机，包括主机体、工作台、压板装置。主机体上设有光路模块、驱动模块，工作台的上表面形成为用于放置工件的放置区；光路模块与工作台的放置区相对设置，工作台与主机体连接，且工作台和光路模块中的至少一个与驱动模块连接，以使光路模块能够相对于放置区在水平方向移动。压板装置与主机体固定，且压板装置位于光路模块的至少一侧，压板装置与放置区相对设置，压板装置被构造成为以非接触方式对位于工作台上的工件施加以抵压放置区的作用力。由此，使压板装置靠近光路模块的工作区域，工作台上的工件稳定性更高。非接触式的压板装置避免了工件表面可能存在的划痕或者交叉污染，提高了工件的良率，简化了光刻机的结构。简化了光刻机的结构。简化了光刻机的结构。
【技术实现步骤摘要】
光刻机及光刻机的压板装置
[0001]本技术涉及PCB制版领域，尤其是涉及一种光刻机及光刻机的压板装置。
技术介绍
[0002]现有技术多采用的吸盘压板方式，在吸盘的两边或四边边缘处直接压板，通过气缸或电机作为动力，通过各种结构件直接压在工件上。因为工件尺寸的不同，通常还会要求边缘压板的行程能够调节。但是工件本身因为经过多道工序的加工，或加热或冷却，在到达光刻前就已经有了或大或小的变形，且容易留有划痕和出现交叉污染，光刻的结果不理想。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种光刻机及光刻机的压板装置。
[0004]根据本技术第一方面实施例的光刻机包括；主机体、工作台、压板装置，所述主机体上设有光路模块、驱动模块，所述工作台的上表面形成为用于放置工件的放置区；所述光路模块与所述工作台的放置区相对设置，所述工作台与所述主机体连接，且所述工作台和所述光路模块中的至少一个与所述驱动模块连接，以使所述光路模块能够相对于所述放置区在水平方向移动。所述压板装置与所述主机体固定，且所述压板装置位于所述光路模块的至少一侧，所述压板装置与所述放置区相对设置，所述压板装置被构造成为以非接触方式对位于工作台上的工件施加以抵压放置区的作用力。
[0005]由此，在光路模块的一侧或者两侧设置压板装置，可以使压板装置靠近光路模块的工作区域，以使光刻机工作时，工作台上的工件稳定性更高。非接触式的压板装置对放置区施加作用力，避免了工件表面可能存在的划痕或者交叉污染，提高了工件的良率，简化了光刻机的结构。
[0006]在一些实施例中，所述压板装置通过朝向所述放置区喷气的方式施加作用力。
[0007]在一些实施例中，所述压板装置包括多个沿第一方向排布的喷气件，每个所述喷气件包括管路、喷嘴、电磁阀，所述管路的出口与所述喷嘴连接，所述电磁阀连接在所述管路上以控制所述管路的通断。
[0008]在一些实施例中，所述喷气件还包括三通接头，所述三通接头的一个接口与所述管路的进口连接，多个所述喷气件的三通接头沿第一方向排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
[0009]在一些实施例中，所述管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路在所述电磁阀的上方与所述电磁阀连接，且所述第一管路与所述三通接头连接，所述第二管路在所述电磁阀的下方与所述电磁阀连接，所述第二管路自上向下朝远离所述三通接头方向倾斜。
[0010]在一些实施例中，所述第一管路的内径大于所述第二管路的内径，且所述第一管路和所述第二管路均为软管。
[0011]在一些实施例中，光刻机还包括安装背板以及阀支架，每个所述电磁阀通过阀支
架连接于所述安装背板，所述安装背板与所述主机体连接或者与所述光路模块连接。
[0012]在一些实施例中，还包括喷嘴支架，所述喷嘴支架包括横向连接板以及纵向连接板，所述纵向连接板的两端分别与所述横向连接板、阀支架连接，所述横向连接板具有多个沿第一方向分布的安装孔，所述喷嘴穿过所述安装孔以固定于所述横向连接板。
[0013]在一些实施例中，所述压板装置的个数为两个，且相对于所述光路模块对称分布，每个所述光路模块具有模拟曝光光柱，每个所述喷气件的管路延伸到所述光路模块下方，两个所述压板装置的喷气件位于所述光路模块的正下方且位于所述模拟曝光光柱的两侧。
[0014]根据本技术第二方面实施例的光刻机的压板装置包括：多个沿第一方向排布的喷气件，每个所述喷气件包括管路、喷嘴、电磁阀、三通接头，所述管路的出口与所述喷嘴连接，所述电磁阀连接在所述管路上以控制所述管路的通断，所述三通接头的一个接口与所述管路的进口连接，多个所述喷气件的三通接头沿第一方向排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1是根据本技术实施例的光刻机的局部示意图。
[0018]图2是根据本技术实施例的光刻机的压板装置的示意图。
[0019]图3是图2中M区域的局部放大示意图。
[0020]附图标记：
[0021]光刻机100；
[0022]主机体10；光路模块11；模拟曝光光柱111；驱动模块12；
[0023]工作台20；放置区21；
[0024]压板装置30；喷气件31；管路311；第一管路311a；第二管路311b；喷嘴312；电磁阀313；三通接头314；
[0025]安装背板40；
[0026]阀支架50；通孔51；条形孔52；
[0027]喷嘴支架60；横向连接板61；安装孔611；纵向连接板62；装配孔621；
[0028]第一方向A；第二方向B。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本技术的实施例。
[0030]下面参考图1
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图3描述根据本技术实施例的光刻机100。
[0031]根据本技术实施例的光刻机100包括；主机体10、工作台20、压板装置30，主机体10上设有光路模块11、驱动模块12，工作台20的上表面形成为用于放置工件的放置区21；光路模块11与工作台20的放置区21相对设置，工作台20与主机体10连接，且工作台20和光
路模块11中的至少一个与驱动模块12连接，以使光路模块11能够相对于放置区21在水平方向移动。压板装置30与主机体10固定，且压板装置30位于光路模块11的至少一侧，压板装置30与放置区21相对设置，压板装置30被构造成为以非接触方式对位于工作台20上的工件施加以抵压放置区21的作用力。
[0032]其中，非接触式方式指的是不通过压板装置30和工件的直接接触，实现压板装置30对工件的抵压，制约工件在放置区21的位置，压板装置30与工件之间不连接。
[0033]如图1所示，光路模块11和驱动模块12安装在主机体10上，驱动模块12可以驱动光路模块11相对主机体10做往复运动或者固定在主机体10上，沿着第二方向B光路模块11还设有压板装置30，压板装置30可以调整与光路模块11的相对位置，沿着光路模块11的移动方向一侧分布或者两侧分布，且不与光路模块11连接或者接触。在光路模块11的下方还设有工作台20，工作台20可以沿着第二方向B运动，形成的放置区21可以放置工件，另外，压板装置30与工作台20也是不接触的，同时压板装置30可以隔空对放置区21的工件施加垂直工作台20的作用力。
[0034]由此，在光路模块11的一侧或者两侧设置压板装置30，可以使压板装置30靠近光路模块11的工作区域本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机，其特征在于，包括；主机体，所述主机体上设有光路模块、驱动模块；工作台，所述工作台的上表面形成为用于放置工件的放置区；所述光路模块与所述工作台的放置区相对设置，所述工作台与所述主机体连接，且所述工作台和所述光路模块中的至少一个与所述驱动模块连接，以使所述光路模块能够相对于所述放置区在水平方向移动；以及压板装置，所述压板装置与所述主机体固定，且所述压板装置位于所述光路模块的至少一侧，所述压板装置与所述放置区相对设置，所述压板装置被构造成为以非接触方式对位于工作台上的工件施加以抵压放置区的作用力。2.根据权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述压板装置通过朝向所述放置区喷气的方式施加作用力。3.根据权利要求2所述的光刻机，其特征在于，所述压板装置包括多个沿第一方向排布的喷气件，每个所述喷气件包括管路、喷嘴、电磁阀，所述管路的出口与所述喷嘴连接，所述电磁阀连接在所述管路上以控制所述管路的通断。4.根据权利要求3所述的光刻机，其特征在于，所述喷气件还包括三通接头，所述三通接头的一个接口与所述管路的进口连接，多个所述喷气件的三通接头沿第一方向排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。5.根据权利要求4所述的光刻机，其特征在于，所述管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路在所述电磁阀的上方与所述电磁阀连接，且所述第一管路与所述三通接头连接，所述第二管路在所述电磁阀的下方与所述电磁阀连接，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡刚，陈东，项宗齐，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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