【技术实现步骤摘要】
一种用于薄膜溅射台的汇流板
[0001]本技术涉及薄膜溅射台
，特别是涉及一种用于薄膜溅射台的汇流板。
技术介绍
[0002]应用材料的5500型镀膜机使用范围广，是目前半导体薄膜溅射的常用机型，此机台的高压气动部分是直接分配到多个用气模块，一旦有任何其中一个用气模块发生故障需要检修时，就必须整台停掉并关闭压缩空气来操作，非常不便。由于5500溅射台的压缩空气直接和厂务高压气体相通，中间只靠三通管分配。针对压缩空气相关的电子件如用气模块进行维修时，需要整台停机进行维修，非常不便。
技术实现思路
[0003]为了解决应用材料5500溅射台压缩空气分配的实际需要，并能对单个用气模块独立开关气源，本技术提供了一种用于薄膜溅射台的汇流板。
[0004]本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
[0005]本技术提供一种用于薄膜溅射台的汇流板，其特点在于，其包括汇流板主体，所述汇流板主体中心位置处沿着长度方向开设有主进气道，所述汇流板主体的侧面开设有多个与主进气道连通的出气分配孔，该些出气分配孔...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜溅射台的汇流板，其特征在于，其包括汇流板主体，所述汇流板主体中心位置处沿着长度方向开设有主进气道，所述汇流板主体的侧面开设有多个与主进气道连通的出气分配孔，该些出气分配孔均螺纹连接有阀门，该些阀门中除最后一个阀门外的每一个阀门连接不同的用气模块，该些阀门中最后一个阀门连接有压力传感器，所述压力传感器与控...
【专利技术属性】
技术研发人员：张强，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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