一种用于半导体制造的数据收集系统包含：T个衬底处理工具，其中T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中N个处理室中的每一者包含处理室控制器，处理室控制器被配置成在N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中多个不同类型的数据具有不同的格式，其中处理室控制器被进一步配置成将多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，共享文档具有表格式数据结构，表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从共享文档中产生包含数据的子集的输出文档。数据的子集的输出文档。数据的子集的输出文档。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换
相关申请的交叉引用
[0001]本公开内容为2019年2月14曰提交的美国专利申请No.62/805,454的PCT国际申请。在此将上述申请的全部内容通过引用并入。
[0002]本公开内容涉及衬底处理系统，更具体而言，涉及用于支持衬底制造系统的数据分析和机器学习的数据捕获与转换。
技术介绍
[0003]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。
[0004]半导体制造商使用一或更多个衬底处理工具以在制造半导体晶片期间进行沉积、蚀刻、清洁、和/或其他衬底处理。这些衬底处理工具中的每一者可包含多个处理室，其执行相同类型的处理(例如沉积、蚀刻、或清洁)或不同的处理(例如一系列或序列的处理)。
[0005]衬底处理工具中的处理室通常在多个衬底上重复进行相同工作。处理室基于限定工艺参数的配方而进行操作。例如，一配方限定序列、操作温度、压力、气体化学品、等离子体使用、各个操作或子操作的时段、和/或其他参数。当制造变化和/或缺陷发生时，半导体制造商需要确定根本原因。
技术实现思路
[0006]在一种特征中，一种用于半导体制造的数据收集系统包含：T个衬底处理工具，其中所述T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中所述N个处理室中的每一者包含处理室控制器，所述处理室控制器被配置成在所述N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中所述多个不同类型的数据具有不同的格式，其中所述处理室控制器被进一步配置成将所述多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收所述经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，所述共享文档具有表格式数据结构，所述表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从所述共享文档中产生包含所述数据的子集的输出文档。
[0007]在进一步的特征中，所述上下文数据包含材料标识字段和时间字段；并且所述多个不同类型的数据包含：至少三种或更多种数据类型，其选自由配方、硬件校准、工艺微调、光发射光谱、高速数据以及变数追踪组成的群组。
[0008]在进一步的特征中，所述数据诊断服务计算机被配置成基于下列项中的至少一项而产生所述输出文档：所述类别的子集；所述材料标识字段的子集；以及所述时间字段的子
集。
[0009]在进一步的特征中，所述共享文档具有三层阶层，其包括文档、群组和类别。
[0010]在进一步的特征中，所述共享文档具有技术数据管理方案(TDMS)格式。
[0011]在进一步的特征中，数据以二进制格式存储于所述共享文档中。
[0012]在进一步的特征中，机器学习计算机被配置成与所述数据诊断服务计算机进行通信并对所述输出文档中的数据执行机器学习。
[0013]在进一步的特征中，所述处理室控制器包含：数据产生对象，其被配置成传输所述多个不同类型的数据；数据调度器，其被配置成从所述数据产生对象接收所述多个不同类型的数据；多个数据槽，其中所述多个数据槽中的每一者被配置成从所述数据调度器接收所述多个不同类型的数据中的相应类型的数据；多个数据格式器，其中所述多个数据格式器中的每一者被配置成从所述数据槽接收所述多个不同类型的数据中的相应类型的数据，并将所述经格式化的数据输出回至所述多个数据槽中的相应数据槽；以及数据接口管理器，其被配置成将所述经格式化的数据从所述多个数据槽转送至所述数据诊断服务计算机。
[0014]在进一步的特征中，所述数据诊断服务计算机包含：数据管理器，其被配置成从所述处理室控制器接收所述经格式化的数据；以及数据存储器，其被配置成存储所述共享文档并控制对所述共享文档的访问。
[0015]在进一步的特征中，数据适配器被配置成接收所述请求并产生所述输出文档。
[0016]在进一步的特征中，所述数据适配器被进一步配置成使所述输出文档适配于多个数据传送器中的一者。
[0017]在进一步的特征中，所述多个数据传送器包含文件传输协议(FTP)传送器、机器学习传送器和档案传送器中的至少一者。
[0018]在进一步的特征中，主机服务器包含文档选择器，所述文档选择器被配置成从所述T个衬底处理工具中的R个衬底处理工具的R个输出文档中选择R个部分的数据，其中R为大于一且小于或等于T的整数；以及机器学习计算机被配置成将所述R个输出文档中的数据结合并对其执行机器学习。
[0019]在进一步的特征中，一种用于半导体制造的数据收集方法包含：在T个衬底处理工具的N个处理室中的多个处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中T和N为大于零的整数，并且其中所述多个不同类型的数据具有不同的格式；将所述多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据；将所述经格式化的数据按类别存储于共享文档中，所述共享文档具有表格式数据结构，所述表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从所述共享文档中产生包含所述数据的子集的输出文档。
[0020]在进一步的特征中，所述上下文数据包含材料标识字段和时间字段；并且所述多个不同类型的数据包含：至少三种或更多种数据类型，其选自由配方、硬件校准、工艺微调、光发射光谱、高速数据以及变数追踪组成的群组。
[0021]在进一步的特征中，产生所述输出文档包括基于下列项中的至少一项而产生所述输出文档：所述类别的子集；所述材料标识字段的子集；以及所述时间字段的子集。
[0022]在进一步的特征中，所述共享文档具有三层阶层，其包括文档、群组和类别。
[0023]在进一步的特征中，所述共享文档具有技术数据管理方案(TDMS)格式。
[0024]在进一步的特征中，数据以二进制格式存储于所述共享文档中。
[0025]在进一步的特征中，所述数据收集方法还包含：对所述输出文档中的数据执行机器学习。
[0026]根据详细描述、权利要求和附图，本公开内容的适用性的进一步的范围将变得显而易见。详细描述和具体示例仅用于说明的目的，并非意在限制本公开的范围。
附图说明
[0027]根据详细描述和附图将更充分地理解本公开，其中：
[0028]图1为包含一或更多个处理室的衬底处理工具的示例的功能框图；
[0029]图2为根据本公开连接至数据诊断服务计算机的衬底处理室的示例的功能框图；
[0030]图3为根据本公开的衬底制造商的数据收集架构的示例的功能框图；
[0031]图4A至4G为显示数据处置的示例的示图；
[0032]图5为根据本公开的从来源至数据诊断服务计算机的数据流动的示例的功能框图；
[0033]图6为数据的处置和格式化的示例的功能框图；
[0034]图7为显示数据处置和格式化的方法的示例的流程图；...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于半导体制造的数据收集系统，其包含：T个衬底处理工具，其中所述T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中所述N个处理室中的每一者包含处理室控制器，所述处理室控制器被配置成在所述N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中所述多个不同类型的数据具有不同的格式，其中所述处理室控制器被进一步配置成将所述多个不同类型的数据格式化为经格式化的数据，并且其中T和N为整数；以及数据诊断服务计算机，其被配置成：接收所述经格式化的数据并将其按类别存储于共享文档中，所述共享文档具有表格式数据结构，所述表格式数据结构包含具有上下文数据的行；以及响应于请求，从所述共享文档中产生包含所述数据的子集的输出文档。2.根据权利要求1所述的数据收集系统，其中：所述上下文数据包含材料标识字段和时间字段；并且所述多个不同类型的数据包含：至少三种或更多种数据类型，其选自由配方、硬件校准、工艺微调、光发射光谱、高速数据以及变数追踪组成的群组。3.根据权利要求2所述的数据收集系统，其中所述数据诊断服务计算机被配置成基于下列项中的至少一项而产生所述输出文档：所述类别的子集；所述材料标识字段的子集；以及所述时间字段的子集。4.根据权利要求1所述的数据收集系统，其中所述共享文档具有三层阶层，其包括文档、群组和类别。5.根据权利要求1所述的数据收集系统，其中所述共享文档具有技术数据管理方案(TDMS)格式。6.根据权利要求5所述的数据收集系统，其中数据以二进制格式存储于所述共享文档中。7.根据权利要求1所述的数据收集系统，其还包含机器学习计算机，所述机器学习计算机被配置成与所述数据诊断服务计算机进行通信并对所述输出文档中的数据执行机器学习。8.根据权利要求1所述的数据收集系统，其中所述处理室控制器包含：数据产生对象，其被配置成传输所述多个不同类型的数据；数据调度器，其被配置成从所述数据产生对象接收所述多个不同类型的数据；多个数据槽，其中所述多个数据槽中的每一者被配置成从所述数据调度器接收所述多个不同类型的数据中的相应类型的数据；多个数据格式器，其中所述多个数据格式器中的每一者被配置成从所述数据槽接收所述多个不同类型的数据中的相应类型的数据，并将所述经格式化的数据输出回至所述多个数据槽中的相应数据槽；以及数据接口管理器，其被配置成将所述经格式化的数据从所述多个数据槽转送至所述数
据诊断服务计算机。9.根据权利要求1所述的数据...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄忠河，文森特，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：
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