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一种用于半导体制造的数据收集系统包含：T个衬底处理工具，其中T个衬底处理工具中的每一者包含：N个处理室，其中N个处理室中的每一者包含处理室控制器，处理室控制器被配置成在N个处理室中的相应处理室的操作期间接收多个不同类型的数据，其中多个不同类...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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