电子级六氯二硅烷的生产系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种电子级六氯二硅烷的生产系统，包括预处理系统和提纯系统，预处理系统对原料进行粗提，提纯系统将经预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷。预处理系统包括第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔，提纯系统包括脱重组分塔、脱轻组分塔、脱铝塔和高纯塔。使用本实用新型专利技术生产系统生产电子级六氯二硅烷，能生产出纯度99.95％以上，以金属元素含量计算纯度达到99.999

【技术实现步骤摘要】
电子级六氯二硅烷的生产系统


[0001]本技术属于六氯二硅烷生产
，特别涉及电子级六氯二硅烷的生产系统。

技术介绍

[0002]六氯二硅烷(六氯乙硅烷)(Hexachlorodisilane)简称HCDS，分子式为Cl6Si2，六氯二硅烷常温下是一种无色透明的有刺激性的臭味液体，沸点：144
‑
145.5℃，分子量：268.9，熔点：
‑
1℃，密度：1.562g/cm3，268.88g/mol，闪点：78℃，燃点：320℃，可燃范围：3
‑
5.5％，气化热：11.1kal/mol。
[0003]Si2Cl6是一种有机中间体。电子级Si2Cl6产品纯度要求在99.9％以上，且以金属元素表示的纯度在99.999％以上。中国生产的电子级Si2Cl6产品现阶段纯度只能达到99.95％左右，以金属杂质含量计算的纯度也只能达到99.999％左右。
[0004]然而，国际上欧美技术相对成熟的Si2Cl6生产企业除了纯度达到99.95％以上的要求外，对金属元素含量也有很高要求，即要达到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电子级六氯二硅烷的生产系统，其特征在于：包括预处理系统和提纯系统，所述预处理系统对原料进行粗提，所述提纯系统将经所述预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷；所述提纯系统包括脱重组分塔(1)、脱轻组分塔(2)、脱铝塔(3)和高纯塔(4)；所述脱重组分塔(1)设有第一物料入口(11)、第一物料出口(12)、第一残渣入口(13)和塔釜料出口(14)；所述脱轻组分塔(2)设有第二物料入口(21)、第二物料出口(22)、分离媒介入口(23)和轻组分采出口(24)；所述脱铝塔(3)设有第三物料入口(31)、第三物料出口(32)、第二残渣入口(33)和第一残渣出口(34)；所述高纯塔(4)设有第四物料入口(41)、第四物料出口(42)和第二残渣出口(43)；所述脱重组分塔(1)的第一物料出口(12)和所述脱轻组分塔(2)的第二物料入口(21)连通，所述脱轻组分塔(2)的第二物料出口(22)和所述脱铝塔(3)的第三物料入口(31)连通，所述脱铝塔(3)的第三物料出口(32)与所述高纯塔(4)的第四物料入口(41)连通，所述高纯塔(4)的第二残渣出口(43)与所述脱铝塔(3)的第二残渣入口(33)连通，所述脱铝塔(3)的第一残渣出口(34)与所述脱重组分塔(1)的第一残渣入口(13)连通。2.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统，其特征在于：所述脱铝塔(3)还设有抽真空装置(35)。3.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统，其特征在于：所述脱重组分塔(1)、脱轻组分塔(2)、脱铝塔(3)和高纯塔(4)塔顶设有尾气出口，所述尾气出口连接淋洗塔。4.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统，其特征在于：所述脱重组分塔(1)塔高16米，所述脱重组分塔(1)的第一物料入口(11)位于所述脱重组分塔(1)1米位置。5.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何寿林，罗全安，
申请(专利权)人：武汉新硅科技潜江有限公司，
类型：新型
国别省市：