【技术实现步骤摘要】
一种氯硅烷络合除铝的装备
[0001]本技术涉及络合除杂
,特别是涉及一种多晶硅生产过程中利用低温络合和液相络合除铝提纯氯硅烷的工艺及装备。具体涉及一种氯硅烷络合除铝的装备。
技术介绍
[0002]氯硅烷用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料。
[0003]光伏发电及半导体电子元件对高纯度硅的需求日益增加,在许多制备高纯度硅的方法中,工业上用纯度约为99%的冶金级硅粉先制备出液态氯硅烷,氯硅烷可被纯化至极高纯度,随后可转化回极高纯度的固态晶体硅。在有机硅行业,高纯度的有机氯硅烷也用于制备有机硅单体及下游产品。
[0004]生产原料工业级硅粉中本身含有的杂质是多晶硅生产过程中杂质的主要来源之一。目前,原生多晶硅主要由改良西门子法生产而成,依其品质和外观不同,分为珊瑚料、菜花料、碳头料等,硅纯度大致为99.9999%。原生多晶硅中除了P、B之外。主要含有O、C等非金属杂质以及Fe、Al等金属杂质。
[0005]多晶硅 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷络合除铝的装备,其特征在于包括:搅拌沉降罐、干燥机、搅拌沉降罐过滤器、原料冷凝器、原料缓冲罐、原料输送泵、低温络合除铝进出换热器、低温冷却器、低温络合搅拌罐、低温络合搅拌罐过滤器、低温络合输送泵、液相除铝预热器、液相除铝罐、产品缓冲罐、产品出料泵;其中搅拌沉降罐底部连接干燥机,侧线连接搅拌沉降罐过滤器;干燥机上部连接原料冷凝器;搅拌沉降罐过滤器底部和原料冷凝器出口连接原料缓冲罐;原料缓冲罐底部原料输送泵连接低温络合除铝进出换热器进料进口;低温络合除铝进出换热器进料出口紧接低温冷却器入口;低温冷却器出口连接低温络合搅拌罐顶部;低温络合搅拌罐底部低温络合输送泵连接低温络合搅拌罐过滤器;低温络合搅拌罐过滤器底部连接干燥机,侧线连接低温络合除铝进出换热器出料进口;低温络合除铝进出换热器出料出口连接液相除铝预热器进口;液相除铝预热器出口连接液相除铝罐;产品缓冲罐顶部连接液相除铝罐,底部连接产品出料泵;产品出料泵将除铝后的氯硅烷产品抽出。2.一种氯硅烷络合除铝的装备,其特征在于,包括蒸发釜、气相加热器、气相除铝柱、气相冷凝器;实现低温络合、液相络合除铝工艺与气相络合除铝工艺的串联;其中搅拌沉降罐底部连接干燥机,侧线连接搅拌沉降罐过滤器;干燥机上部连接原料冷凝器;搅拌沉降罐过滤器和原料冷凝器连接原料缓冲罐;原料缓冲罐底部原料输送泵连接低温络合除铝进出换热器进料进口;低温络合除铝进出换热器进料出口紧接低温冷却器入口;低温冷却器出口连接低温络合搅拌罐顶部;低温络合搅拌罐底部低温络合输送泵连接低温络合搅拌罐过滤器;低温络合搅拌罐过滤器底部连接干燥机,侧线连接低温络合除铝进出换热器出料进口;低温络合除铝进出换热器出料出口连接液相除铝预热器进口;液相除铝预热器出口连接液相除铝罐;此时液相除铝罐底部连接蒸发釜;蒸发釜连接气相加热器进口;气相加热器出口连接气相除铝柱底部;气相除铝柱顶部连接气相冷凝器进口;气相冷凝器出口连接产品缓冲罐;产品出料泵将罐中的氯硅烷产品抽出外运。3.一种氯硅烷络合除铝的装备,其特征在于,包括高压精馏塔预热器、高压精馏塔;高压精馏塔冷凝器、高压精馏塔蒸发...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄国强,耿强,王国锋,苏国良,王乃治,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:新型
国别省市:
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