【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体滤波领域，尤其涉及一种基于石英基片的太赫兹频段多模滤波器的制备方法。
技术介绍
1、目前对太赫兹频段的利用广泛，在通信、安全、医疗、材料科学等多个领域具有巨大的应用潜力，是未来的发展趋势。在太赫兹系统中，滤波器在接收和发射端都起着至关重要的作用，对信号的选择和抗干扰等都尤为重要。其性能的提升和应用的拓展将为太赫兹技术的发展提供重要支持。然而，现有的太赫兹频段的滤波技术方案存在诸多问题。
2、传统的基片集成波导(siw)滤波器通常采用的基片材料为罗杰斯5880，罗杰斯5880的损耗角正切为0.0009(在毫米波频段表现尚可)，但在太赫兹频段，损耗显著上升，限制了其在>300ghz的适用性。且罗杰斯5880的介电常数不够稳定，在不同的温度和频率下容易受到影响，滤波效果会出现误差。在对精度要求比较高的一些滤波器设计中，由于材料的性质偏软，罗杰斯5880不能实现很高的精度。因此，基于罗杰斯5880基片的滤波器在太赫兹频段的滤波性能仍不理想，需新的技术方案来解决这些难题。
技术实现
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1.一种基于石英基片的太赫兹频段多模滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将石英基片固定于支撑材料包括：将所述石英基片通过临时粘合剂粘附于所述支撑材料，所述支撑材料的尺寸与所述石英基片相近且热膨胀系数与石英匹配。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在石英基片表面形成光刻胶层包括：将光刻胶涂布于清洗后的石英基片表面，经前烘、边缘冲洗及背面冲洗，形成厚度2μm的均匀光刻胶层。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据预设图形曝光、显影包括：使用掩模版对光刻胶层进行曝光，...
【技术特征摘要】
1.一种基于石英基片的太赫兹频段多模滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将石英基片固定于支撑材料包括：将所述石英基片通过临时粘合剂粘附于所述支撑材料，所述支撑材料的尺寸与所述石英基片相近且热膨胀系数与石英匹配。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在石英基片表面形成光刻胶层包括：将光刻胶涂布于清洗后的石英基片表面，经前烘、边缘冲洗及背面冲洗，形成厚度2μm的均匀光刻胶层。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据预设图形曝光、显影包括：使用掩模版对光刻胶层进行曝光，所述掩模版包含对位标记、划片标记及通孔标记，所述通孔标记的直径为石英基片厚度的1.5倍，误差不超过2μm。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述物理气相沉积包括热蒸发、电子束蒸发或溅射沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁士雄，沈志诚，武依，尹明，李战峰，张海涛，马凯学，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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