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本实用新型公开了一种电子级六氯二硅烷的生产系统，包括预处理系统和提纯系统，预处理系统对原料进行粗提，提纯系统将经预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷。预处理系统包括第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔，提纯系统包括脱重组分塔、脱轻组分...
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