能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质。具体地，根据本发明专利技术的一实施例可以提供一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂。树脂。树脂。

【技术实现步骤摘要】
能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质


[0001]本专利技术是涉及一种能够对准图案的转印装置的专利技术。

技术介绍

[0002]最近，在显示器工艺以及半导体工艺中，为了在基板(例如，显示面板以及晶圆(Wafer)等)的表面形成图案(例如，结构化的成型图案以及用于蚀刻或者蒸镀的掩模图案等)，利用纳米压印(Nano Imprint Lithography)工艺。
[0003]纳米压印工艺由于可以替代现有的光刻(Photo Lithography)工艺，是能够经济且有效地制造纳米结构物(nano
‑
structure)的技术。具体地，纳米压印工艺是通过将利用转印装置(Transfer Apparatus)形成有纳米级(nano
‑
scale)图案的模具(Mold)和形成有树脂(Resin)的基板彼此加压而将图案转印于树脂的工艺。如此，在纳米压印工艺中使用的转印装置执行将模具按压(press)于基板之后从基板分离模具的工艺。
[0004]在将模具的图案转印于基板的树脂时，需要使得模具和基板位于预先确定的固定位置(right position)并彼此按压。然而，在将模具或者基板设置于转印装置或使得模具和基板彼此相对移动的过程中，由于各种因素，模具和基板可能不位于固定位置。如此，若模具和基板在没有位于固定位置的情况下彼此按压，则图案不会转印于树脂的预先确定的固定位置，可能制造出性能不良的图案基板。
[0005]因此，需要能够在将模具的图案转印于基板的树脂之前对准水平位置以使得模具和基板位于固定位置的装置。

技术实现思路

[0006]本专利技术的实施例是着眼于上述那样的背景而专利技术的，其目的在于提供能够在将模具的图案转印于基板的树脂之前对准水平位置以使得模具和基板位于预先确定的固定位置(right position)的装置。
[0007]另外，其目的在于提供能够将图案转印于树脂的预先确定的固定位置的装置。
[0008]根据本专利技术的一方面，可以提供一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂。
[0009]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，还包括：UV照射部，与所述拍摄部沿着水平方向隔开设置，并用于将UV照射于所述树脂；以及驱动部，使所述拍摄部以及所述UV照射部沿着水平方向移动，所述UV照射部构成为能够在用于将UV照射于所述树脂的照射位置和不照射UV的非照射位置之间沿着水平方向移动，所述拍摄部构成为能够在用于识别
所述定位标记以及所述定位键的拍摄位置和不识别所述定位标记以及所述定位键的非拍摄位置之间沿着水平方向移动，所述驱动部使所述拍摄部在拍摄位置和非拍摄位置之间移动，并使所述UV照射部在所述照射位置和非照射位置之间移动。
[0010]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述驱动部包括：支承体，支承所述拍摄部以及所述UV照射部；以及致动器，使所述支承体沿着水平方向移动以使所述拍摄部以及所述UV照射部一起沿着水平方向移动，所述支承体以及所述致动器使所述拍摄部以及所述UV照射部移动，以当所述拍摄部位于拍摄位置时所述UV照射部位于非照射位置，并当所述拍摄部位于非拍摄位置时所述UV照射部位于照射位置。
[0011]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述致动器包括滚珠螺杆马达。
[0012]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述拍摄部构成为调整水平位置、垂直位置以及角度中的一个以上以使视场角朝向形成有所述定位标记以及所述定位键的位置。
[0013]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述拍摄部具有识别所述定位标记的第一焦距以及识别所述定位键的第二焦距，并构成为焦距变更为所述第一焦距或者所述第二焦距。
[0014]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述定位标记包括第一定位标记以及第二定位标记，所述定位键包括与所述第一定位标记相对应的第一定位键以及与所述第二定位标记相对应的第二定位键，所述拍摄部包括：第一拍摄部，用于识别所述第一定位标记以及所述第一定位键；以及第二拍摄部，用于识别所述第二定位标记以及所述第二定位键。
[0015]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述第二按压单元包括：基板安放部，用于安放所述基板；以及调位部，调整所述基板安放部的水平位置。
[0016]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述第二按压单元还包括使所述调位部升降的升降部。
[0017]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述调位部包括第一调整部、第二调整部以及旋转部中的一个以上，所述第一调整部为了调整所述基板安放部的水平位置而使所述基板安放部沿着前后方向移动，所述第二调整部使所述基板安放部沿着左右方向移动，所述旋转部使所述基板安放部旋转。
[0018]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，所述第一按压单元还包括：模具支承件，用于支承所述模具；以及支承件移动部，使所述模具支承件沿着水平方向移动来移动所述模具的中心位置。
[0019]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承；模具夹具，一部分开放形成以使得所述模具的中心部朝向所述基板暴露，并支承所述模具的边缘部；以及夹钳，支承所述模具夹具的两侧边缘而将所述模具夹具固定于所述第一按压单元侧，所述夹钳形成有：下侧滑动部件，在下方支承所述模具夹具；以及上侧滑动部件，在上方支承被支承的所述模具夹具，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个能够朝向另一个移动，使得所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将在所述模具形成的图案转印于在所述基板形成的树脂，所述模具夹具滑动插入到所述上侧滑动部件和所述下侧滑动部件之间
而被所述夹钳支承。
[0020]另外，可以提供一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；以及第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个能够朝向另一个移动，使得所述模具和所述基板彼此按压，从而将在所述模具形成的图案按压于在所述基板形成的树脂，所述第一按压单元包括：UV透过窗，支承所述模具，并使UV透过；密闭部，呈环状凸出且下方与所述模具夹具接触而能够将所述UV透过窗周围相对于外部密闭；以及第一排气部，当所述密闭部将所述UV透过窗周围的空间相对于外部密闭时，所述第一排气部用于将在密闭在所述密闭本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键；以及UV照射部，与所述拍摄部沿着水平方向隔开设置，并用于将UV照射于所述树脂，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂，所述UV照射部构成为能够在用于将UV照射于所述树脂的照射位置和不照射UV的非照射位置之间沿着水平方向移动，所述拍摄部构成为能够在用于识别所述定位标记以及所述定位键的拍摄位置和不识别所述定位标记以及所述定位键的非拍摄位置之间沿着水平方向移动，当所述拍摄部位于拍摄位置时，所述UV照射部移动以位于非照射位置，当所述拍摄部位于非拍摄位置时，所述UV照射部移动以位于照射位置。2.根据权利要求1所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述能够对准图案的转印装置还包括：驱动部，使所述拍摄部以及所述UV照射部沿着水平方向移动，所述驱动部使所述拍摄部在拍摄位置和非拍摄位置之间移动，并使所述UV照射部在所述照射位置和非照射位置之间移动。3.根据权利要求2所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述驱动部包括：支承体，支承所述拍摄部以及所述UV照射部；以及致动器，使所述支承体沿着水平方向移动以使所述拍摄部以及所述UV照射部一起沿着水平方向移动。4.根据权利要求3所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述致动器包括滚珠螺杆马达。5.根据权利要求1所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述能够对准图案的转印装置还包括：驱动部，使所述拍摄部以及所述UV照射部沿着水平方向移动；以及控制部，执行用于所述第一按压单元、所述第二按压单元、所述拍摄部以及所述UV照射部的工作的控制，所述驱动部使所述拍摄部在拍摄位置和非拍摄位置之间移动，并使所述UV照射部在所述照射位置和非照射位置之间移动，所述控制部控制所述驱动部使得为了将UV照射于所述树脂而所述UV照射部位于所述照射位置，并控制所述驱动部使得为了识别所述定位标记以及所述定位键而所述拍摄部位于所述拍摄位置。6.一种能够对准图案的转印装置，包括：
第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的一个以上基于由所述拍摄部识别到的所述定位标记以及所述定位键而移动并对准所述模具以及所述基板的水平位置，并且使得对准水平位置的所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将所述图案转印于所述树脂，所述拍摄部构成为，调整水平位置、垂直位置以及角度中的一个以上，以视场角朝向形成有所述定位标记以及所述定位键的位置。7.根据权利要求6所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述拍摄部构成为具有识别所述定位标记的第一焦距以及识别所述定位键的第二焦距，并且焦距变更为所述第一焦距或者所述第二焦距。8.根据权利要求6所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述定位标记包括第一定位标记以及第二定位标记，所述定位键包括与所述第一定位标记相对应的第一定位键以及与所述第二定位标记相对应的第二定位键，所述拍摄部包括：第一拍摄部，用于识别所述第一定位标记以及所述第一定位键；以及第二拍摄部，用于识别所述第二定位标记以及所述第二定位键。9.根据权利要求1或6所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述第二按压单元包括：基板安放部，用于安放所述基板；以及调位部，调整所述基板安放部的水平位置。10.根据权利要求9所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述第二按压单元还包括使所述调位部升降的升降部。11.根据权利要求9所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述调位部包括第一调整部、第二调整部以及旋转部中的一个以上，所述第一调整部为了调整所述基板安放部的水平位置而使所述基板安放部沿着前后方向移动，所述第二调整部使所述基板安放部沿着左右方向移动，所述旋转部使所述基板安放部旋转。12.根据权利要求1或6所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述第一按压单元还包括：模具支承件，用于支承所述模具；以及支承件移动部，使所述模具支承件沿着水平方向移动来移动所述模具的中心位置。13.根据权利要求1或6所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述第二按压单元包括：基板安放部，用于安放所述基板；以及
调位部，调整安放有所述基板的基板安放部的水平位置，所述能够对准图案的转印装置还包括：控制部，执行用于所述第一按压单元、所述第二按压单元、所述拍摄部以及所述调位部的工作的控制。14.根据权利要求9所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述能够对准图案的转印装置还包括：控制部，执行用于所述第一按压单元、所述第二按压单元、所述拍摄部以及所述调位部的工作的控制，所述控制部控制所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个朝向另一个移动，并控制所述拍摄部识别所述定位标记以及所述定位键，并且控制所述调位部调整所述基板安放部的水平位置。15.根据权利要求11所述的能够对准图案的转印装置，其中，所述能够对准图案的转印装置还包括：控制部，执行用于所述第一按压单元、所述第二按压单元、所述拍摄部以及所述调位部的工作的控制，所述控制部为了调整所述基板的水平位置而控制所述第一调整部、所述第二调整部以及所述旋转部中的一个以上。16.一种能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承；模具夹具，一部分开放形成以使得所述模具的中心部朝向所述基板暴露，并支承所述模具的边缘部；以及夹钳，支承所述模具夹具的两侧边缘而将所述模具夹具固定于所述第一按压单元侧，所述夹钳形成有：下侧滑动部件，在下方支承所述模具夹具；以及上侧滑动部件，在上方支承被支承的所述模具夹具，所述第一按压单元以及所述第二按压单元中的任一个能够朝向另一个移动，使得所述模具和所述基板彼此按压，从而彼此加压而将在所述模具形成的图案转印于在...

【专利技术属性】
技术研发人员：金泰完，权相民，金准基，朴惠贞，郑明教，郑熙锡，
申请(专利权)人：吉佳蓝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：