本发明涉及一种纳米压印用复制模制作装置，包括：转印部，其在从一侧供应的薄膜形成复制模；薄膜供应部，其断续地对所述薄膜进行退卷以向所述转印部供应所述薄膜；薄膜回收部，其断续地卷取所述薄膜以从所述转印部回收所述薄膜，并且所述转印部包括：载台...

根据本发明的实施例的静电卡盘单元，其设置在等离子体蚀刻装置，可以包括：静电卡盘，在上面支撑晶片；以及聚焦环，以围绕所述静电卡盘的中心部分的方式布置在所述静电卡盘的上部，并将用于蚀刻所述晶片的反应气体聚焦到所述晶片上，所述聚焦环，包括：第...

本发明涉及一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔室，在内部具备通过等离子体处理基板的处理空间；安放部，安放基板，安放部配置于所述处理空间；器皿部，在所述处理空间中，配置于比所述安放部靠上侧的位置，并具备贯通口以将等离子体朝向安放于所述安...

本发明涉及晶圆处理装置，晶圆处理装置包括：腔室，具备晶圆的处理空间；晶圆卡盘，在所述处理空间内支承晶圆；工作单元，支承所述晶圆卡盘，并且与所述晶圆卡盘一起升降；以及升降单元，位于所述晶圆卡盘的下方，并且具备贯通所述工作单元的边缘侧的多个...

本发明公开一种晶圆处理系统及晶圆处理方法。所述晶圆处理系统包括：一对处理模块，其构成为处理彼此不同种类的晶圆；一对匣盒模块，其构成为容纳彼此不同种类的晶圆；以及移送模块，其构成为在一对处理模块与一对匣盒模块之间分别移送彼此不同种类的晶圆...

本发明涉及一种固定连接器，其特征在于，包括：主体，插入固定于基板；信号针，一侧插入于所述主体的内部，从一侧延伸的另一侧在所述基板上延伸配置；以及电介质，结合所述信号针和所述主体，所述信号针形成为L字形以使得所述信号针的一部分与所述基板相...

本发明公开一种晶圆释放方法，其用于晶圆处理系统及晶圆处理方法。本发明的晶圆释放方法包括：使施加于卡盘的电压的极性反转的极性反转步骤；使容纳在卡盘的升降销以第一移送速度从卡盘上升以将支撑于卡盘的晶圆移送到第一设定位置的第一移送步骤；以及使...

本发明涉及一种板接通组件，其特征在于，包括：板接通销，传输信号；电介质部，具有被插入所述板接通销的第一插入孔；壳体，具有被插入所述电介质部的一部分的沟槽以及被插入所述板接通销的第二插入孔；以及地线接触部，配置在所述壳体和所述电介质部之间...

公开一种晶圆承载器组装装置以及晶圆承载器组装方法，能够更迅速且准确地组装晶圆承载器。晶圆承载器组装装置包括：基座；承载器支承台，支承晶圆承载器，并可移动地结合于基座，承载器支承台包括：至少一个导销，支承下承载器，并被上承载器加压。并被上...

本发明提供柔性电路板，所述柔性电路板包括：第一电源线，在第一电介质层的一面形成；以及第二电源线，形成于第二电介质层的一面，所述第二电介质层在所述第一电介质层的底面与所述第一电介质层隔开形成。存在所述第一电源线和所述第二电源线重叠的重叠区...

本发明的一实施例公开一种升降驱动组件，包括：一个以上的升降销，其配置为与被处理件重叠以便能够支撑被处理件；一个以上的夹持部，其配置为与所述升降销间隔开；运动部，其形成为共同地连接所述升降销及所述夹持部，并且进行上升及下降运动；以及驱动部...

本发明的一实施例公开了一种基板配置单元，包括：对向板，其以与基板对向的方式具有对向面；块部，其具有小于所述对向板地形成于所述对向板的对向面的相反面的多个块；以及一个以上的贯通孔，其对应于所述块部及所述对向板而形成。而形成。而形成。

本发明的一实施例公开一种加热组件，包括：加热部件，其形成为产生热；加热体部，其接收由所述加热部件产生的热；以及热传递部件，其配置于所述加热体部与所述加热部件之间的至少一个区域。至少一个区域。至少一个区域。

本发明的一实施例公开一种喷头，包括：气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；以及第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面...

本发明涉及基板托盘。具体地，根据本发明的一实施例，可以提供一种基板托盘，其包括：第一空腔主体，形成第一空腔空间，所述第一空腔空间具有边缘的至少一部分与基板的厚度面相对的形状；以及第二空腔主体，形成具有圆环形状的第二空腔空间，并提供于所述...

根据本发明的一方面可以提供能够对准图案的转印装置，包括：第一按压单元，对形成有图案以及定位标记的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂以及定位键的基板进行支承；以及拍摄部，识别所述定位标记以及所述定位键，所述第二按压单元包括基板安放部...

本发明提供一种连接器以及具备其的板接通组件。本发明包括：接通销，一部分插入于板而传输高频信号；以及电介质主体，具有被插入所述接通销的第一开口，所述接通销包括：中心部，配置于所述电介质主体的所述第一开口；以及第一接通部，从所述中心部向上方...

一种能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质。能够对准图案的转印装置包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承；模具夹具，一部分开放形成以使得模具的中心部朝向基板暴露，并支承模具...

公开一种基板支承装置以及利用其的基板搬出方法。根据本发明提供一种基板支承装置，包括：静电吸盘(electrostatic chuck)，通过静电力支承基板；解除卡紧单元(dechucking unit)，使基板从静电吸盘隔开，以使基板脱...

本发明提供一种多重信号传输用柔性电路板，包括：第一电介质层；多个第一侧面接地，在所述第一电介质层的一面平行形成；第一信号线，在所述多个第一侧面接地的每个之间形成；以及多个贯通孔，在所述多个第一侧面接地的每个中，沿着所述第一侧面接地的长度...