一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽技术方案

本实用新型专利技术公开了一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，涉及混酸系统技术领域。本实用新型专利技术包括顶混合槽箱、中混合槽箱和底混合槽箱，顶混合槽箱的底部侧壁上安装有吊装架，且顶混合槽箱通过吊装架与中混合槽箱固定连接，中混合槽箱的底部侧壁上也安装有吊装架，且中混合槽箱通过吊装架与底混合槽箱固定连接，顶混合槽箱的尾端的底部侧壁上镶嵌有检测管，且中混合槽箱尾端的底部侧壁上也镶嵌有检测管，检测管的内部安装有检测机构。本实用新型专利技术通过混合槽箱和检测管，三个混合槽箱相互叠放设置，并通过检测管相互连通，其中检测管不但起到酸液的导流输送作用，同时其内的检测机构也可对输送的酸液进行检测工作。机构也可对输送的酸液进行检测工作。机构也可对输送的酸液进行检测工作。

【技术实现步骤摘要】
一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽


[0001]本技术属于混酸系统
，特别是涉及一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽。

技术介绍

[0002]混酸系统，多运用于在半导体制程中，通常使用含有不同浓度的磷酸与多种添加剂混合而成的成品蚀刻剂，通常每种成品蚀刻剂的配方通常由配方供应厂家订制，并且需要为每种配方的蚀刻剂设置一个单独的管路，具体地，通过用于不同种类成品蚀刻剂的管路分别从化学药剂厂房的不同蚀刻剂贮液罐连接到酸洗蚀刻厂房的反应槽，而在混酸药剂制作过程中最不可缺的设备之一即为混合槽，利用混合槽可对不同种类的酸液原料进行混合工作，使其形成一种新的酸液进而满足生产需求。
[0003]现阶段中的一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，具有以下不足之处；
[0004]1.现阶段中的一种基于混酸系统的混合槽，其在使用时，只具有混合酸液原料的功能，无法对酸液原料混合情况以及混合液进行及时检测，进而无法针对性并且及时的对混合液及时作出调整的问题。
[0005]2.现阶段中的一种基于混酸系统的混合槽，其在使用时，当需要对混合酸液进行检测时需要从混合槽中取出部分原料，并送入实验室进行检测，该过程耗时耗力，并且耽误生产进度的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，通过混合槽箱和检测管，三个混合槽箱相互叠放设置，并通过检测管相互连通，其中检测管不但起到酸液的导流输送作用，同时其内的检测机构也可对输送的酸液进行检测工作，解决了现有混合槽的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0008]本技术为一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，包括顶混合槽箱、中混合槽箱和底混合槽箱，所述顶混合槽箱的底部侧壁上安装有吊装架，且顶混合槽箱通过吊装架与中混合槽箱固定连接，所述中混合槽箱的底部侧壁上也安装有吊装架，且中混合槽箱通过吊装架与底混合槽箱固定连接，所述吊装架包括了侧支杆和衔接板，且侧支杆通过销轴与吊装架转动连接，且侧支杆的顶部末端通过衔接板与上一级混合槽箱的底部侧壁固定连接，所述顶混合槽箱的尾端的底部侧壁上镶嵌有检测管，且中混合槽箱尾端的底部侧壁上也镶嵌有检测管，所述检测管的内部安装有检测机构。
[0009]进一步地，所述顶混合槽箱的规格分别与中混合槽箱以及底混合槽箱的规格相同设置，所述顶混合槽箱的内部开设有混合腔，且混合腔的内部安装有多个分隔板，所述分隔板的左右两侧设置有溶液槽，且分隔板的左侧底部侧壁上镶嵌有液位计，且分隔板的内部、液位计的上方镶嵌有导流排阀，所述溶液槽共设置有三个，且溶液槽呈等分式结构设置在
混合腔的内部。
[0010]进一步地，所述顶混合槽箱通过尾端底部的检测管与中混合槽箱连通设置，且中混合槽箱通过尾端底部的检测管与底混合槽箱的连通设置，所述顶混合槽箱的中心处与中混合槽箱的左侧壁相齐平设置，且中混合槽箱的中心处与底混合槽箱的左侧壁相齐平设置。
[0011]进一步地，所述检测管包括了衔接管和导流管以及检测机构，所述衔接管的上方侧壁中焊接有上连接管，且衔接管的下方侧壁中焊接有下连接管，所述下连接管通过内部的连接槽与导流管顶部的螺纹口螺纹铆合连接。
[0012]进一步地，所述检测机构的包括中心管、限位管和卡接板，所述限位管共设置有四个，且限位管之间以中心管为圆心呈环形阵列结构通过弧形板粘接在中心管的外侧壁上，且检测机构通过限位管与检测管的内侧壁卡接设置。
[0013]进一步地，所述限位管的内部镶嵌有弹簧柱，且限位管的末端侧壁上粘接有夹持板，所述限位管之间的中心线上设置有卡接板，且卡接板的中心处开设有卡接槽，且卡接槽的内侧壁上粘接有防滑垫，所述卡接板共设置有四块，且卡接板也呈环形阵列结构设置在中心管的外侧壁上。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、本技术通过设置混合槽箱和检测管，三个混合槽箱相互叠放设置，并通过检测管相互连通，其中检测管不但起到酸液的导流输送作用，同时其内的检测机构也可对输送的酸液进行检测工作，解决了现阶段中的一种基于混酸系统的混合槽，只具有混合酸液原料的功能，无法对酸液原料混合情况以及混合液进行及时检测，进而无法针对性并且及时的对混合液及时作出调整的问题。
[0016]2、本技术通过设置检测机构、限位管和卡接板，其中卡接板中的卡接槽内可放置检测设备，检测机构又通过弹簧柱的伸缩作用使得限位管可稳定的卡接在检测管的内内壁，进而可实时的对混合酸液进行检测工作，同时在需要进行不同种类检测时只需要替换卡接板中卡接槽内放置的检测设备即可，解决了现阶段中的一种基于混酸系统的混合槽，当需要对混合酸液进行检测时需要从混合槽中取出部分原料，并送入实验室进行检测，该过程耗时耗力，并且耽误生产进度的问题。
[0017]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽的结构示意图；
[0020]图2为本技术的混合槽箱结构俯视图；
[0021]图3为本技术的检测管爆炸图；
[0022]图4为本技术的检测机构俯视图。
[0023]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0024]1、顶混合槽箱；101、混合腔；102、分隔板；1021、液位计；103、导流排阀；104、溶液槽；2、中混合槽箱；3、底混合槽箱；4、吊装架；5、侧支杆；6、衔接板；7、检测管；701、衔接管；702、上连接管；703、下连接管；704、连接槽；705、导流管；706、螺纹口；8、检测机构；801、中心管；802、弧形板；803、限位管；804、弹簧柱；805、夹持板；806、卡接板；807、卡接槽；808、防滑垫。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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4所示，本技术为一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，包括顶混合槽箱1、中混合槽箱2和底混合槽箱3，顶混合槽箱1的底部侧壁上安装有吊装架4，且顶混合槽箱1通过吊装架4与中混合槽箱2固定连接，中混合槽箱2的底部侧壁上也安装有吊装架4，且中混合槽箱2通过吊装架4与底混合槽箱3固定连接，吊装架4包括了侧支杆5和衔接板6，且侧支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，包括顶混合槽箱(1)、中混合槽箱(2)和底混合槽箱(3)，其特征在于：所述顶混合槽箱(1)的底部侧壁上安装有吊装架(4)，且顶混合槽箱(1)通过吊装架(4)与中混合槽箱(2)固定连接，所述中混合槽箱(2)的底部侧壁上也安装有吊装架(4)，且中混合槽箱(2)通过吊装架(4)与底混合槽箱(3)固定连接，所述吊装架(4)包括了侧支杆(5)和衔接板(6)，且侧支杆(5)通过销轴与吊装架(4)转动连接，且侧支杆(5)的顶部末端通过衔接板(6)与上一级混合槽箱的底部侧壁固定连接，所述顶混合槽箱(1)的尾端的底部侧壁上镶嵌有检测管(7)，且中混合槽箱(2)尾端的底部侧壁上也镶嵌有检测管(7)，所述检测管(7)的内部安装有检测机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种基于混酸系统的具有检测机构的混合槽，其特征在于，所述顶混合槽箱(1)的规格分别与中混合槽箱(2)以及底混合槽箱(3)的规格相同设置，所述顶混合槽箱(1)的内部开设有混合腔(101)，且混合腔(101)的内部安装有多个分隔板(102)，所述分隔板(102)的左右两侧设置有溶液槽(104)，且分隔板(102)的左侧底部侧壁上镶嵌有液位计(1021)，且分隔板(102)的内部、液位计(1021)的上方镶嵌有导流排阀(103)。3.根据权利要求1所述的一种基于混酸系统的具有检测机构的混合...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏富琨，余光明，戴荣昌，曾朵清，
申请(专利权)人：福建雅鑫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：