一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，涉及蚀刻液原料提纯技术领域。本实用新型专利技术包括第一原料罐、第二原料罐和纳米过滤装置，还包括汽提塔、多段蒸发罐和热交换器，第一原料罐的底面和汽提塔的上端一侧面之间通过第一输料四氟管固定连接，汽提塔的底面和多段蒸发罐的上端一侧面之间通过第二输料四氟管固定连接，多段蒸发罐的顶面和热交换器的进料端通过第三输料四氟管固定连接，热交换器的出料端和第二原料罐的上端一侧面之间通过第四输料四氟管固定连接，第二原料罐的底面和纳米过滤装置的进料端之间通过第五输料四氟管固定连接。本实用新型专利技术的提纯方式丰富，提纯效果好，整体实用性强，同时本装置中的酸液储存装置防腐效果好，使用寿命长。使用寿命长。使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统


[0001]本技术属于蚀刻液原料提纯
，特别是涉及一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统。

技术介绍

[0002]半导体产业包含印刷电路板、光伏、液晶面板、集成电路等等，此产业工艺流程中，常用的电子化学品有氨水、硫酸、双氧水、氯化氢、氟化氢、氟化铵及含氟蚀刻液等，此相关电子化学品主要在集成电路中被使用在湿式制程工艺车间，进行湿式制程工艺，如去光阻、湿式蚀刻和湿式化学清洗是湿式制程车间工艺内最普遍的制程，故又称为湿式化学品；
[0003]在上述产业中，因不同产业产品规格及其相关工艺，所对应的电子化学品的清洗与蚀刻的纯度也有所不同，电子化学品最高纯度的等级是应用在半导体产业中芯片集成电路、大尺寸集成电路(如12吋芯片)等，电子化学品纯度，其中最重要技术指标是微量金属含量及颗粒数，分别为每个金属微量小于50ppt，每毫升颗粒数大于或等于0.1微米，不得超过100颗，目前的工业级氯化氢、氟化氢、硝酸反应液中颗粒直径大于200纳米，同时反应液中颗粒浓度高于100颗每毫升，不符合技术指标，故在配置蚀刻液时，必须对氯化氢、氟化氢、硝酸进行纯化，以使得制得的蚀刻液颗粒直径小于100纳米，同时颗粒数量小于100颗每毫升；
[0004]但是现有的蚀刻液配置用酸液提纯系统，在实际的使用中依然存在以下的不足：
[0005]1.现有的蚀刻液配置用酸液提纯系统存在提纯效果不理想，提纯工序单一的问题；
[0006]2.现有的蚀刻液配置用酸液提纯系统在使用时，因为酸液需要加热，因此，用于酸液储存的储存罐内壁易出现腐蚀而导致储存罐的使用寿命低下；
[0007]因此，有必要对现有技术进行改进，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，解决了蚀刻液配置用酸液提纯系统在实际的使用中存在提纯效果不理想且用于储酸的储存罐易出现腐蚀的问题。
[0009]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0010]本技术为一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，包括第一原料罐、第二原料罐和纳米过滤装置，还包括汽提塔、多段蒸发罐和热交换器，所述第一原料罐的底面和汽提塔的上端一侧面之间通过第一输料四氟管固定连接，所述汽提塔的底面和多段蒸发罐的上端一侧面之间通过第二输料四氟管固定连接，所述多段蒸发罐的顶面和热交换器的进料端通过第三输料四氟管固定连接，所述热交换器的出料端和第二原料罐的上端一侧面之间通过第四输料四氟管固定连接，所述第二原料罐的底面和纳米过滤装置的进料端之间通过第五输料四氟管固定连接；
1201、第四水泵；1202、第八电磁阀。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]请参阅图1
‑
2所示，本技术为一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，包括第一原料罐1、第二原料罐5和纳米过滤装置6，还包括汽提塔 2、多段蒸发罐3和热交换器4，第一原料罐1的底面和汽提塔2的上端一侧面之间通过第一输料四氟管8固定连接，汽提塔2的底面和多段蒸发罐3 的上端一侧面之间通过第二输料四氟管9固定连接，多段蒸发罐3的顶面和热交换器4的进料端通过第三输料四氟管10固定连接，热交换器4的出料端和第二原料罐5的上端一侧面之间通过第四输料四氟管11固定连接，第二原料罐5的底面和纳米过滤装置6的进料端之间通过第五输料四氟管 12固定连接；
[0029]第一原料罐1的侧面上端位置还固定连接有进料四氟管101，进料四氟管101用于未提出的酸液进入，纳米过滤装置6的出料端上固定连接有出料四氟管601，出料四氟管601上固定安装有第二电磁阀602，出料四氟管 601的设置用于提纯之后的酸液排出，第二电磁阀602可以控制出料四氟管 601的通断，出料四氟管601在实际使用中与混酸槽配合；
[0030]第一输料四氟管8上从靠近第一原料罐1一侧开始依次设置有第三电磁阀802、第一水泵801和蛇形加热器803，蛇形加热器803用于对流过的酸液进行加热，第三电磁阀802的设置用于控制第一输料四氟管8的通断；
[0031]汽提塔2的顶面上固定连接有出气四氟管203，出气四氟管203用于气体的排出，在实际使用中可以外接酸性气体净化装置，实现排出气体的净化，同时汽提塔2的下端侧面上固定连接有进气四氟管201，进气四氟管 201的设置用于气体向汽提塔2中的鼓入，出气四氟管203上固定安装有第四电磁阀204，第四电磁阀204用于控制出气四氟管203的通断，同时进气四氟管201上固定安装有第五电磁阀202，第五电磁阀202用于控制进气四氟管201的通断；
[0032]第二输料四氟管9上从靠近汽提塔2一侧开始依次设置有第二水泵901 和第六电磁阀902，第六电磁阀902用于控制第二输料四氟管9的通断；
[0033]第三输料四氟管10上固定安装有第七电磁阀1001，第七电磁阀1001 用于控制第三输料四氟管10的通断，第四输料四氟管11上固定安装有第三水泵1101；
[0034]第五输料四氟管12上从靠近第二原料罐5一侧开始依次设置有第八电磁阀1202和第四水泵1201，第八电磁阀1202用于控制第五输料四氟管12 的通断；
[0035]上述设置在使用时，工作人员先将待提出的酸液储存在第一原料罐1 中，通过第一水泵801的工作，第一原料罐1中的酸液通过第一输料四氟管8进入汽提塔2中进行初步提纯，初步提纯之后的酸液在第二水泵901 的工作下，通过第二输料四氟管9进入到多段蒸发罐3中进行二次浓缩提纯，浓缩的酸蒸汽通过第三输料四氟管10进入热交换器4中进行冷却液化，并在第三水泵1101的工作下，通过第四输料四氟管11抽入第二原料罐5 中二次储存，第二原料罐5中的酸液在第四水泵1201的工作下，最终通过第五输料四氟管12进入纳米过滤装置6中进行过滤，过滤之后的酸液通过出料四氟管601排出，进入混酸工序中；
[0036]另外，本装置在实际使用中所有的电器元件均与控制器电线连接，方便工作人员
的集中处理。
[0037]请参阅图2
‑
3所示，第一原料罐1和第二原料罐5的侧壁内部均设置有冷却腔13，且冷却腔13内侧的第一原料罐1和第二原料罐5侧壁上均沿竖直方向阵列设置有导热环14，导热环14的设置便于热的传导，提高换热效率；
[0038]第一原料罐1和第二原料罐5的冷却腔13之间通过U形四氟管7连通，且U形四氟管7的两端上均安装有第一电磁阀701，第一电磁阀701用于控制U形四氟管7的通断，U形四氟管7的中部连通设置有第二冷凝四氟管 702，第一原料罐1和第二原料罐5的一侧面下端位置处均设置有与冷却腔 13连通的第一冷凝四氟管15，第二冷凝四氟管702和第一冷凝四氟管15 均与冷凝器连接，实现冷凝气的循环；
[0039]上述设置在使用时，冷凝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，包括第一原料罐(1)、第二原料罐(5)和纳米过滤装置(6)，其特征在于：还包括汽提塔(2)、多段蒸发罐(3)和热交换器(4)，所述第一原料罐(1)的底面和汽提塔(2)的上端一侧面之间通过第一输料四氟管(8)固定连接，所述汽提塔(2)的底面和多段蒸发罐(3)的上端一侧面之间通过第二输料四氟管(9)固定连接，所述多段蒸发罐(3)的顶面和热交换器(4)的进料端通过第三输料四氟管(10)固定连接，所述热交换器(4)的出料端和第二原料罐(5)的上端一侧面之间通过第四输料四氟管(11)固定连接，所述第二原料罐(5)的底面和纳米过滤装置(6)的进料端之间通过第五输料四氟管(12)固定连接；所述第一原料罐(1)和第二原料罐(5)的侧壁内部均设置有冷却腔(13)，且冷却腔(13)内侧的第一原料罐(1)和第二原料罐(5)侧壁上均沿竖直方向阵列设置有导热环(14)；所述第一原料罐(1)和第二原料罐(5)的冷却腔(13)之间通过U形四氟管(7)连通，且U形四氟管(7)的两端上均安装有第一电磁阀(701)，所述U形四氟管(7)的中部连通设置有第二冷凝四氟管(702)，所述第一原料罐(1)和第二原料罐(5)的一侧面下端位置处均设置有与冷却腔(13)连通的第一冷凝四氟管(15)。2.根据权利要求1所述的一种配置蚀刻液用酸性原料的提纯系统，其特征在于，所述第一原料罐(1)的侧面上端位置还固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏富琨，戴荣昌，俞泽林，曾朵清，
申请(专利权)人：福建雅鑫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：