一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构制造技术

本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。气体流入到临近工位上。气体流入到临近工位上。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构


[0001]本申请属于晶圆清洗设备
，尤其是涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

技术介绍

[0002]晶圆清洗设备通常具有多道工序，比如先进行清洗液清洗再进行清水清洗，如图 1 所示，这就必然需要将晶圆在不同的工位上移动，以便进入不同的清洗槽内。运输机构在运输仓室 93 内运动已将晶圆从第一清洗工位 91 运输到第二清洗工位92。由于需要移动晶圆，因此各工位之间不能完全封闭，当清洗槽内进行清洗工作时，就有可能将清洗液水雾或者气体带入临近的工位上，因此需要一种针对晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，包括：
[0006]固定框，位于晶圆清洗设备的背板后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面，宽度方向的1个宽度竖直板面，高度不同的两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，包括：固定框（1），位于晶圆清洗设备的背板（31）后部，为立方体形，4 面由板材构成，也即具有长度方向的 2 个长度竖直板面（11），宽度方向的 1 个宽度竖直板面（12），高度不同的两个平行的水平板面（13），前端为晶圆清洗设备的背板（31），且背板（31）上开设有开口；导轨（4），设置在固定框（1）的长度竖直板面（11）的内壁上，与水平面平行；滑动块（5），设置在导轨（4）上，能够在电机驱动下沿所述导轨（4）运动；挡板（2），设置在所述滑动块（5），能够在滑动块（5）运动时，从背板（31）上开设的开口伸出或者缩回。2.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板（2）的板面，以密封所述挡板与背板（31）开口处的间隙。3.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述宽度竖直板面（12）上设置有通气口（8），以向固定框（1）内通入气...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，吴清，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：