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本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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