一种超小型片式整流元件生产装置制造方法及图纸

技术编号:30090201 阅读:12 留言:0更新日期:2021-09-18 08:51
本发明专利技术涉及片式整流元件相关领域,特别涉及一种超小型片式整流元件生产装置,包括外壳体,所述外壳体内设有生产腔,所述生产腔下侧设有滑动腔,所述滑动腔与所述生产腔之间固定安装设有固定板,所述生产腔开口朝外,所述生产腔远离所述生产腔开口一侧的端壁内连通设有延长腔,本发明专利技术能提高超小型片式整流基块从晶圆块上切割下来的效率,通过上下同时切割减少了切割深度,相对于单向切割晶圆块上产生裂纹的概率更小,并且本发明专利技术在对一块基块切割下来后直接推入存放腔内,减少了每次切割后将切割下来的基块放入存放腔的步骤,从而提高了生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种超小型片式整流元件生产装置


[0001]本专利技术涉及片式整流元件相关
,具体地说是一种超小型片式整流元件生产装置。

技术介绍

[0002]现阶段对片式整流元件的基块从晶圆上切割下来的方式有激光切割,刀具切割等,对于超小型片式整流元件基块无法通过激光切割,只能通过物理方式将其从晶圆块上剥离下来,由于体积较小,从而现阶段的单向切割方式容易造成晶圆块产生裂纹从而导致切割下来的基块不合格,并且现阶段每次在剥离下一块片式整流元件的基块都需要将去单独放置后才能进行下一次切割,这降低了切割效率。
[0003]本申请阐述一种超小型片式整流元件生产装置,能够解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术为解决上述技术问题提供一种超小型片式整流元件生产装置,解决了晶圆块切割时合格率和效率不高的问题。
[0005]本专利技术的上述目的是通过以下技术方案得以实现的:一种超小型片式整流元件生产装置,包括外壳体,所述外壳体内设有生产腔,所述生产腔下侧设有滑动腔,所述滑动腔与所述生产腔之间固定安装设有固定板,所述生产腔开口朝外,所述生产腔远离所述生产腔开口一侧的端壁内连通设有延长腔;
[0006]所述延长腔内滑动安装设有抵接块,所述生产腔上端壁内滑动安装设有移动块,所述移动块下端面内固设有连接气缸,所述连接气缸下端固设有位于所述移动块下侧的连接块,所述连接块下端面内设有开口朝下的存放腔,所述存放腔端壁内对称设有两个与所述存放腔连通的卡槽,所述卡槽内滑动安装设有卡块,所述滑动腔下端壁内滑动安装设有衔接块。
[0007]作为优选地,所述衔接块上端面内设有开口朝上的开口腔,所述开口腔内滑动安装设有推动块,所述开口腔下端壁内固设有从动气缸,所述从动气缸上端与所述推动块下端面固定连接,所述推动块上端面固设有四个沿所述推动块中心线阵列设置的从动刀头,所述从动刀头能对晶圆进行切割。
[0008]作为优选地,所述卡块远离所述存放腔中心线一侧的端面与所述卡槽远离所述存放腔中心线一侧的端壁之间通过复位弹簧固定连接,所述卡块延长至所述存放腔内的一端的下端面为斜面。
[0009]作为优选地,所述存放腔端壁内固设有基块保护膜,所述基块保护膜保护进入所述存放腔内的芯片外周面不会被磨损,所述连接块下端面固设有四个沿所述连接块中心线阵列设置的主动刀头,所述主动刀头能对晶圆进行切割。
[0010]作为优选地,所述生产腔端面内连通设有沿所述生产腔朝外开口上下对称的衔接腔,所述衔接腔内滑动安装设有滑动板,所述衔接腔端壁内固设有主动气缸,所述主动气缸
与所述滑动板动力连接,所述滑动板靠近所述延长腔一侧的端面内固设有衔接气缸,上侧的所述衔接气缸靠近所述延长腔一端与所述移动块固定连接,下侧的所述衔接气缸靠近所述延长腔一端与所述衔接块固定连接。
[0011]作为优选地,所述延长腔远离所述衔接气缸一侧设有传动腔,所述传动腔靠近所述衔接气缸一侧的端壁内固设有电机,所述电机远离所述衔接气缸一端动力连接设有主动轴,所述电机靠近所述衔接气缸一侧的端面上电力连接设有控制电源,所述控制电源固定安装在所述延长腔与所述传动腔之间。
[0012]作为优选地,所述抵接块远离所述衔接气缸一侧的端面与所述延长腔远离所述衔接气缸一侧的端面之间通过压缩弹簧固定连接,所述抵接块远离所述衔接气缸一侧的端面上固设有触发块。
[0013]作为优选地,所述传动腔内设有固定安装在所述主动轴上的转动齿轮,所述转动齿轮上下侧对称设有与所述转动齿轮啮合连接的移动齿条,所述生产腔两侧端壁内对称设有滑移腔,所述滑移腔内滑动安装设有连接板,所述移动齿条滑动安装在所述滑移腔与所述传动腔之间,所述连接板与所述移动齿条固定连接,所述滑移腔与所述生产腔之间滑动安装设有衔接板,所述衔接板与所述连接板固定连接,所述生产腔内设有固定安装在所述衔接板上的夹紧块。
[0014]作为优选地,所述抵接块与所述夹紧块靠近所述延长腔中心线一侧的端面内固设有保护晶圆块的保护块,防止对晶圆块造成较大挤压力,所述抵接块与所述夹紧块靠近所述生产腔开口一侧的端面为和晶圆同一弧度的弧面。
[0015]作为优选地,所述固定板上下端面内设有与晶圆片内芯片同一大小的贯穿腔,所述推动块上端面内设有开口朝上的推动腔,所述推动腔内滑动安装设有滑移块,所述推动腔下端壁内固设有推动气缸,所述推动气缸上端与所述滑移块下端面固定连接。
[0016]本专利技术的有益效果是:本专利技术能提高超小型片式整流基块从晶圆块上切割下来的效率,通过上下同时切割减少了切割深度,相对于单向切割晶圆块上产生裂纹的概率更小,并且本专利技术在对一块基块切割下来后直接推入存放腔内,减少了每次切割后将切割下来的基块放入存放腔的步骤,从而提高了生产效率。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本专利技术实施例的结构示意图;
[0019]图2是本专利技术实施例图1中A

A示意图;
[0020]图3是本专利技术实施例图1中B

B示意图;
[0021]图4是本专利技术实施例图1中C处的结构放大示意图;
[0022]图5是本专利技术实施例图2中D处的结构放大示意图。
[0023]图中:10

外壳体,11

滑动腔,12

固定板,13

抵接块,14

贯穿腔,15

生产腔,16

移动块,17

连接气缸,18

衔接气缸,19

滑动板,20

连接块,21

存放腔,22

基块保护膜,
23

卡块,24

衔接块,25

开口腔,26

从动气缸,27

推动块,28

移动齿条,29

转动齿轮,30

滑移腔,31

传动腔,32

衔接板,33

连接板,34

夹紧块,35

衔接腔,36

主动气缸,37

卡槽,38

复位弹簧,39

主动刀头,40

从动刀头,41

电机,42

主动轴,43

控制电源,44

触发块,45

压缩弹簧,4本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超小型片式整流元件生产装置,包括外壳体(10),其特征在于:所述外壳体(10)内设有生产腔(15),所述生产腔(15)下侧设有滑动腔(11),所述滑动腔(11)与所述生产腔(15)之间固定安装设有固定板(12),所述生产腔(15)开口朝外,所述生产腔(15)远离所述生产腔(15)开口一侧的端壁内连通设有延长腔(46);所述延长腔(46)内滑动安装设有抵接块(13),所述生产腔(15)上端壁内滑动安装设有移动块(16),所述移动块(16)下端面内固设有连接气缸(17),所述连接气缸(17)下端固设有位于所述移动块(16)下侧的连接块(20),所述连接块(20)下端面内设有开口朝下的存放腔(21),所述存放腔(21)端壁内对称设有两个与所述存放腔(21)连通的卡槽(37),所述卡槽(37)内滑动安装设有卡块(23),所述滑动腔(11)下端壁内滑动安装设有衔接块(24)。2.根据权利要求1所述的一种超小型片式整流元件生产装置,其特征在于:所述衔接块(24)上端面内设有开口朝上的开口腔(25),所述开口腔(25)内滑动安装设有推动块(27),所述开口腔(25)下端壁内固设有从动气缸(26),所述从动气缸(26)上端与所述推动块(27)下端面固定连接,所述推动块(27)上端面固设有四个沿所述推动块(27)中心线阵列设置的从动刀头(40),所述从动刀头(40)能对晶圆进行切割。3.根据权利要求1所述的一种超小型片式整流元件生产装置,其特征在于:所述卡块(23)远离所述存放腔(21)中心线一侧的端面与所述卡槽(37)远离所述存放腔(21)中心线一侧的端壁之间通过复位弹簧(38)固定连接,所述卡块(23)延长至所述存放腔(21)内的一端的下端面为斜面。4.根据权利要求1所述的一种超小型片式整流元件生产装置,其特征在于:所述存放腔(21)端壁内固设有基块保护膜(22),所述基块保护膜(22)保护进入所述存放腔(21)内的芯片外周面不会被磨损,所述连接块(20)下端面固设有四个沿所述连接块(20)中心线阵列设置的主动刀头(39),所述主动刀头(39)能对晶圆进行切割。5.根据权利要求4所述的一种超小型片式整流元件生产装置,其特征在于:所述生产腔(15)端面内连通设有沿所述生产腔(15)朝外开口上下对称的衔接腔(35),所述衔接腔(35)内滑动安装设有滑动板(19),所述衔接腔(35)端壁内固设有主动气缸(36),所述主动气缸(36)与所述滑动板(19)动力连接,所述滑动板(19)靠近所述延长腔(46)一侧的端面内固设有衔接气缸(18),上侧的所述衔接气缸(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:伍军莲
申请(专利权)人:广州皓景数码科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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