一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，包括垫板，所述垫板外部一侧设有盖板，所述垫板内部一侧开设有导向槽，所述导向槽内部嵌入连接有滑块，所述滑块内部贯穿连接有螺杆，所述螺杆一端固定连接有螺母，所述螺母一侧设有垫片，所述垫片一侧与所述垫板抵触，所述垫板内部一侧开设有安装槽，所述安装槽一侧固定连接有若干安装座一，所述安装座一内部嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧另一端嵌入连接于所述安装座二内部，所述安装座一侧固定连接有顶板，本实用新型专利技术通过在垫板边缘一周设置可以伸缩的顶板，并且顶板上设有橡胶密封垫，橡胶密封垫可以配合盖板将连接区域进行密封，从而防止灰尘或水汽进入，提高连接区域的密封性。连接区域的密封性。连接区域的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件


[0001]本技术涉及一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，属于设备安装


技术介绍

[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机，高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造，国外品牌主要以荷兰ASML，日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。
[0003]由于光刻机较为复杂，光刻机使用的铝合金连接件数量也十分众多，但是目前使用的铝合金连接件没有良好的密封性，使用螺杆固定时，若螺孔位置出现偏差，螺杆则很难拧紧在螺孔内，并且在设备组装时，有些需要进行密封的位置需要使用密封胶等手段进行密封，费时费力，因此，需要对以上缺陷进行改善。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，通过在垫板边缘一周设置可以伸缩的顶板，并且顶板上设有橡胶密封垫，橡胶密封垫可以配合盖板将连接区域进行密封，从而防止灰尘或水汽进入，提高连接区域的密封性，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件,包括垫板，所述垫板外部一侧设有盖板，所述垫板内部一侧开设有导向槽，所述导向槽内部嵌入连接有滑块，所述滑块内部贯穿连接有螺杆，所述螺杆一端固定连接有螺母，所述螺母一侧设有垫片，所述垫片一侧与所述垫板抵触，所述垫板内部一侧开设有安装槽，所述安装槽一侧固定连接有若干安装座一，所述安装座一内部嵌入连接有压力弹簧，所述压力弹簧另一端嵌入连接于所述安装座二内部，所述安装座一侧固定连接有顶板，所述顶板一端延伸至所述垫板内部，所述垫板一端固定连接有橡胶密封垫。
[0007]进一步的，所述盖板内部一侧设有螺纹，所述垫板与所述盖板连接处设有螺纹槽，所述盖板与所述垫板通过螺纹连接。
[0008]进一步的，所述导向槽截面呈H形，所述滑块形状与所述导向槽内部形状相同，所述滑块在所述导向槽内部滑动连接。
[0009]进一步的，所述滑块内部开设有与所述螺杆螺纹相匹配的螺纹槽，所述滑块与所述螺杆通过螺纹连接。
[0010]进一步的，所述顶板外部一侧设有导向板，所述垫板内部开设有容纳所述导向板
通过的滑槽，所述导向板在所述垫板内部滑动连接。
[0011]进一步的，所述安装槽及其内部组件围绕所述垫板边缘一周设置，所述橡胶密封垫与所述顶板通过粘结剂连接，所述顶板一侧开设有T形凹槽，所述橡胶密封垫嵌入连接于所述顶板内部。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、通过在垫板上设置安装槽，且安装槽内部设有压力弹簧与顶板，在使用时，可以先将垫板放置在连接处，然后拉动螺杆，将螺杆移动至与螺孔对应的位置，方便根据螺孔位置自由调节螺杆的固定位置，在螺孔位置出现误差时，螺杆依旧可以在合适的位置进行固定，随后使用工具转动螺杆，将螺杆向螺孔内部转动，当螺杆在螺孔内部转动时，可以带动滑块与垫板向连接区域移动，当垫板向连接区域移动时，可以带动橡胶密封垫与顶板向垫板内部移动，使压力弹簧收缩，垫板的移动距离越长，使压力弹簧对顶板的压力越大，从而使顶板将橡胶密封垫紧紧按压在连接区域内部，将垫板一侧与连接区域密封，螺杆拧紧固定后，将盖板拧紧在垫板外部一端，从而将连接件内部整体密封，防止灰尘或水汽进入设备内部。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0015]图1是本技术一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件的主视图；
[0016]图2是本技术一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件的剖视图；
[0017]图3是本技术一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件的A处区域放大图；
[0018]图4是本技术一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件的A处区域放大图；
[0019]图中标号：1、垫板；2、盖板；3、导向槽；4、滑块；5、螺杆；6、螺母；7、垫片；8、安装槽；9、安装座一；10、压力弹簧；11、安装座二；12、顶板；13、橡胶密封垫；14、导向板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图3，本技术提供一种技术方案：
[0022]一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，包括垫板1，所述垫板1外部一侧设有盖板2，所述垫板1内部一侧开设有导向槽3，所述导向槽3内部嵌入连接有滑块4，所述滑块4内部贯穿连接有螺杆5，所述螺杆5一端固定连接有螺母6，所述螺母6一侧设有垫片7，所述垫片7一侧与所述垫板1抵触，所述垫板1内部一侧开设有安装槽8，所述安装槽8一侧固定连接有若干安装座一9，所述安装座一9内部嵌入连接有压力弹簧10，所述压力弹簧10另一端嵌入连接于所述安装座二11内部，所述安装座一9侧固定连接有顶板12，所述顶板12一端延伸至所述垫板1内部，所述垫板1一端固定连接有橡胶密封垫13。
[0023]具体的，如图1所示，所述盖板2内部一侧设有螺纹，所述垫板1与所述盖板2连接处
设有螺纹槽，所述盖板2与所述垫板1通过螺纹连接。
[0024]具体的，如图1所示，所述导向槽3截面呈H形，所述滑块4形状与所述导向槽3内部形状相同，所述滑块4在所述导向槽3内部滑动连接。
[0025]具体的，如图1所示，所述滑块4内部开设有与所述螺杆5螺纹相匹配的螺纹槽，所述滑块4与所述螺杆5通过螺纹连接。
[0026]具体的，如图1所示,所述顶板12外部一侧设有导向板14，所述垫板1内部开设有容纳所述导向板14通过的滑槽，所述导向板14在所述垫板1内部滑动连接。
[0027]具体的，如图1所示，所述安装槽8及其内部组件围绕所述垫板1边缘一周设置，所述橡胶密封垫13与所述顶板12通过粘结剂连接，所述顶板12一侧开设有T形凹槽，所述橡胶密封垫13嵌入连接于所述顶板12内部。
[0028]本技术工作原理：使用时，先将垫板1放置在安装区域，然后用手拉动螺杆5，将螺杆5一端与螺孔位置对齐，接着使用工具转动螺杆5，将螺杆5向螺孔内部转动，当螺杆5在螺孔内部转动时，可以带动滑块4与垫板1向连接区域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件,包括垫板(1)，其特征在于：所述垫板(1)外部一侧设有盖板(2)，所述垫板(1)内部一侧开设有导向槽(3)，所述导向槽(3)内部嵌入连接有滑块(4)，所述滑块(4)内部贯穿连接有螺杆(5)，所述螺杆(5)一端固定连接有螺母(6)，所述螺母(6)一侧设有垫片(7)，所述垫片(7)一侧与所述垫板(1)抵触，所述垫板(1)内部一侧开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)一侧固定连接有若干安装座一(9)，所述安装座一(9)内部嵌入连接有压力弹簧(10)，所述压力弹簧(10)另一端嵌入连接于安装座二(11)内部，所述安装座一(9)侧固定连接有顶板(12)，所述顶板(12)一端延伸至所述垫板(1)内部，所述垫板(1)一端固定连接有橡胶密封垫(13)。2.根据权利要求1所述的一种具有密封效果的光刻机用铝合金连接件，其特征在于：所述盖板(2)内部一侧设有螺纹，所述垫板(1)与所述盖板(2)连接处设有螺纹槽，所述盖板(2)与所述垫板(1)通过螺纹连接。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海杰，
申请(专利权)人：昆山振业杨亭精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：