一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，包括连接件，所述连接件包括钉头、螺杆和螺套，所述钉头过盈连接有螺杆，所述螺套包裹在螺杆的外侧，所述螺套顶端固定连接在钉头的底部，所述钉头位于定位块的上方，所述定位块底端开设有齿槽，所述钉头底端两侧固定连接有弹性板，所述弹性板外侧粘接有卡块，所述卡块卡扣连接有紧固槽，所述紧固槽开设于螺套的两侧，所述螺杆滑动连接有插块，所述插块固定连接有限位块，所述限位块表面粘接有定位垫，定位块和限位块连接的插块与弹性板上卡块配合对连接件位置进行定位；耐腐蚀层、防腐蚀层和保护层配合可提高连接件整体的耐腐蚀性能，可避免连接件腐蚀后损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构
本技术涉及一种连接结构，具体为一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，属于光刻机生产制造

技术介绍
光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备，其生产制造时常用到材质为铝合金的连接结构，铝合金密度低，但强度比较高，接近或超过优质钢，塑性好，可加工成各种型材，具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。现有技术的光刻机生产制造有以下缺点：1、连接件的定位性能差，连接件与工件连接一段时间后连接件与工件间易松动，使用不便；2、连接件的耐腐蚀性能差，与带有腐蚀性的物体或液体接触时易腐蚀损坏，因此，针对上述问题进行改进。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，定位块和限位块连接的插块与弹性板上卡块配合对连接件位置进行定位；耐腐蚀层、防腐蚀层和保护层配合可提高连接件整体的耐腐蚀性能，可避免连接件腐蚀后损坏。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，包括连接件，所述连接件包括钉头、螺杆和螺套，所述钉头过盈连接有螺杆，所述螺套包裹在螺杆的外侧，所述螺套顶端固定连接在钉头的底部，所述钉头位于定位块的上方，所述定位块底端开设有齿槽，所述钉头底端两侧固定连接有弹性板，所述弹性板外侧粘接有卡块，所述卡块卡扣连接有紧固槽，所述紧固槽开设于螺套的两侧，所述螺杆滑动连接有插块，所述插块固定连接有限位块，所述限位块表面粘接有定位垫，所述螺杆底端螺纹连接有螺母，所述连接件外表面涂敷有耐腐蚀层，所述耐腐蚀层外表面喷涂有防腐蚀层，所述防腐蚀层外表面涂敷有保护层。优选的，所述钉头顶端开设有十字槽，所述定位块的材质为橡胶。优选的，所述弹性板位于螺套的内部，所述螺套表面开设有外螺纹b。优选的，所述螺杆底部开设有外螺纹a，所述外螺纹a螺纹连接有螺母。优选的，所述螺母位于限位块的外侧，所述保护层的材质为聚四氟乙烯。本技术的有益效果是：1、定位块和限位块连接的插块与弹性板上卡块配合对连接件位置进行定位；使用时连接件插入工件螺孔内，旋转连接件，连接件螺套表面的外螺纹b沿螺孔旋转与工件紧密连接，持续向内拧紧过程中钉头底部的定位块与工件接触，材质为橡胶的定位块摩擦力大，且定位块底部开设的齿槽可增大定位块与工件间的摩擦力，可进一步提高定位块与工件间的摩擦力，连接件固定后不易旋转滑动，同时把限位块套在螺杆底部，螺母在螺杆底部沿外螺纹a向内旋转，螺母持续旋转过程中沿螺杆上移，螺母上移推动上方的限位块上移，限位块连接的插块上移过程中逐渐插入螺套与螺杆之间空隙，插块表面为斜面且从上到下直径逐渐增大，插块沿螺杆表面上移时与螺套内弹性板内表面接触，插块上移过程中逐渐增大的直径对弹性板进行挤压，弹性板逐渐向外倾斜，弹性板倾斜带动连接的卡块沿紧固槽向外移动，卡块外移对工件进行挤压，可增大螺套与工件间的连接紧密性，对螺套位置进行固定，即对连接件的位置进行固定，可通过插块挤压弹性板对螺套与工件间进行卡紧与定位块配合对连接件位置进行定位，避免其移位。2、耐腐蚀层、防腐蚀层和保护层配合可提高连接件整体的耐腐蚀性能，可避免连接件腐蚀后损坏；连接件外表面从内到外依次涂敷有耐腐蚀层、防腐蚀层和保护层，外界带有腐蚀性的液体等先与外层材质为聚四氟乙烯的保护层接触，保护层具有优良的耐腐蚀层性能和不粘性能，腐蚀液体不能长时间停留在连接件表面，同时保护层具有较好的耐磨性，可对内层防腐蚀层进行保护，防腐蚀层为环氧树脂防腐蚀涂料涂敷在连接件表面干燥而成，环氧树脂分子结构中含有极性高的羟基和醚键，故防腐蚀层的耐化学性好，耐碱性好，耐热碱性介质更好，可提高连接件的耐腐蚀性能，防腐蚀层损坏后外界腐蚀性物体与耐腐蚀层接触，耐腐蚀层的耐磨抗蚀性能优异，与铝合金连接件的结合强度高，可通过耐腐蚀层、防腐蚀层和保护层配合提高连接件整体的耐磨耐腐蚀性能，避免连接件损坏。附图说明图1为本技术整体的半剖结构示意图；图2为本技术部分剖的结构示意图；图3为本技术连接件表面的结构示意图。图中：1、连接件；2、钉头；3、定位块；4、螺杆；5、十字槽；6、螺套；7、齿槽；8、弹性板；9、卡块；10、紧固槽；11、插块；12、定位垫；13、限位块；14、螺母；15、外螺纹a；16、外螺纹b；17、耐腐蚀层；18、防腐蚀层；19、保护层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示，一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，包括连接件1，所述连接件1包括钉头2、螺杆4和螺套6，所述钉头2过盈连接有螺杆4，所述螺套6包裹在螺杆4的外侧，所述螺套6顶端固定连接在钉头2的底部，所述钉头2位于定位块3的上方，所述定位块3底端开设有齿槽7，所述钉头2底端两侧固定连接有弹性板8，所述弹性板8外侧粘接有卡块9，所述卡块9卡扣连接有紧固槽10，所述紧固槽10开设于螺套6的两侧，所述螺杆4滑动连接有插块11，所述插块11固定连接有限位块13，所述限位块13表面粘接有定位垫12，所述螺杆4底端螺纹连接有螺母14，所述连接件1外表面涂敷有耐腐蚀层17，所述耐腐蚀层17外表面喷涂有防腐蚀层18，所述防腐蚀层18外表面涂敷有保护层19。示例的，钉头2、螺杆4和螺套6配合固定构成连接件1，螺套6表面滑动有定位块3，连接件1固定时定位块3位于钉头2下方且定位块3下方与工件表面接触，螺套6表面开设有外螺纹b16，工件与连接件1连接处螺孔内开设有内螺纹，外螺纹b16与内螺纹配合，可使螺套6旋转固定在工件螺孔内，连接件1外表面涂敷的材质为耐磨抗蚀涂层的耐腐蚀层17，耐磨抗蚀涂层是由高性能金钢砂、陶瓷材料、碳化硅等耐磨颗粒与改性增韧耐热固化剂复合而成的高性能耐磨抗蚀涂层材料，防腐蚀层18的材质为环氧树脂防腐蚀涂料，环氧树脂防腐蚀涂料指的是以环氧树脂为成膜物质，加入一定量的颜料、填料、助剂、溶剂等配制而成的涂料，耐腐蚀性能好。作为本技术的一种优选技术方案，所述钉头2顶端开设有十字槽5，所述定位块3的材质为橡胶。示例的，钉头2开设的十字槽5可与十字形螺丝刀配合使用，可方便连接件1旋转固定，定位块3的材质为橡胶，橡胶是一种有弹性的聚合物。作为本技术的一种优选技术方案，所述弹性板8位于螺套6的内部，所述螺套6表面开设有外螺纹b16。示例的，弹性板8具有一定弹性，可进行弯折，弹性板8位于螺套6的内部，可固定弹性板8位置，螺套6表面开设的外螺纹b16可方便螺套6与工件连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述螺杆4底部开设有外螺纹a15，所述外螺纹a15螺纹连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，包括连接件(1)，其特征在于：所述连接件(1)包括钉头(2)、螺杆(4)和螺套(6)，所述钉头(2)过盈连接有螺杆(4)，所述螺套(6)包裹在螺杆(4)的外侧，所述螺套(6)顶端固定连接在钉头(2)的底部，所述钉头(2)位于定位块(3)的上方，所述定位块(3)底端开设有齿槽(7)，所述钉头(2)底端两侧固定连接有弹性板(8)，所述弹性板(8)外侧粘接有卡块(9)，所述卡块(9)卡扣连接有紧固槽(10)，所述紧固槽(10)开设于螺套(6)的两侧，所述螺杆(4)滑动连接有插块(11)，所述插块(11)固定连接有限位块(13)，所述限位块(13)表面粘接有定位垫(12)，所述螺杆(4)底端螺纹连接有螺母(14)，所述连接件(1)外表面涂敷有耐腐蚀层(17)，所述耐腐蚀层(17)外表面喷涂有防腐蚀层(18)，所述防腐蚀层(18)外表面涂敷有保护层(19)。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有定位功能的光刻机用铝合金连接结构，包括连接件(1)，其特征在于：所述连接件(1)包括钉头(2)、螺杆(4)和螺套(6)，所述钉头(2)过盈连接有螺杆(4)，所述螺套(6)包裹在螺杆(4)的外侧，所述螺套(6)顶端固定连接在钉头(2)的底部，所述钉头(2)位于定位块(3)的上方，所述定位块(3)底端开设有齿槽(7)，所述钉头(2)底端两侧固定连接有弹性板(8)，所述弹性板(8)外侧粘接有卡块(9)，所述卡块(9)卡扣连接有紧固槽(10)，所述紧固槽(10)开设于螺套(6)的两侧，所述螺杆(4)滑动连接有插块(11)，所述插块(11)固定连接有限位块(13)，所述限位块(13)表面粘接有定位垫(12)，所述螺杆(4)底端螺纹连接有螺母(14)，所述连接件(1)外表面涂敷有耐腐蚀层(17)，所述耐腐蚀层(17)外表面喷涂有防腐蚀层(18)，所述防...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海杰，
申请(专利权)人：昆山振业杨亭精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32