一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置制造方法及图纸

技术编号:29482676 阅读:14 留言:0更新日期:2021-07-30 18:53
本实用新型专利技术公开了一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,包括加工箱,所述加工箱位于水箱的左侧,所述水箱顶端安装有抽水机,所述加工箱内右侧顶端安装有电机,所述电机的动力输出端与螺杆的动力输入端相连接,所述螺杆螺纹连接有滑架,所述滑架底端安装有切削件,所述切削件位于输水管的左侧,所述输水管的底端固定连接有连接管,所述连接管位于连接件的右侧,所述输水管的进气口延伸到抽水机的内部。输水管粘接在切削件右侧,可持续在切削件右侧进行喷水清洗,且输水管底端连接的连接管上喷头对连接件三侧进行喷水清洗;加热箱内加热后的空气经环形管上气孔喷到连接件表面对连接件上进行烘干,可避免连接件氧化锈蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置
本技术涉及一种清洗装置,具体为一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,属于铝合金连接件生产

技术介绍
光刻机制造时使用材质为铝合金的连接件,光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备,铝合金密度低,但强度比较高,接近或超过优质钢,塑性好,可加工成各种型材,具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。现有技术的铝合金连接件生产有以下缺点:1、铝合金连接件生产过程中表面留有切削碎屑,碎屑粘在连接件表面影响后续处理;2、经水清洗后的连接件表面留有水分,水长时间停留易造成连接件氧化锈蚀,因此,针对上述问题进行改进。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,输水管粘接在切削件右侧,可持续在切削件右侧进行喷水清洗,且输水管底端连接的连接管上喷头对连接件三侧进行喷水清洗;加热箱内加热后的空气经环形管上气孔喷到连接件表面对连接件上进行烘干,可避免连接件氧化锈蚀。本技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,包括加工箱,所述加工箱位于水箱的左侧,所述水箱顶端安装有抽水机,所述加工箱内右侧顶端安装有电机,所述电机的动力输出端与螺杆的动力输入端相连接,所述螺杆螺纹连接有滑架,所述滑架底端安装有切削件,所述切削件位于输水管的左侧,所述输水管的底端固定连接有连接管,所述连接管位于连接件的右侧,所述输水管的进气口延伸到抽水机的内部,所述滑架右侧固定连接有输气管,所述输气管与加热箱互通,所述输气管底端固定连接有环形管,所述环形管内表面开设有气孔,所述加热箱固定连接在加工箱内表面,所述加热箱内顶端安装有加热丝,所述加热丝位于风扇的上方,所述风扇安装在加热箱内底部,所述环形管位于连接件的外侧,所述连接管顶端活动连接有喷头,所述喷头位于连接件的上方,所述连接管内两侧活动连接有辅助喷头,所述辅助喷头位于连接件的两侧。优选的,所述加工箱内左侧固定连接有动力箱,所述动力箱转动连接有三爪卡盘。优选的,所述三爪卡盘活动连接有连接件,所述加工箱底部开设有污水槽。优选的,所述污水槽的进气口延伸到水箱的内部,所述滑架底端右侧粘接有输水管。优选的,所述输水管右端贯穿加工箱,所述加工箱铰接有箱门。优选的,所述电机、抽水机、加热丝和风扇的电流输入端与外界电源通过导线电性连接。本技术的有益效果是:1、输水管粘接在切削件右侧,可持续在切削件右侧进行喷水清洗,且输水管底端连接的连接管上喷头对连接件三侧进行喷水清洗;切削时电机启动带动螺杆转动,螺杆转动带动连接的滑架上切削件从右到左移动对连接件进行切削,滑架底端粘接有输水管且输水管位于切削件右侧,输水管底端连接的清洗组件可随切削件移动而移动,抽水机启动持续抽取水箱内的水输送进输水管内,输水管底端连接有连接管,且连接管内顶端安装有喷头,两侧安装有辅助喷头,输水管内水经连接管输送到喷头和辅助喷头内,水经喷头和辅助喷头喷出后分别喷洒到连接件上方和两侧,旋转的连接件表面的切削碎屑可随三侧的水向下流动离开连接件,连接件三侧的喷头和辅助喷头可随切削件移动而对切削处进行清洗,可避免碎屑粘接。2、加热箱内加热后的空气经环形管上气孔喷到连接件表面对连接件上进行烘干,可避免连接件氧化锈蚀;滑架右侧固定连接有输气管,输气管位于输水管的右侧,可在清洗后对连接件进行烘干,连接件加工时加热箱内加热丝通电,加热丝通电后产生热量,加热箱内空气吸热后温度升高,加热箱底部的风扇启动持续向上吹风,加热后的空气上升输送进输气管内,输气管底端连接有环形管且环形管环绕在连接件的外侧,输气管内热空气经环形管内表面开设的气孔喷出到连接件表面,连接件表面的水分吸收热空气释放的热量后汽化,连接件表面干燥,可通过环形管内喷出的热空气对连接件表面进行干燥,避免连接件氧化锈蚀。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术烘干装置的结构示意图;图3为本技术清洗装置的结构示意图。图中:1、加工箱;2、螺杆;3、滑架;4、切削件;5、输气管;6、输水管;7、电机;8、加热箱;9、气孔;10、抽水机;11、水箱;12、污水槽;13、环形管;14、连接管;15、三爪卡盘;16、连接件;17、动力箱;18、箱门;19、加热丝;20、风扇;21、喷头;22、辅助喷头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示,一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,包括加工箱1,所述加工箱1位于水箱11的左侧,所述水箱11顶端安装有抽水机10,所述加工箱1内右侧顶端安装有电机7,所述电机7的动力输出端与螺杆2的动力输入端相连接,所述螺杆2螺纹连接有滑架3,所述滑架3底端安装有切削件4,所述切削件4位于输水管6的左侧,所述输水管6的底端固定连接有连接管14,所述连接管14位于连接件16的右侧,所述输水管6的进气口延伸到抽水机10的内部,所述滑架3右侧固定连接有输气管5,所述输气管5与加热箱8互通,所述输气管5底端固定连接有环形管13,所述环形管13内表面开设有气孔9,所述加热箱8固定连接在加工箱1内表面,所述加热箱8内顶端安装有加热丝19,所述加热丝19位于风扇20的上方,所述风扇20安装在加热箱8内底部,所述环形管13位于连接件16的外侧,所述连接管14顶端活动连接有喷头21,所述喷头21位于连接件16的上方,所述连接管14内两侧活动连接有辅助喷头22,所述辅助喷头22位于连接件16的两侧。示例的,加工箱1内包括螺杆2、滑架3、切削件4、输气管5、输水管6、加热箱8、环形管13、连接管14、三爪卡盘15和动力箱17,动力箱17内安装有电机,电机通过转轴与三爪卡盘15连接,电机转动带动转轴转动,转轴转动带动三爪卡盘15上连接的连接件16转动,加热箱8内包括加热丝19和风扇20,加热箱8底端开设有透气孔,可方便外界空气在风扇20负压作用下进入加热箱8内进行加热,污水槽12开设于加工箱1的底部,污水槽12内安装有滤网,可对携带碎屑的水进行过滤,碎屑通不过滤网而留在滤网表面,过滤后的水可流回水箱11内重复使用。作为本技术的一种优选技术方案,所述加工箱1内左侧固定连接有动力箱17,所述动力箱17转动连接有三爪卡盘15。示例的,加工箱1为动力箱17提供支撑,动力箱17内电机转动带动连接的三爪卡盘15转动进行切削。作为本技术的一种优选技术方案,所述三爪卡盘15活动连接有连接件16,所述加工箱1底部开设有污水槽12。示例的,三爪卡盘15可对连接件16进行固定,可方便切削件4对连接件16进行加工,清洗后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,包括加工箱(1),其特征在于:所述加工箱(1)位于水箱(11)的左侧,所述水箱(11)顶端安装有抽水机(10),所述加工箱(1)内右侧顶端安装有电机(7),所述电机(7)的动力输出端与螺杆(2)的动力输入端相连接,所述螺杆(2)螺纹连接有滑架(3),所述滑架(3)底端安装有切削件(4),所述切削件(4)位于输水管(6)的左侧,所述输水管(6)的底端固定连接有连接管(14),所述连接管(14)位于连接件(16)的右侧,所述输水管(6)的进气口延伸到抽水机(10)的内部,所述滑架(3)右侧固定连接有输气管(5),所述输气管(5)与加热箱(8)互通,所述输气管(5)底端固定连接有环形管(13),所述环形管(13)内表面开设有气孔(9),所述加热箱(8)固定连接在加工箱(1)内表面,所述加热箱(8)内顶端安装有加热丝(19),所述加热丝(19)位于风扇(20)的上方,所述风扇(20)安装在加热箱(8)内底部,所述环形管(13)位于连接件(16)的外侧,所述连接管(14)顶端活动连接有喷头(21),所述喷头(21)位于连接件(16)的上方,所述连接管(14)内两侧活动连接有辅助喷头(22),所述辅助喷头(22)位于连接件(16)的两侧。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机铝合金连接件生产的清洗装置,包括加工箱(1),其特征在于:所述加工箱(1)位于水箱(11)的左侧,所述水箱(11)顶端安装有抽水机(10),所述加工箱(1)内右侧顶端安装有电机(7),所述电机(7)的动力输出端与螺杆(2)的动力输入端相连接,所述螺杆(2)螺纹连接有滑架(3),所述滑架(3)底端安装有切削件(4),所述切削件(4)位于输水管(6)的左侧,所述输水管(6)的底端固定连接有连接管(14),所述连接管(14)位于连接件(16)的右侧,所述输水管(6)的进气口延伸到抽水机(10)的内部,所述滑架(3)右侧固定连接有输气管(5),所述输气管(5)与加热箱(8)互通,所述输气管(5)底端固定连接有环形管(13),所述环形管(13)内表面开设有气孔(9),所述加热箱(8)固定连接在加工箱(1)内表面,所述加热箱(8)内顶端安装有加热丝(19),所述加热丝(19)位于风扇(20)的上方,所述风扇(20)安装在加热箱(8)内底部,所述环形管(13)位于连接件(16)的外侧,所述连接管(14)顶端活动连接有喷头(21),所述喷头(21)位于连接件(16)的上方,所述连接管(14)内两侧活动连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴海杰
申请(专利权)人:昆山振业杨亭精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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