纵向运动平台及具有其的电子束检测设备制造技术

本申请涉及一种纵向运动平台，适用于安装在电子束检测设备内，其特征在于，包括从下至上依次设置的平台底板、升降机构、绝缘支撑台及静电吸盘；升降机构的下端与平台底板固定连接，上端与绝缘支撑台固定，且其内部设置有压电陶瓷组件，使升降机构能够在竖直方向产生形变量而改变绝缘支撑台到平台底板之间的距离；静电吸盘下表面与绝缘支撑台固定连接，上表面用以吸附待测晶圆。通过升降机构升降运动，扫描电镜下端到待测晶圆的工作距离时刻在最佳间距，有极高的调节精度，配合电子束检测设备能解决因待测晶圆到扫描电镜下端距离的变化导致失焦的问题，减少了对焦时间，大幅提高检测效率。测效率。测效率。

【技术实现步骤摘要】
纵向运动平台及具有其的电子束检测设备


[0001]本申请涉及半导体检测
，尤其涉及一种纵向运动平台及具有其的电子束检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，半导体产品制程越来越小，结构越来越复杂，集成电路晶源工厂开始使用生产中的有图形的产品片进行在线检测监控，以便于更直接的反映工艺流水线中的当前工作情况，为制作团队提供更加精确的信息，且有助于降低无图形硅片的成本。集成电路线宽愈来愈向细微化发展，对电路的生产工艺技术也提出了更高更难的要求，不但要刻蚀出亚微米线条，而且线路缺陷也要控制在一定范围内，以保证芯片的功能和成品率，传统的光学检测设备已不能满足需要，而电子束检测设备克服了光学波长的限制，使分辨率提高到纳米领域，可以检测到极微小的缺陷。
[0003]在电子束检测设备实际检测过程中各个扫描点之间具有偏差，当偏差超出了电子束扫描电镜的陷深范围时，电子束扫描电镜检测到的图像会有失焦的现象，为了能够获得清晰的图像，在失焦位置，电子束扫描电镜需重新进行自动对焦，检测时大量的时间处于自动对焦状态，设备真正的有效检测时间少，导致本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纵向运动平台，适用于安装在电子束检测设备内，其特征在于，包括从下至上依次设置的平台底板、升降机构、绝缘支撑台及静电吸盘；所述升降机构内部设置有压电陶瓷组件，所述压电陶瓷组件能够使所述升降机构能够在纵向上的长度发生改变从而改变所述绝缘支撑台到所述平台底板之间的距离；所述静电吸盘能够吸附待测晶圆。2.根据权利要求1所述的纵向运动平台，其特征在于，所述升降机构为两个以上；且相邻的所述升降机构到所述绝缘支撑台的中心夹角相等。3.根据权利要求2所述的纵向运动平台，其特征在于，所述升降机构的个数为三个。4.根据权利要求1
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3任一项所述的纵向运动平台，其特征在于，所述升降机构还包括驱动关节、弹簧与底座；所述压电陶瓷组件与所述弹簧一同设置在所述驱动关节与所述底座之间，且所述弹簧的两端分别固定在所述驱动关节与所述底座上；所述驱动关节的顶部与所述支撑台固定连接；所述底座的底部与所述平台底板固定连接。5.根据权利要求1
‑
3任一项所述的纵向运动平台，其特征在于，还包括两根以上的晶圆支撑杆；所述绝缘支撑台和所述静电吸盘上开设有与所述晶圆支撑杆相匹配的通孔；所述晶圆支撑杆设置在所述平台底板上，上端能够通过所述绝缘支撑台和所述静电吸盘上的通孔，且所述晶圆支撑杆能够纵向移动伸出到所述静电吸盘上方。6.根据权利要求5所述的纵向运动平台，其特征在于，还包括托板及驱动部；所述托板设置在所述平台底板与所述绝缘支撑台之间，且所述晶圆支撑杆设置在所述托板上；所述驱动部与所述托板相抵接，能够驱动所述托板纵向移动。7.根据权利要求6所述的纵向运动平台，其特征在于，所述驱动部包括轴架、驱动杆及动力结构；所述轴架设置在所述平台底板上；所述驱动杆的一端与所述轴架转动连接，中部与所述托板下表面相抵接，且另一端延伸出所述平台底板；所述动力结构与所述驱动杆的另一端转动连接，以使所述驱动部构成连杆机构。8.根据权利要求7所述的纵向运动平台，其特征在于，还包括导向立柱；所述托板上设置有与所述导向立柱相匹配的导向孔；所述导向立柱垂直设置在所述平台底板的上表面；所述托板通过所述导向孔与所述导向立柱滑动连接。9.根据权利要求8所述的纵向运动平台，其特征在于，所述升降机构上端位于所述绝缘支撑台的靠近外边缘位置，且所述升降机构在所述绝缘支撑台与所述平台底板之间的外圈设置；所述导向立柱在所述绝缘支撑台与所述平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋磊，郝琪，宁昭旭，
申请(专利权)人：中科晶源微电子技术北京有限公司，
类型：发明
国别省市：