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本申请涉及一种纵向运动平台，适用于安装在电子束检测设备内，其特征在于，包括从下至上依次设置的平台底板、升降机构、绝缘支撑台及静电吸盘；升降机构的下端与平台底板固定连接，上端与绝缘支撑台固定，且其内部设置有压电陶瓷组件，使升降机构能够在竖直方...
该专利属于中科晶源微电子技术（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科晶源微电子技术（北京）有限公司授权不得商用。

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