一种生产质量检测用硅棒的设备制造技术

本实用新型专利技术涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备，其包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；物料通道二与置换氮气管道连通；物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；控制阀和压力表分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道、新鲜氢气管道、回收氢气管道和置换氮气管道上；控制器分别与控制阀和压力表连接；反应器与汽化器连通。采用本实用新型专利技术能够缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种生产质量检测用硅棒的设备


[0001]本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种生产质量检测用硅棒的设备。

技术介绍

[0002]在硅棒生产中，决定硅棒产品质量的因素很多，其中原料,中间化合物如硅铁、液氯、氢气、三氯氢硅等的杂质的存在,对产品的质量起决定性作用。因此，提高原料的质量对硅棒产品的生产至关重要。目前对来料的检测手段，主要是通过还原炉专门生产用于质量检测的硅棒，然后对硅棒进行检测，进而确定来料质量。
[0003]目前的还原炉反应器系统，一台还原炉对应一个物料管道，对应一个物料来源，只能检测一种来料；如果要检测多种来料，必须采用多台还原炉；而且，现有的还原炉都是生产用的还原炉，都为大型还原炉，造成生产检测硅棒的周期长，成本高，从而使质量检测硅棒的检测数据滞后，影响来料物料的质量评估。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种生产质量检测用硅棒的设备，主要目的在于缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]本技术的实施例提供一种生产质量检测用硅棒的设备，包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；
[0007]所述汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；
[0008]所述物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；所述新鲜三氯氢硅管道为多个；多个所述新鲜三氯氢硅管道用于对应于不同的物料来源；所述回收三氯氢硅管道为多个；所述回收三氯氢硅管道与所述新鲜三氯氢硅管道一一对应设置；
[0009]所述物料通道二与所述置换氮气管道连通；
[0010]所述物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；所述新鲜氢气管道为多个；所述回收氢气管道为多个；所述回收氢气管道与所述新鲜氢气管道一一对应设置；
[0011]所述汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；
[0012]所述控制阀为多个；多个所述控制阀分别设置在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；
[0013]所述压力表为多个；多个所述压力表分别设在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；
[0014]所述控制器分别与所述控制阀和所述压力表连接，用于采集压力信息，并向所述控制阀输出控制信号；
[0015]所述反应器与所述汽化器连通。
[0016]进一步地，多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上设置有单向阀。
[0017]进一步地，所述汽化器上连接有混合器；所述混合器与所述汽化器连通；所述汽化器通过所述混合器与所述物料通道一、所述物料通道二和所述物料通道三连通。
[0018]进一步地，所述反应器上设置有物料喷嘴；所述物料喷嘴与所述汽化器连通；所述物料喷嘴的上端具有螺旋状导流结构。
[0019]进一步地，所述反应器上设置有反应尾气管线、不含氢废气管线和紧急释放气管线；
[0020]所述反应尾气管线与后端回收处理系统连通；
[0021]所述不含氢废气管线与所述后端回收处理系统连通。
[0022]进一步地，所述反应尾气管线、所述不含氢废气管线和所述紧急释放气管线上分别设置有所述控制阀。
[0023]借由上述技术方案，本技术生产质量检测用硅棒的设备至少具有下列优点：
[0024]能够缩短生产检测用硅棒的周期，提升来料物料质量的评估效率。
[0025]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0026]图1为本技术实施例提供的一种生产质量检测用硅棒的设备的示意图。
[0027]图中所示：
[0028]1为汽化器，2为反应器，3为混合器，4为物料通道一，5为物料通道二，6为物料通道三，7为置换氮气管道，8为新鲜三氯氢硅管道，9为回收三氯氢硅管道，10为新鲜氢气管道，11为回收氢气管道，12为反应尾气管线，13为不含氢废气管线，14为紧急释放气管线，15为物料喷嘴，16为控制阀。
具体实施方式
[0029]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0030]如图1所示，本技术的一个实施例提出的一种生产质量检测用硅棒的设备，包括:汽化器1、汇流切换控制系统和反应器2；
[0031]汽化器1上具有物料通道一4、物料通道二5和物料通道三6；本实施例优选，汽化器1上连接有混合器3；混合器3与汽化器1连通；汽化器1通过混合器3与物料通道一4、物料通道二5和物料通道三6连通，以将物料进行混合。物料通道一4分别与置换氮气管道7、新鲜三氯氢硅管道8、回收三氯氢硅管道9连通；新鲜三氯氢硅管道8为多个；多个新鲜三氯氢硅管道8用于对应于不同的物料来源；回收三氯氢硅管道9为多个；回收三氯氢硅管道9与新鲜三氯氢硅管道8一一对应设置；控制器通过控制控制阀16来选择不同的三氯氢硅物料来源，进
行生产。物料通道二5与置换氮气管道7连通，用于向反应器2内充入氮气；物料通道三6分别与新鲜氢气管道10和回收氢气管道11连通；新鲜氢气管道10为多个；回收氢气管道11为多个；回收氢气管道11与新鲜氢气管道10一一对应设置；控制器通过控制控制阀16来选择不同的氢气物料来源。
[0032]汇流切换控制系统包括：控制阀16、压力表和控制器；控制阀16为多个；多个控制阀16分别设置在多个新鲜三氯氢硅管道8、回收三氯氢硅管道9、新鲜氢气管道10、回收氢气管道11和置换氮气管道7上，以对各管道进行控制。
[0033]压力表为多个；多个压力表分别设在多个新鲜三氯氢硅管道8、回收三氯氢硅管道9、新鲜氢气管道10、回收氢气管道11和置换氮气管道7上，以检测各管道内流体情况。本实施例优选，多个新鲜三氯氢硅管道8、回收三氯氢硅管道9、新鲜氢气管道10、回收氢气管道11和置换氮气管道7上设置有单向阀，以控制流体的流向。
[0034]控制器分别与控制阀16和压力表连接，用于采集压力信息，并向控制阀16输出控制信号；反应器2与汽化器1连通，以使汽化后的物料能够进入反应器2。
[0035]作为上述实施例的优选，反应器2上设置有物料喷嘴15；物料喷嘴15与汽化器1连通；物料喷嘴15的上端具有螺旋状导流结构，以使通过物料喷嘴15进入反应器2的物料能够有较好的流动性。本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产质量检测用硅棒的设备，其特征在于，包括:汽化器、汇流切换控制系统和反应器；所述汽化器上具有物料通道一、物料通道二和物料通道三；所述物料通道一分别与置换氮气管道、新鲜三氯氢硅管道、回收三氯氢硅管道连通；所述新鲜三氯氢硅管道为多个；多个所述新鲜三氯氢硅管道用于对应于不同的物料来源；所述回收三氯氢硅管道为多个；所述回收三氯氢硅管道与所述新鲜三氯氢硅管道一一对应设置；所述物料通道二与所述置换氮气管道连通；所述物料通道三分别与新鲜氢气管道和回收氢气管道连通；所述新鲜氢气管道为多个；所述回收氢气管道为多个；所述回收氢气管道与所述新鲜氢气管道一一对应设置；所述汇流切换控制系统包括：控制阀、压力表和控制器；所述控制阀为多个；多个所述控制阀分别设置在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；所述压力表为多个；多个所述压力表分别设在多个所述新鲜三氯氢硅管道、所述回收三氯氢硅管道、所述新鲜氢气管道、所述回收氢气管道和所述置换氮气管道上；所述控制器分别与所述控制阀和所述压力表连接，用于采集压力信...

【专利技术属性】
技术研发人员：李坤，杨涛，赵云松，陈文吉，裴雅晨，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：