一种工件保持夹具(1A)，包括第一框体(11)和第二框体(12)，两个框体(11、12)分别具有：主体(13)；导电构件(15)；设置成能与工件(10)的周缘部电接触的接触构件(16)；以及遍及主体(13)的整周设置的内周密封构件(17)，两个框体(11、12)在各个内周密封构件(17)以及接触构件(16)从两侧与工件(10)的周缘部抵接的状态下构成密封空间，该密封空间对工件(10)的周缘部、两个框体(11、12)的导电构件(15)、两个框体(11、12)的接触构件(16)进行收容，内周密封构件(17)具有接触凸部(171)，接触凸部(171)的内侧面(1711)向外倾斜。侧面(1711)向外倾斜。侧面(1711)向外倾斜。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件保持夹具以及电镀装置
[0001]本专利技术涉及一种用于对作为电镀处理的被处理物的矩形的板状工件进行保持的工件保持夹具以及包括该工件保持夹具的电镀装置。作为所述工件，例如列举有印刷基板、晶片、半导体基板(特别地，扇出型板级封装(Fan
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Out Panel Level Package))。
技术介绍
[0002]用于对矩形的板状工件进行保持的工件保持夹具以及包括该工件保持夹具的电镀装置如专利文献1～9所示那样是公知的。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利第5898540号公报专利文献2：日本专利特开2016
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180148号公报专利文献3：日本专利特开2016
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156084号公报专利文献4：日本专利特开平11
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172492号公报专利文献5：日本专利特开平11
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140694号公报专利文献6：日本专利特开平6
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108285号公报专利文献7：日本专利特开平5
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247692号公报专利文献8：日本专利特开平5
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222590号公报专利文献9：日本专利特开平5
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218048号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题
[0004]然而，在以往的电镀装置中，存在如下不良情况：镀液浸入到工件保持夹具中的工件与电接触端子的连接部，在连接部析出有金属，工件与电接触端子粘连，从而难以将工件从工件保持夹具拆卸。<br/>[0005]此外，在以往的电镀装置中，为了对工件的整个面均匀地实施镀覆处理，采用使距所有电接触端子的配线的长度相等的结构等，从而存在装置结构复杂化的不良情况。
[0006]此外，在以往的电镀装置中，板状工件以挠曲的状态被工件保持夹具保持，因此，存在难以对板状工件实施均匀的电镀的不良情况。
[0007]本专利技术的目的在于提供一种工件保持夹具以及电镀装置，能消除上述不良情况中的至少一个。解决技术问题所采用的技术方案
[0008]本专利技术的第一方面是一种工件保持夹具，用于对电镀处理的被处理物、即板状工件进行保持，其特征是，包括第一构件和第二构件，将所述工件保持在两个所述构件之间，所述第一构件以在与所述第二构件之间对所述工件的周缘部进行保持的方式安装于所述第二构件，所述第一构件和所述第二构件中的至少一方是框体，所述框体具有：环状的主
体；导电构件；接触构件，所述接触构件设置成以能与所述工件的所述周缘部电接触的方式与所述导电构件电连接；以及内周密封构件，所述内周密封构件以遍及所述主体的整周的方式设置于比所述接触构件更靠内侧的位置，所述第一构件和所述第二构件在所述内周密封构件以及所述接触构件与所述工件的所述周缘部抵接的状态下构成对所述工件的所述周缘部、所述导电构件和所述接触构件进行收容的密封空间，所述内周密封构件具有接触凸部，所述接触凸部的内侧面向外倾斜。
[0009]本专利技术的第二方面是一种电镀装置，包括本专利技术的第一方面的工件保持夹具，通过所述工件保持夹具对所述工件进行保持，并对保持后的所述工件实施电镀处理，其特征是，包括：镀覆处理槽，所述镀覆处理槽对镀液进行收容，并对所述工件进行电镀处理；以及搬运机构，所述搬运机构将保持有所述工件的所述工件保持夹具相对于所述镀覆处理槽搬入搬出，在所述工件保持夹具的所述密封空间填充有不含金属盐的液体。专利技术效果
[0010]根据本专利技术的第一方面，由于能将板状工件以向外牵拉的状态保持，因此，能防止在对工件进行保持时工件发生挠曲。
[0011]根据本专利技术的第二方面，在对板状工件实施单面镀覆处理或双面镀覆处理时，能防止镀液侵入密封空间，因此，能防止由镀液引起的金属在工件的周缘部及接触构件析出的情况。其结果是，能防止在将镀覆处理后的工件从工件保持夹具拆卸时工件及接触构件发生损伤。
附图说明
[0012]图1是本专利技术第一实施方式的电镀装置的俯视图。图2是图1的II
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II剖视示意图。图3是第一实施方式的工件保持夹具以及工件的分解立体图。图4是图3的第一框体的IV向视图。图5是相当于图3的V
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V截面的局部立体图，其示出了第二框体安装于第一框体之前的状态。图6是相当于图3的V
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V截面的局部图，其示出了第二框体安装于第一框体之前的状态。图7是相当于图3的V
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V截面的局部图，其示出了第二框体安装于第一框体之后的状态。图8是沿VIII方向观察图3的两个框体的图。图9是图6的局部放大分解图。图10是相当于图8的图，其示出了第二框体安装于第一框体的状态。图11是图2的XI
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XI的剖视简略图。图12是表示将液体注入到工件保持夹具的情况的图。图13是表示工件保持夹具对工件进行保持之前的状态的剖视图。图14是表示工件保持夹具将工件保持后的状态的剖视图。图15是相当于IV向视图的图，其示出了作为第一实施方式的一个变形例的第一框体。
图16是表示作为第一实施方式的一个变形例的内周密封构件的局部剖视图。图17是表示作为第一实施方式的另一个变形例的内周密封构件的局部剖视图。图18是表示作为第一实施方式的一个变形例的、使用了配线的工件保持夹具对工件进行保持之前的状态的局部剖视图。图19是表示图18的工件保持夹具将工件保持后的状态的局部剖视图。图20是第二实施方式的工件保持夹具以及工件的分解立体图。图21是相当于图20的XXI
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XXI截面的局部图，其示出了第一框体安装于后面板之前的状态。图22是相当于图20的XXI
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XXI截面的局部图，其示出了第一框体安装于后面板之后的状态。图23是表示工件保持夹具对工件进行保持之前的状态的剖视图。图24是表示工件保持夹具将工件保持后的状态的剖视图。图25是表示作为第二实施方式的一个变形例的、使用了配线的工件保持夹具对工件进行保持之前的状态的局部剖视图。图26是本专利技术第三实施方式的电镀装置的俯视图。图27是图25的XXVII－XXVII剖视简略图。图28是第三实施方式的工件保持夹具的立体图。图29是图27的XXIX－XXIX剖视简略图。
具体实施方式
[0013][第一实施方式](整体结构)图1是本专利技术第一实施方式的电镀装置的俯视图。图2是图1的II
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II剖面示意图。上述电镀装置9A包括工件保持夹具1A、镀覆处理槽2A和搬运机构3A。工件保持夹具1A构成为对矩形的板状工件10进行保持。镀覆处理槽2A构成为对保持于工件保持夹具1A的工件10实施镀覆处理。在本实施方式中，两台镀覆处理槽2A以排列成一列的方式配置。搬运机构3A构成为将保持工件10后的工件保持夹具1A从相对于镀覆处理槽2A从垂直的方向搬入或搬出。
[0014](工件保持夹具)图3是工件保持夹具1A的分解立体图。工件保持夹具1A包括矩形的第一框体(第一构件)11和第二框体(第二构件)12，并将板状的工件10保持在两本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种工件保持夹具，用于对作为电镀处理的被处理物的板状工件进行保持，其特征在于，包括第一构件和第二构件，将所述工件保持在所述两个构件之间，所述第一构件以与所述第二构件之间对所述工件的周缘部进行保持的方式安装于所述第二构件，所述第一构件和所述第二构件中的至少一方是框体，所述框体具有：环状的主体；导电构件；接触构件，所述接触构件设置成以能与所述工件的所述周缘部电接触的方式与所述导电构件电连接；以及内周密封构件，所述内周密封构件以遍及所述主体的整周的方式设置于比所述接触构件更靠内侧的位置，所述第一构件和所述第二构件在所述内周密封构件以及所述接触构件与所述工件的所述周缘部抵接的状态下构成对所述工件的所述周缘部、所述导电构件和所述接触构件进行收容的密封空间，所述内周密封构件具有接触凸部，所述接触凸部的内侧面向外倾斜。2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，所述内周密封构件具有平面部，所述平面部被所述接触构件的前端部向所述主体按压，所述接触凸部在比所述接触构件的所述前端部更靠内侧的位置处以越过所述平面部的方式突出。3.如权利要求1或2所述的工件保持夹具，其特征在于，所述内周密封构件具有插入凸部，所述插入凸部插入到形成于所述主体的槽部。4.如权利要求1至3中任一项所述的工件保持夹具，其特征在于，所述第一构件和所述第二构件两者是框体，两个所述框体分别具有所述主体、所述导电构件、所述接触构件和所述内周密封构件，两个所述框体在各个所述内周密封构件以及所述接触构件从两侧与所述工件的所述周缘部抵接的状态下构...
【专利技术属性】
技术研发人员：村越雅弘，奥田朋士，西元一善，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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