【技术实现步骤摘要】
一种能源损耗低的真空焊接炉
[0001]本技术涉及回流焊
,尤其涉及一种能源损耗低的真空焊接炉。
技术介绍
[0002]半导体封装工艺中需要进行回流焊,在回流焊过程中,为了保证焊接质量,将会对焊接炉充入氮气,并且使氧气含量在1000ppm甚至100ppm以下。
[0003]而回流焊大多使用链条或网带输送,前后无法密封,导致氮气从前后出入口泄露,为保证焊接炉内的氮气含量,只能增加氮气的使用量,从而使加工的成本过高。
技术实现思路
[0004]为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种有效减少氮气消耗,降低成本的能源损耗低的焊接炉。
[0005]为了达到以上目的,本技术采用的技术方案是:一种能源损耗低的真空焊接炉,包括腔室,所述腔室两端均设置有开口,所述开口两侧分别设置有左滑动板和右滑动板,所述左滑动板和右滑动板分别与开合门两端滑动连接,所述开合门上设置有连接杆且连接杆的自由端与气缸连接,所述开合门能通过气缸驱动其做竖直往复运动,当所述开合门移动到位时,能将所述开口覆盖并使腔室形成密闭空间。
[0006]进一步地,所述连接杆与开合门连接一端设置有固定块。
[0007]进一步地,所述连接杆的数量为两个且两个连接杆分别位于开合门两侧。
[0008]进一步地,所述连接杆远离固定块一端与连接板连接,所述连接板底部设置有支撑板且气缸的活塞杆与支撑板连接。
[0009]进一步地,所述左滑动板和右滑动板分别与限位板两端连接,所述限位板位于开合门下方,当所述开合门做竖直往复 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能源损耗低的真空焊接炉,包括腔室(1),其特征在于:所述腔室(1)两端均设置有开口(2),所述开口(2)两侧分别设置有左滑动板(3)和右滑动板(4),所述左滑动板(3)和右滑动板(4)分别与开合门(5)两端滑动连接,所述开合门(5)上设置有连接杆(6)且连接杆(6)的自由端与气缸(7)连接,所述开合门(5)能通过气缸(7)驱动其做竖直往复运动,当所述开合门(5)移动到位时,能将所述开口(2)覆盖并使腔室(1)形成密闭空间。2.根据权利要求1所述的一种能源损耗低的真空焊接炉,其特征在于:所述连接杆(6)与开合门(5)连接一端设置有固定块(8)。3.根据权利要求2所述的一种能源损耗低的真空焊接炉,其特征在于:所述连接杆(6)的数量为两个且两个连接杆(6)分别位于开合门(5)两侧。4.根据权利要求2所述的一种能源损耗低的真空焊接炉,其特征在于:所述连接杆(6...
【专利技术属性】
技术研发人员:方国银,严飞,黄客松,
申请(专利权)人:康耐威苏州半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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