一种高温烧结炉工艺气导入装置制造方法及图纸

技术编号:30030085 阅读:13 留言:0更新日期:2021-09-15 10:19
本实用新型专利技术涉及一种高温烧结炉工艺气导入装置:采用将工艺气管与副真空管合二为一的方式穿过炉体和石墨箱,从而减少了炉体和石墨箱上的管道开口数量,提高了炉体和石墨箱的密封性能和保温性能;同时工艺气直接导入到了石墨箱内,增加了石墨箱内的工艺气浓度,以及工艺气与热加工产品的附着和反应时间,有效的提高了热加工产品的性能和质量。在工艺气管末端设置的单向阀能够阻止废气污染工艺气,保证了工艺气的浓度和纯度,进一步提高了热加工产品的质量。的质量。的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种高温烧结炉工艺气导入装置


[0001]本技术涉及烧结设备领域,具体涉及一种高温烧结炉工艺气导入装置。

技术介绍

[0002]在生产制造硬质合金产品生产过程中,需要采用高温烧结炉,需要将工艺气通入到高温烧结炉的石墨箱中。在现有技术中,工艺气通常是采用管道从炉体顶部导入炉体后,通过孔隙渗透的方式穿过保温筒经过加热区最后再通过石墨箱壁,进入石墨箱内与热加工产品进行接触反应。由于渗透时阻力大,导致石墨箱内部工艺气浓度较低。特别是在抽真空状态下,还会减少工艺气与热加工产品进行接触的时间,将严重影响热加工产品的烧结质量。因此有必要将工艺气用管道直接引入到石墨箱内。但当石墨箱壁开设管道接口较多时,将会降低炉体和石墨箱的气密性能和保温性能,因此应尽量减少炉体和石墨箱上的开口数量。
[0003]经专利检索,与本技术有一定关系的专利主要有以下专利:
[0004]1、申请号为“CN201010247925.8”、申请日为“2010.08.06”、公开号为“CN102374772A”、公开日为“2012.03.14”、名称为“双向热压高温烧结炉及其工作方法”、申请人为“邓湘凌”的中国专利技术专利,该专利技术涉及一种双向热压高温烧结炉及其工作方法,该双向热压高温烧结炉包括:炉体、装设于炉体内的保温筒、分别通过法兰盘密封盖合于炉体上下端的上炉盖与下炉盖、及分别装设在上炉盖与下炉盖上的上压头与下压头,炉体上设有数个电极、以及数条通过套管固定在炉体上的通水管,保温筒与炉体内表面之间形成有间隙,保温筒内设有加热体、及对应上、下压头相对上下设置的两石墨压头,数个电极分别依次通过炉体与保温筒上的电极通孔穿入炉体,并与加热体连接。本专利技术的双向热压高温烧结炉,具有双压头结构,通过上、下压头同时加压解决受力均匀等问题,提高产品性能,可靠性高。
[0005]2、申请号为“CN201880020622.7”、申请日为“2018.12.21”、公开号为“CN110603417A”、公开日为“2019.12.20”、名称为“一种真空脱脂烧结炉及其使用方法”、申请人为“宁波恒普真空技术有限公司”的中国专利技术专利,该专利技术公开了一种真空脱脂烧结炉及其使用方法,涉及粉末冶金、粉末陶瓷烧结等制造专用设备
,石墨料箱上设有内充气口和内抽气口,内充气口连通有内充气管,内抽气口连通有内抽气管,炉体上设有外充气口和外抽气口,外充气口连通有外充气管,外抽气口连通有外抽气管。所述真空脱脂烧结炉以向石墨料箱内充工艺气体为主,以向石墨料箱外充惰性气体为辅,将石墨料箱内外气氛隔离,减少石墨料箱外各种不纯气氛和污染物进入石墨料箱而影响产品的烧结,提高了产品质量和生产速度,减少了炉内的污染程度,延长了真空脱脂烧结炉的使用寿命,并使得高温烧结时氢气的使用和低温脱脂时氧的使用成为可能。
[0006]3、申请号为“CN201610320913.0”、申请日为“2016.05.16”、公开号为“CN107091574A”、公开日为“2017.08.25”、名称为“一种气氛烧结炉”、申请人为“湖南天源工业设备有限公司”的中国专利技术专利,该专利技术公开一种气氛烧结炉,包括内胆,还包括可旋
转地设置于所述内胆内、用于对进入其中的工艺气体进行搅动的扰流部件。本专利技术所公开的气氛烧结炉,由于扰流部件设置在内胆内,并且能够自由旋转,因此当工艺气体从外界(一般为内胆上设置的进气口)进入到内胆中时,势必会经过扰流部件的搅动,从而使得原本刚进入到内胆中、有序运动、分布较集中且密度较大的“工艺气体团”迅速被吹散、扰乱,进而使“工艺气体团”分散成为密度很小、分布很广且迅速遍布整个内胆容积的“工艺气体云”,如此就增加了工艺气体与工件表面的接触面积,提高了工艺气体与工件表面的结合程度,使得工件表面的烧结程度更加均匀。
[0007]4、申请号为“CN201610498235.7”、申请日为“2016.06.30”、公开号为“CN106123584A”、公开日为“2016.11.16”、名称为“烧结炉气流缓冲装置”、申请人为“中国电子科技集团公司第四十八研究所”的中国专利技术专利,该专利技术公开了一种烧结炉气流缓冲装置,包括缓冲罩,所述缓冲罩安装于炉体的进气口处,所述缓冲罩与烧结炉的保温层之间形成一级缓冲区域,所述缓冲罩的内腔为二级缓冲区域;气体由进气口进入所述炉体后,依次通过一级缓冲区域、二级缓冲区域后送入炉体的加热腔。本专利技术具有结构简单紧凑、易安装、能够对工艺气体的气流进行有效调节、从而改善烧结工艺均匀性等优点。
[0008]5、申请号为“CN200910187433.1”、申请日为“2009.09.18”、公开号为“CN101655310A”、公开日为“2010.02.24”、名称为“1800度高温保护气氛真空烧结炉”、申请人为“沈阳恒进真空科技有限公司”的中国专利技术专利,该1800度高温保护气氛真空烧结炉,控制系统与设置在设备中的电控执行部件相连,加热室内设有石墨密封箱,高温真空烧结炉的进、排气管道与石墨密封箱相连,其特征在于一炉具备两种工艺气氛烧结和真空烧结的设置并由控制程序实施功能转换措施,炉壳体上安装热电偶、铜电极,壳体柱体部位有管接口与真空系统的抽空机组相通,炉壳内装方体加热室、加热器固定在加热室内四壁、加热器内部再安装密封箱和支撑料架;联通密封箱的进、排气管道通过石墨管穿过加热室和密封箱的上下壁与密封箱内相通,炉壳体一端安装气体循环冷却风机,密封箱内壁设热电偶、铜电极,铜电极通过石墨电极与加热器相连接。在真空烧结时,被封闭在密封箱内的挥发物不能散出,有效防止挥发物对加热器的污染损害,同时也使保护气体带走挥发物、保护炉料的效果,提高保护气体的利用率。
[0009]6、申请号为“CN200320103509.6”、申请日为“2003.11.21”、公开号为“CN2674295Y”、公开日为“2005.01.26”、名称为“高温反应烧结炉”、申请人为“北京七星华创电子股份有限公司”的技术专利,该技术涉及一种高温反应烧结炉,尤其涉及一种半导体、冶金及其它行业的热处理真空工艺处理中应用的高温反应烧结炉。其结构由炉体、反应室、送料装置与旋转装置和废气处理装置组成;本技术所述的高温反应烧结炉,在原有炉体结构中增加了反应室,反应室位于炉体内部,与炉腔分开;可以节约工艺气体,不会在炉壁上产生结晶,影响高温烧结炉的性能。在送料装置上增加了旋转装置,使工件在处理过程中持续旋转,让工件受热均匀,与工艺气体接触均匀,提高产品质量。又增加了废气处理装置,对产生的废气进行处理,减少对环境制成的污染。
[0010]在上述专利中,工艺气有些是采用渗透的方式导入石墨箱内,存在影响热加工产品质量的技术问题;有些是采用独立的管道导入石墨箱内,存在炉体和石墨箱上开口较多、影响炉体和石墨箱的密封性能和保温性能的技术问题。

技术实现思路

[0011]本技术要解决的技术问题是针对现有技术中存在的缺陷,提供一种高温烧结炉工艺气导入装置,在提高石墨箱内的工艺气浓度的同时,提高炉体和石墨箱的密封性能和保温性本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温烧结炉工艺气导入装置,包括:炉体(1)、石墨箱(2)、副真空管(3)及工艺气管(4),其特征在于:将工艺气管(4)与副真空管(3)组合成为套管,利用穿过炉体(1)和石墨箱(2)的套管导入工艺气及排出废气。2.根据权利要求1所述的高温烧结炉工艺气导入装置,其特征在于:所述工艺气管(4)设置有法兰(32),工艺气管(4)上设置有密封套(42),利用密封套(42)与法兰(32)配合连接。3.根据权利要求2所述的高温烧结炉工艺气导入装置,其特征在于:所述工艺气管(4)包括:导气管一(41)、弯接头(43)、导气管二(44)、直接头(45)及导气管三(46),导气管一(41)与导气管二(44)通过弯接头(43)连接,导气管二(44)与导气管三(46)通过直接头(45)连接。4.根据权利要求3所述的高温烧结炉工艺气导入装置,其特征在于:所述导气管一(41)及导气管二(44)采用不锈钢材质。5.根据权利要求3所述的高温烧结炉工艺气导入装置,其特征在于:所述导气管三(46)采用石墨材质。6....

【专利技术属性】
技术研发人员:崔志文柴神洲刘建辉袁蓝青
申请(专利权)人:湖南维尚科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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