【技术实现步骤摘要】
一种靶材的烧结方法
[0001]本专利技术涉及陶瓷靶材烧结
,具体涉及一种靶材的烧结方法。
技术介绍
[0002]传统的工艺在进行靶材烧结时,是将生坯直接竖直放置在承烧板上,然后一起放进烧结炉中进行烧结,烧结时靶材生坯会整体向内收缩,靶材底部与承烧板接触的位置会产生较大的摩擦力阻力,这个摩擦阻力会阻止靶材底部向内收缩,使靶材底部收缩的产生的形变与上部产生的形变不同步,导致靶材底部产生向外的不规则变形甚至开裂,后续加工时需要切削去除变形和开裂的部分,增大了物料损耗和加工成本,影响靶材的良品率和取材率。
[0003]现还有一种方法是先在承烧板上平铺一层氧化铝粉,再将生坯放置在氧化铝粉上,从而减小靶材收缩时与承烧板之间摩擦力。还有另一种方法是设置圆筒形的陶瓷生坯和炉底板,以及垫在陶瓷生坯和炉底板之间的垫烧块,在陶瓷生坯与垫烧块之间、电烧烤与炉底板之间各设置一层耐高温的砂,将滑动摩擦变成滚动摩擦,大大减少摩擦力,使陶瓷生坯在烧结加温的收缩过程中可以自由收缩。第一种方法,氧化铝粉形状不规则,滚动时阻力较大,第二种方法由于高温烧结时靶材处于柔软状态,若靶材重量大,垫烧块或砂在高温状态下容易嵌入靶材,导致滑移阻力增大,使滑移效果变差,这两种方法都难以有效防止不规则变形。
技术实现思路
[0004]本专利技术目的在于提供一种靶材的烧结方法,用该方法对靶材生坯进行烧结可减小靶材生坯在烧结过程中与承烧板之间产生的摩擦阻力,防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。
[0005]为实现上述目的,本专利 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材的烧结方法,包括以下步骤:步骤A.在承烧板上铺辅助滑动粉;步骤B.把靶材生坯摆放到辅助滑动粉上,至此承烧板、靶材生坯与辅助滑动粉三者放在一起组成烧结组件;步骤C.取烧结组件进行烧结;其特征在于,所述辅助滑动粉是氧化铝粉,为球形颗粒状。2.根据权利要求1所述的靶材的烧结方法,其特征在于:在步骤A之前,对氧化铝粉进行研磨造粒,制作成球形颗粒状,然后进行脱胶处理,再煅烧得到所述的辅助滑动粉。3.根据权利要求1所述的靶材烧结方法,其特征在于:步骤A具体地,把所述球形颗粒状的氧化铝粉堆成顶部形成斜坡的粉堆;步骤B具体地,把靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。4.根据权利要求3所述的靶材烧结方法,其特征在于,所述粉堆塑形腔顶部所形成的斜坡与水平面的夹角为35~50
°
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【专利技术属性】
技术研发人员:周昭宇,周志宏,肖世洪,雷雨,汪政军,
申请(专利权)人:广州市尤特新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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