一种尾气排放结构和还原炉制造技术

本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：多个尾气支管；每个尾气支管的第一端与汇合管连通，多个尾气支管的第一端沿汇合管的周向间隔设置；汇集管的第一端与汇合管连通；汇集管的第二端与尾气母管的一端连通。尾气排放结构可应用在还原炉中，尾气支管的第二端可以与还原炉的底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入尾气支管中，尾气支管中的气体进入汇合管中后在汇合管中可以进行平衡，使得汇合管中的气体的压力流量更均匀稳定，汇合管中均匀稳定的气体稳定地流入汇集管，经过汇集管后从尾气母管排出，使得尾气的排出更均匀稳定，使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定，提高多晶硅的生产质量。提高多晶硅的生产质量。提高多晶硅的生产质量。

【技术实现步骤摘要】
一种尾气排放结构和还原炉


[0001]本申请属于多晶硅
，具体涉及一种尾气排放结构和还原炉。

技术介绍

[0002]多晶硅是制造集成电路、太阳能电池的主要原料。多晶硅的生产过程中，将氯硅烷和氢气等原料送入还原炉中在硅棒上发生化学气相沉积反应生成多晶硅，生产过程中为保证还原炉内较高的生产效率，要提高其在硅棒表面的沉积速度，会通过喷嘴连续喷入原料气，同时将反应后低浓度的氯硅烷及反应过程中的副产物通过尾气口连续排出。在尾气流经尾气管时，尾气管中气体压力流量不均匀稳定，导致还原炉内的压力、流场、温度场不稳定，影响多晶硅的生产质量。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的是提供一种尾气排放结构和还原炉，用以解决还原炉的尾气管中气体压力流量不均匀稳定，导致还原炉内的压力、流场、温度场不稳定，影响多晶硅生产质量的问题。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种尾气排放结构，包括：
[0005]多个尾气支管；
[0006]汇合管，每个所述尾气支管的第一端与所述汇合管连通，多个所述尾气支管的第一端沿所述汇合管的周向间隔设置；
[0007]多个汇集管，所述汇集管的第一端与所述汇合管连通；
[0008]尾气母管，所述汇集管的第二端与所述尾气母管的一端连通。
[0009]其中，所述汇合管为弧形或圆环形，所述尾气支管为直管，多个所述尾气支管的轴线与所述汇合管的轴线平行。
[0010]其中，多个所述尾气支管的第一端沿所述汇合管的周向均匀间隔设置。
[0011]其中，多个所述汇集管的第一端沿所述汇合管的周向间隔设置。
[0012]其中，所述汇集管为直管，所述汇集管的轴线与所述汇合管的轴线平行。
[0013]其中，所述汇合管为弧形，所述汇合管具有多个，多个所述汇合管的中心线位于同一圆上，每个所述汇合管上设有多个所述尾气支管，所述汇合管的两端设有盖板，所述盖板可封闭或打开所述汇合管的两端的管口。
[0014]其中，还包括：
[0015]汇集母管，所述汇集管与所述尾气母管通过所述汇集母管连通，所述汇集管的第二端与所述汇集母管连通，所述汇集母管与所述尾气母管的一端连通。
[0016]其中，所述汇集母管为弧形，所述汇集母管的两端分别与对应的所述汇集管的第二端连通，所述汇集母管的中部与所述尾气母管连通。
[0017]其中，所述汇集管为直管，所述汇集母管上邻近所述汇集管的位置设有排渣管，所述排渣管的轴线与所对应的所述汇集管的轴线共线，所述排渣管的第一端与所述汇集母管
连通，所述排渣管的第二端设有挡板，所述挡板可打开或封闭所述排渣管的第二端的管口；和/或
[0018]所述汇集母管为弧形，所述汇集母管的两端设有盖板，所述盖板可封闭或打开所述汇集母管的两端的管口。
[0019]其中，多个所述尾气支管中的至少一个尾气支管的轴线与所述汇集管的轴线共线。
[0020]其中，所述汇合管为圆环形，所述尾气支管为直管，所述汇集管为直管，所述尾气支管具有六个，所述汇集管具有两个，每个所述汇集管的轴线分别与对应的一个所述尾气支管的轴线共线，两个所述汇集管的轴线与所述汇合管的轴线均处于第一平面，所述第一平面的两侧分别分布有两个所述尾气支管。
[0021]其中，所述汇合管上邻近所述尾气支管的第一端的位置设有排渣管，所述尾气支管与所述排渣管为直管，所述排渣管的轴线与所对应的所述尾气支管的轴线共线，所述排渣管的第一端与所述汇合管连通，所述排渣管的第二端设有挡板，所述挡板可打开或封闭所述排渣管的第二端的管口。
[0022]其中，所述尾气支管、所述汇合管、所述汇集管和所述尾气母管中的至少一个上设有温度传感器。
[0023]其中，还包括：
[0024]温度调节装置，所述尾气支管、所述汇合管、所述汇集管和所述尾气母管中的至少一个上设有所述温度调节装置。
[0025]第二方面，本申请实施例提供了一种还原炉，包括：
[0026]上述实施例中所述的尾气排放结构；
[0027]炉体，所述炉体的底部设有多个排气孔，所述排气孔分别与对应的所述尾气支管的第二端连通。
[0028]其中，多个所述排气孔沿所述炉体的底部的周向均匀间隔设置，所述尾气支管垂直于所述炉体的底部。
[0029]其中，所述尾气支管、所述汇合管、所述汇集管和所述尾气母管中的至少一个上设有温度传感器，所述炉体的底部、所述尾气支管、所述汇合管、所述汇集管和所述尾气母管中的至少一个上设有温度调节装置；
[0030]所述还原炉还包括控制系统，所述控制系统根据所述温度传感器检测到的温度控制所述温度调节装置。
[0031]本申请实施例的尾气排放结构，包括：多个尾气支管；汇合管，每个所述尾气支管的第一端与所述汇合管连通，多个所述尾气支管的第一端沿所述汇合管的周向间隔设置；多个汇集管，所述汇集管的第一端与所述汇合管连通；尾气母管，所述汇集管的第二端与所述尾气母管的一端连通。本申请的尾气排放结构可以应用在还原炉中，尾气支管的第二端可以与还原炉的底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入尾气支管中，尾气支管中的气体进入汇合管中，尾气支管中的气体进入汇合管中后在汇合管中平衡压力，使得汇合管中的气体的压力流量更均匀稳定，经过平衡后的气体从汇合管流入汇集管，汇合管中均匀稳定的气体稳定地流入汇集管，经过汇集管后从尾气母管排出，使得尾气的排出更均匀稳定，进而使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定，提高多晶硅的生产质量。
附图说明
[0032]图1为本申请实施例一的尾气排放结构一个结构示意图；
[0033]图2为本申请实施例一的尾气排放结构另一个结构示意图；
[0034]图3为本申请实施例一的尾气排放结构一个俯视图；
[0035]图4为本申请实施例二的尾气排放结构一个结构示意图；
[0036]图5为本申请实施例二的尾气排放结构另一个结构示意图；
[0037]图6为本申请实施例二的尾气排放结构一个俯视图；
[0038]图7为本申请实施例三的尾气排放结构一个结构示意图；
[0039]图8为本申请实施例三的尾气排放结构另一个结构示意图；
[0040]图9为本申请实施例三的尾气排放结构一个俯视图；
[0041]图10为本申请实施例的炉体与尾气支管连接的一个示意图。
[0042]附图标记
[0043]尾气支管10；
[0044]汇合管20；
[0045]汇集管30；
[0046]汇集母管40；
[0047]尾气母管50；
[0048]排渣管60；挡板61；
[0049]炉体70。
具体实施方式
[0050]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气排放结构，其特征在于，包括：多个尾气支管；汇合管，每个所述尾气支管的第一端与所述汇合管连通，多个所述尾气支管的第一端沿所述汇合管的周向间隔设置；多个汇集管，所述汇集管的第一端与所述汇合管连通；尾气母管，所述汇集管的第二端与所述尾气母管的一端连通。2.根据权利要求1所述的尾气排放结构，其特征在于，所述汇合管为弧形或圆环形，所述尾气支管为直管，多个所述尾气支管的轴线与所述汇合管的轴线平行。3.根据权利要求2所述的尾气排放结构，其特征在于，多个所述尾气支管的第一端沿所述汇合管的周向均匀间隔设置。4.根据权利要求3所述的尾气排放结构，其特征在于，多个所述汇集管的第一端沿所述汇合管的周向间隔设置。5.根据权利要求4所述的尾气排放结构，其特征在于，所述汇集管为直管，所述汇集管的轴线与所述汇合管的轴线平行。6.根据权利要求3所述的尾气排放结构，其特征在于，所述汇合管为弧形，所述汇合管具有多个，多个所述汇合管的中心线位于同一圆上，每个所述汇合管上设有多个所述尾气支管，所述汇合管的两端设有盖板，所述盖板可封闭或打开所述汇合管的两端的管口。7.根据权利要求3所述的尾气排放结构，其特征在于，还包括：汇集母管，所述汇集管与所述尾气母管通过所述汇集母管连通，所述汇集管的第二端与所述汇集母管连通，所述汇集母管与所述尾气母管的一端连通。8.根据权利要求7所述的尾气排放结构，其特征在于，所述汇集母管为弧形，所述汇集母管的两端分别与对应的所述汇集管的第二端连通，所述汇集母管的中部与所述尾气母管连通。9.根据权利要求7所述的尾气排放结构，其特征在于，所述汇集管为直管，所述汇集母管上邻近所述汇集管的位置设有排渣管，所述排渣管的轴线与所对应的所述汇集管的轴线共线，所述排渣管的第一端与所述汇集母管连通，所述排渣管的第二端设有挡板，所述挡板可打开或封闭所述排渣管的第二端的管口；和/或所述汇集母管为弧形，所述汇集母管的两端设有盖板，所述盖板可封闭或打开所述汇集母管的两端的管口。10.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯留建，孙运德，董越杰，吴万里，范协诚，银波，张霞飞，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：