一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔，所述吸附塔内设置有脱氧装置，所述吸附塔分别接有进气头与出气头，所述脱氧装置的外周面设置有输送筒，所述进气头外接有加热器，经加热器加热后的气体通过出气头逆向输入到脱氧装置、输送筒内，所述输送筒内设置有若干旋流口，旋流口沿脱氧装置的方向依次设置有第一增压阶、第二增压阶，将氮气通过加热器内加热到300℃，将加热后的氮气通过出气头逆向输入到吸附塔内的脱氧装置中，与脱氧装置中的脱氧剂发生反应，将脱氧剂中的氧化性杂质经过热氮气夹带进入尾气排放管排出，使得脱氧剂的吸附能力恢复，能够不需要经过人工即可恢复脱氧剂的还原性。

【技术实现步骤摘要】
一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置
本技术涉及一种电子级六氟乙烷用提纯装置，特别是一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置。
技术介绍
四氟化碳回收提出电子级六氟乙烷过程中会生成一些具有氧化性的杂质，氧化性杂质的存在会影响六氟乙烷的使用效果，因此必须对此项指标进行管控，普通的精制提纯方法很难将二者分离，因此必须寻求更为有效的去除办法，通过用吸附塔中填装脱氧剂，四氟化碳粗气在脱氧剂的作用下，将氧化性杂质除去，传统工艺中，脱氧剂使用一段时间后，需要更换，人力物力消耗大，经济效益低，且有其他设备采用气体激活脱氧剂脱氧性的装置，其气体与脱氧剂的混合效果不明显，需长时间等待后气体才与脱氧剂完全反应交汇，再生效率较低。
技术实现思路
本技术提供了一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，可以有效解决上述问题。本技术是这样实现的：一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔，所述吸附塔内设置有脱氧装置，所述吸附塔分别接有进气头与出气头，所述脱氧装置的外周面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔(34)，所述吸附塔(34)内设置有脱氧装置(35)，所述吸附塔(34)分别接有进气头(37)与出气头(33)，其特征在于，/n所述脱氧装置(35)的外周面设置有输送筒(36)，所述进气头(37)外接有加热器(32)，经加热器(32)加热后的气体通过出气头(33)逆向输入到脱氧装置(35)、输送筒(36)内，/n所述输送筒(36)内设置有若干旋流口(360)，旋流口(360)沿脱氧装置(35)的方向依次设置有第一增压阶(361)、第二增压阶(362)。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔(34)，所述吸附塔(34)内设置有脱氧装置(35)，所述吸附塔(34)分别接有进气头(37)与出气头(33)，其特征在于，
所述脱氧装置(35)的外周面设置有输送筒(36)，所述进气头(37)外接有加热器(32)，经加热器(32)加热后的气体通过出气头(33)逆向输入到脱氧装置(35)、输送筒(36)内，
所述输送筒(36)内设置有若干旋流口(360)，旋流口(360)沿脱氧装置(35)的方向依次设置有第一增压阶(361)、第二增压阶(362)。


2.根据权利要求1所述的一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，其特征在于，所述加热器(32)内包括有加热腔(321)，所述加热腔(321)的一侧设置有加热管(322)，所述加热腔(321)上固定有温度显示器(323)。


3.根据权利要求2所述的一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，其特征在于，所述加热腔(321)的进气端与外接气压机连接，所述加热腔(321)的出气端与出气头(33)相连接。


4.根据权利要求3所述的一种废气回收提纯电子级六氟乙烷...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄斌斌，张奎，刘志强，赖金香，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35