温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种废气回收提纯电子级六氟乙烷用微氧吸附再生装置，包括：吸附塔，所述吸附塔内设置有脱氧装置，所述吸附塔分别接有进气头与出气头，所述脱氧装置的外周面设置有输送筒，所述进气头外接有加热器，经加热器加热后的气体通过出气头逆向输入到...
该专利属于福建德尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建德尔科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。