本申请涉及监控设备技术领域，尤其是一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：包括测量机构，所述测量机构包括测量室和称重传感器，所述测量通过连通管与反应炉相连通，所述连通管的一端固定在测量室上，连通管的另一端固定在炉盖上，所述称重传感器设有一端伸入反应炉内的悬挂金属丝。本申请具有以下效果：气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以通过测量被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时不间断的监控。
【技术实现步骤摘要】
一种新型高真空高温质量监控装置
本申请涉及监控设备
，尤其是涉及一种新型高真空高温质量监控装置。
技术介绍
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性能（例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能）的金属或化合物涂层的新技术。高温喷涂工艺是将熔融状态的喷涂材料，通过高速气流，使其雾化，喷射在被净化及粗化的零件表面上，形成喷涂层的一种表面加工方法。气相沉积的完成依赖于气相沉积炉，气相沉积炉用作气相沉积反应时的场所。气相沉积炉通常包括工作台、设在工作台内的反应炉以及用于改变反应炉内工作环境的各控制元件，反应炉内的工作环境在各控制元件的控制下可以形成用于气相沉积的高温高真空区。反应炉呈筒状，且反应炉的开口端设有炉盖，炉盖通常位于工作台台面的上方。高温喷涂的工作环境类似。两种技术都是以气相涂料的方式，将涂料附着在工件的表面，然而相关技术中，在高温，高真空环境下对气相沉积或表面气相高温喷涂工件进行沉积物的质量实时监控难以实现。
技术实现思路
为了便于对气相沉积炉或气相高温喷涂工件的表面沉积物的质量进行实时不间断的监控，本申请提供一种新型高真空高温质量监控装置。本申请提供的一种新型高真空高温质量监控装置采用如下的技术方案：一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：包括测量机构，所述测量机构包括测量室和称重传感器，所述测量室通过连通管与反应炉相连通，所述连通管的一端固定在测量室上，连通管的另一端固定在炉盖上，所述称重传感器设有一端伸入反应炉内的悬挂金属丝。通过采用上述技术方案，气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以通过测量被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时不间断的监控。可选的，所述连通管靠近反应炉的一端设有隔热机构，所述隔热机构固位于炉盖靠近反应炉内腔的一侧。通过采用上述技术方案，隔热机构用于将反应炉内的热量进行隔断，以使得测量室内的监控元件不易受到反应炉高温的影响，从而提高称重传感器的准确度。可选的，所述隔热机构包括设在炉盖靠近反应炉内腔的一侧且与连通管相连通的固定管以及套设在固定管上的隔热件。通过采用上述技术方案，固定管使得隔热件在炉盖上更加稳固，以便于隔热件对反应炉内的热量进行隔断。可选的，所述连通管包括固定在测量室上的上管段以及固定在炉盖上的下管段，所述上管段靠近下管段的一端设有上连接法兰，所述下管段靠近上管段的一端设有下连接法兰，所述上连接法兰和下连接法兰之间相互抵接，且上连接法兰和下连接法兰通过连接组件相连。通过采用上述技术方案，连通管分段设置，使得测量室和炉盖隔断呈两个独立件，从而以便于测量室和炉盖分开取下进行清洁和保养。可选的，所述上连接法兰和下连接法兰之间设有法兰密封垫。通过采用上述技术方案，法兰密封垫用于增强上管道和下管道连接时的密封性，以使得上管段和下管段的连接处不易进入空气。可选的，还包括提升机构，所述提升机构设在工作台上，且提升机构包括沿竖直方向进行滑移的滑块，所述测量室固定在滑块上。通过采用上述技术方案，滑块滑移使带动测量室进行滑移，测量室通过连通管带动炉盖进行移动，且测量室通过悬挂金属丝带动被测量工件进行移动，炉盖移动时隔热件随炉盖一起移动，从而达到将被测量工件从反应炉中取出的目的；提升机构使得被测量工件的取出更加便捷，更加平稳。可选的，所述测量室远离提升机构一端的侧壁上设有测量室门，所述测量室在测量室门处设有与测量室门相抵接的外环沿，所述测量室门和外环沿之间通过锁紧组件固定。通过采用上述技术方案，先将传感器安装板固定在测量室的内壁上，然后将称重传感器固定在传感器安装板上，再将测量室门安装在测量室上使测量室形成封闭，称重传感器的安装更加便捷。可选的，所述外环沿和测量室门之间设有密封环垫。通过采用上述技术方案，密封环垫用于提高测量室门和测量室之间的密封效果，以使得测量室门和测量室之间不易存在间隙致使空气进入测量室内。综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.气相物质在高温高真空下沉积在被测量工件的表面形成涂层，称重传感器则可以通过测量被测量工件质量的变化量，对气相沉积的质量进行实时不间断的监控；2.通过设置提升机构，使得被测量工件的取出更加便捷，更加平稳。附图说明图1是本申请实施例质量监控装置整体的结构示意图；图2是图1中A部的放大图；图3是图1中B部的放大图。附图标记说明：1、测量室；11、测量室门；12、外环沿；13、锁紧组件；131、锁紧螺栓；132、锁紧螺母；14、密封环垫；2、提升机构；21、滑块；3、连通管；31、上管段；311、上连接法兰；32、下管段；321、下连接法兰；313、连接组件；3131、连接螺栓；3132、连接螺母；314、法兰密封垫；4、称重传感器；41、传感器安装板；5、悬挂金属丝；6、隔热机构；61、固定管；62、隔热件；7、被测量工件；8、炉盖；9、反应炉。具体实施方式以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。本申请实施例公开一种新型高真空高温质量监控装置。参照图1，新型高真空高温质量监控装置包括测量机构和提升机构2。测量机构用于对反应炉9内气相沉积的质量进行实时监控；提升机构2位于测量机构的一侧，且提升机构2用于将测量机构进行升降，从而以便于被测量工件7的取放。测量机构包括测量室1，测量室1设在气相沉积炉的炉盖8上，且测量室1位于炉盖8远离反应炉9的一侧。测量室1用作监控元件的安装基础，测量室1通过连通管3与反应炉9连通。测量室1应保持良好的密闭效果，以避免空气从测量室1内进入并沿连通管3到达反应炉9内。测量室1内固定有称重传感器4，称重传感器4为监控元件，且称重传感器4通过传感器安装板41固定在测量室1的内壁上。称重传感器4与测量室1外的控制仪表电连接，用于对气相沉积的质量进行实时监控。参照图1和图2，为了便于称重传感器4的安装与固定，测量室1远离提升机构2一端的侧壁上设有测量室门11，测量室1在测量室门11处设有外环沿12，外环沿12呈矩形框状，且外环沿12与测量室1为一体结构。外环沿12与测量室门11相抵接，且测量室门11和外环沿12之间通过锁紧组件13固定。锁紧组件13包括锁紧螺栓131和锁紧螺母132，锁紧螺栓131穿过测量室门11和外环沿12并与锁紧螺母132螺纹连接，锁紧固定时，锁紧螺母132与测量室门11相抵接。装置在加工时，先将传感器安装板41固定在测量室1的内壁上，然后将称重传感器4固定在传感器安装板41上，再将测量室门11安装在测量室1上，从而使测量室1形成封闭。外环沿12和测量室门11之间设有密封环垫14。密封环垫14的形状与外环沿12的形状相适配，且密封环垫14通过外环沿12和测量室门11夹持固定。密封环垫14可以采用真空用橡胶密封圈，密封环垫14用于提高测量室门11和测本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：包括测量机构，所述测量机构包括测量室（1）和称重传感器（4），所述测量室（1）通过连通管（3）与反应炉（9）相连通，所述连通管（3）的一端固定在测量室（1）上，连通管（3）的另一端固定在炉盖（8）上，所述称重传感器（4）设有一端伸入反应炉（9）内的悬挂金属丝（5）。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：包括测量机构，所述测量机构包括测量室（1）和称重传感器（4），所述测量室（1）通过连通管（3）与反应炉（9）相连通，所述连通管（3）的一端固定在测量室（1）上，连通管（3）的另一端固定在炉盖（8）上，所述称重传感器（4）设有一端伸入反应炉（9）内的悬挂金属丝（5）。
2.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述连通管（3）靠近反应炉（9）的一端设有隔热机构（6），所述隔热机构（6）固位于炉盖（8）靠近反应炉（9）内腔的一侧。
3.根据权利要求2所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述隔热机构（6）包括设在炉盖（8）靠近反应炉（9）内腔的一侧且与连通管（3）相连通的固定管（61）以及套设在固定管（61）上的隔热件（62）。
4.根据权利要求1所述的一种新型高真空高温质量监控装置，其特征在于：所述连通管（3）包括固定在测量室（1）上的上管段（31）以及固定在炉盖（8）上的下管段（32），所述上管段（31）靠近下管段（32）的一端设有上连接法兰（311），所述下管段（32）靠近上...
【专利技术属性】
技术研发人员：贡昊，邹培勇，
申请(专利权)人：上海辰荣电炉有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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