机械手臂及半导体加工设备制造技术

一种机械手臂及半导体加工设备，涉及机械手辅助加工技术领域。该机械手臂包括降温组件、固定座以及手臂本体，手臂本体转动连接于固定座上，手臂本体上包括有承载部，降温组件设于承载部上，用于对放置于承载部上的工件降温。该机械手臂能够便于转移高温工件。

【技术实现步骤摘要】
机械手臂及半导体加工设备
本技术涉及机械手辅助加工
，具体而言，涉及一种机械手臂及半导体加工设备。
技术介绍
机械手臂是一种能模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装置。特点是可以通过编程来完成各种预期的作业，其构造和性能上兼具有人和机械手机器各自的优点。随着现代制造业的机械化和自动化，大量的机械手臂被投入使用，用于将一道制程完成后的产品搬运至下一道制程的生产线，以替代人的繁重劳动而实现生产的机械化和自动化。以半导体晶圆加工为例，通常在将晶圆经半导体设备的反应腔进行高温反应之后，会采用机械手臂将晶圆取出再移放至冷却区进行冷却，冷却后再继续通过机械手臂将晶圆传送回晶圆盒以进行后续制程。然而，现有的机械手臂无冷却降温作用，这样，在移送晶圆的过程中，一来可能自身会受到晶圆高温的影响而发生机械手臂损伤，二来采用现有的机械手臂移送晶圆至冷却室冷却仅是依靠在冷却室闲置一定时间来逐渐降温，冷却效率较低且难以提升产能。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种机械手臂及半导体加工设备，其能够便于转移高温工件。本技术的实施例是这样实现的：本技术的一方面，提供一种机械手臂，该机械手臂包括降温组件、固定座以及手臂本体，手臂本体转动连接于固定座上，手臂本体上包括有承载部，降温组件设于承载部上，用于对放置于承载部上的工件降温。该机械手臂能够便于转移高温工件。可选地，降温组件为冷却风扇，冷却风扇用于朝向承载部上的工件吹送气流。可选地，冷却风扇包括多个，且多个冷却风扇均匀分布于承载部上。可选地，承载部设有容置槽，冷却风扇收容于容置槽内。可选地，冷却风扇靠近工件的一面低于容置槽的槽口。可选地，手臂本体包括与固定座转动连接的伸缩臂以及与伸缩臂连接的支撑体，承载部设于支撑体上。可选地，伸缩臂包括依次转动连接的第一主动臂、第一从动臂、第二从动臂以及第二主动臂，且第一主动臂远离第一从动臂的一端与固定座转动连接，第二主动臂远离第二从动臂的一端与固定座转动连接，支撑体连接于第一从动臂与第二从动臂的连接处。可选地，固定座包括座本体和转动连接于座本体上的转轴，手臂本体和转轴连接。可选地，承载部上还设有限位件，限位件用于限制工件在承载部上的水平易位。本技术的另一方面，提供一种半导体加工设备，该半导体加工设备包括反应腔室、冷却室以及上述的机械手臂，机械手臂设于反应腔室与冷却室之间，用于将反应腔室内的工件转移至冷却室。该半导体加工设备能够便于转移高温工件。本技术的有益效果包括：本实施例提供一种机械手臂，该机械手臂包括降温组件、固定座以及手臂本体，手臂本体转动连接于固定座上，手臂本体上包括有承载部，降温组件设于承载部上，用于对放置于承载部上的工件降温。这样，在进行高温工件的转移时，可以通过降温组件对工件进行降温，一来可以对需要降温的工件进行快速降温，二来可以避免高温工件对机械手臂造成损伤。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例提供的机械手臂的结构示意图之一；图2为本技术实施例提供的机械手臂的结构示意图之二；图3为本技术实施例提供的机械手臂的结构示意图之三；图4为本技术实施例提供的机械手臂的结构示意图之四；图5为本技术实施例提供的半导体加工设备的结构示意图。图标：10-降温组件；20-固定座；30-手臂本体；31-支撑体；311-承载部；3111-容置槽；32-伸缩臂；321-第一主动臂；322-第一从动臂；323-第二从动臂；324-第二主动臂；200-工件；300-反应腔室；400-冷却室。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参照图1至图3，本实施例提供一种机械手臂，该机械手臂包括降温组件10、固定座20以及手臂本体30，手臂本体30转动连接于固定座20上，手臂本体30上包括有承载部311，降温组件10设于承载部311上，用于对放置于承载部311上的工件200降温。该机械手臂能够便于转移高温工件200。其中，上述固定座20可以置于工作台面上或者任何便于进行操作的位置。具体地本申请不做限制，本领域技术人员可根据情况而定。手臂本体30转动连接于固定座20上，是为了可以相对固定座20进行转动，从而通过机械手臂带动工件200进行位置移动。为了便于通过手臂本体30承载工件200，在本实施例中，在手臂本体30上还设有承载部311，该承载部311用于放置工件200。示例地，该承载部311可以是设于手臂本体30上的承载平台，这样，工件200可以放置于该承载平台上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括降温组件、固定座以及手臂本体，所述手臂本体转动连接于所述固定座上，所述手臂本体上包括有承载部，所述降温组件设于所述承载部上，用于对放置于所述承载部上的工件降温。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括降温组件、固定座以及手臂本体，所述手臂本体转动连接于所述固定座上，所述手臂本体上包括有承载部，所述降温组件设于所述承载部上，用于对放置于所述承载部上的工件降温。


2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述降温组件为冷却风扇，所述冷却风扇用于朝向所述承载部上的所述工件吹送气流。


3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述冷却风扇包括多个，且多个冷却风扇均匀分布于所述承载部上。


4.根据权利要求2或3所述的机械手臂，其特征在于，所述承载部设有容置槽，所述冷却风扇收容于所述容置槽内。


5.根据权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述冷却风扇靠近所述工件的一面低于所述容置槽的槽口。


6.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂本体包括与所述固定座转动连接的伸缩臂以及与所述伸缩臂连接的支撑体，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖正训，王仁毅，杨志坚，狄丽燕，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37