【技术实现步骤摘要】
一种抛光液搅拌桶
本技术涉及半导体加工领域,尤其是涉及用于半导体加工的抛光液搅拌桶。
技术介绍
抛光液搅拌桶主要用于抛光加工过程中对抛光液进行搅拌,市面上使用的抛光液多具有腐蚀性,对搅拌桶的材质选择很挑剔,加工应用过程中,常因材质选择错误而损坏搅拌桶,造成抛光液搅拌桶污染,因此搅拌桶需要经常更换,影响加工进度,并且增加了成本。本技术为了克服上述缺陷,进行了有益的改进。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术提供了一种抛光液搅拌桶,具有耐腐蚀性。为了实现上述目的,采用以下技术方案:一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特殊之处在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。优选地:所述固定块、进液管分别有两个,分别设置在所述进液口的两侧。优选地,所述桶体的侧面上部和下部分别设置上液位感应口和下液位感应口,所述上液位感应口和下液位感应口之间安装有液位计,用于观察桶体内抛光液的液面变化。优选地:所述桶盖下断面边缘设置为台阶状,保证桶体和桶盖扣合的密封性。优选地:所述搅拌棒呈“T”型。与现 ...
【技术保护点】
1.一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特征在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。/n
【技术特征摘要】
1.一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特征在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液搅拌桶,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:寇明虎,刘泳沣,
申请(专利权)人:北京特思迪半导体设备有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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