一种抛光液搅拌桶制造技术

技术编号:29825260 阅读:11 留言:0更新日期:2021-08-27 14:12
本实用新型专利技术公开一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。具有便于观察检测液位变化和耐腐蚀的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光液搅拌桶
本技术涉及半导体加工领域,尤其是涉及用于半导体加工的抛光液搅拌桶。
技术介绍
抛光液搅拌桶主要用于抛光加工过程中对抛光液进行搅拌,市面上使用的抛光液多具有腐蚀性,对搅拌桶的材质选择很挑剔,加工应用过程中,常因材质选择错误而损坏搅拌桶,造成抛光液搅拌桶污染,因此搅拌桶需要经常更换,影响加工进度,并且增加了成本。本技术为了克服上述缺陷,进行了有益的改进。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术提供了一种抛光液搅拌桶,具有耐腐蚀性。为了实现上述目的,采用以下技术方案:一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特殊之处在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。优选地:所述固定块、进液管分别有两个,分别设置在所述进液口的两侧。优选地,所述桶体的侧面上部和下部分别设置上液位感应口和下液位感应口,所述上液位感应口和下液位感应口之间安装有液位计,用于观察桶体内抛光液的液面变化。优选地:所述桶盖下断面边缘设置为台阶状,保证桶体和桶盖扣合的密封性。优选地:所述搅拌棒呈“T”型。与现有技术相比,本技术的有益效果如下:1、本技术通过设置电机,桶体,搅拌棒,减速机,出液管,进液盖,桶盖、固定块,上液位感应口和下液位感应口配合使用,实现液位轻松查看检测报警。2、本技术通过设置桶体、搅拌棒、出液管、进液盖、桶盖和固定块材质为聚氯乙烯。具有耐腐蚀性。附图说明图1是本技术实施例提供的搅拌桶结构示意图;图2是本技术实施例提供的搅拌桶内部结构图。附图标记:1、电机;2、桶体;3、搅拌棒;4、减速机;5、出液管;6、进液盖;7、桶盖;8、固定块;9、下液位感应口;10、上液位感应口。具体实施方式下面结合附图对本技术的结构作详细的描述。如图1-2所示,本技术实施例提供的一种抛光液搅拌桶,包括电机1、桶体2、搅拌棒3、减速机4、出液管5、进液盖6、桶盖7、固定块8、上液位感应口10和下液位感应口9,电机下方设置有减速机,减速机固定在桶盖上,搅拌棒固定连接在减速机下方,固定块固定套设在出液管外,桶壁设置有液位感应计,桶设置为透明。如图所示,桶体2、搅拌棒3、出液管5、进液盖6、桶盖7和固定块8材质为聚氯乙烯,具有耐腐蚀性。采用上述方案:通过设置液位感应和透明桶身方便观察检测液位,通过设置聚氯乙烯材质,耐腐蚀。本技术的工作原理:使用中,抛光液经进液盖进入抛光液桶内,电机经减速机带动搅拌棒转动,通过透明桶体和液位计感应监测液位,搅拌后经出液管出液。综上所述:该抛光液搅拌桶,通过设置电机、桶体、搅拌棒,减速机、出液管、进液盖、桶盖、固定块、上液位感应口和下液位感应口,具有便于观察检测液位变化和耐腐蚀的优点。需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特征在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光液搅拌桶,包括桶盖和桶体,其特征在于:还包括减速机、电机、搅拌棒、固定块,所述减速机固定安装在所述桶盖的上端面,所述电机设置在所述减速机的上方并与所述减速机连接,所述减速机的下端连接搅拌棒,所述桶盖上还设置有进液盖,用于向抛光液搅拌桶的桶体内倒入抛光液,所述固定块固定安装在所述桶盖的上端面,所述固定块上安装有贯穿固定块和桶盖并延伸入桶体内部的出液管,所述桶盖、桶体、搅拌棒、出液管、进液盖和固定块的材质采用聚氯乙烯,所述桶体是透明桶体。


2.根据权利要求1所述的一种抛光液搅拌桶,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:寇明虎刘泳沣
申请(专利权)人:北京特思迪半导体设备有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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