一种自反馈激光液相烧蚀加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种自反馈激光液相烧蚀加工装置。在激光液相烧蚀中加入了自反馈的功能，使用光检测器检测烧蚀过程中由于激光与样品相互作用产生的烧蚀光；由于烧蚀光的波长时一个较宽的范围，同时由于烧蚀光的强度会随着相互作用的激烈程度增大而增大；当液体池内的液面由于挥发或者溅射降低时，水对激光的吸收效果会大大降低，从而导致烧蚀增强，烧蚀光的强度也会大大增大；利用光检测器检测烧蚀光的变化，当烧蚀光强度超过阈值时说明液面过低，从而控制蠕动泵加水，实现了液面的稳定控制，保证了激光液相烧蚀效果的稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种自反馈激光液相烧蚀加工装置
本技术涉及激光制备纳米材料领域，尤其涉及一种自反馈激光液相烧蚀加工装置。
技术介绍
液相激光烧蚀方法,主要是利用激光与液态介质相互作用,产生局域高温高压非平衡过程而获得纳米材料的方法,能够有效合成常规手段无法合成的新型纳米材料。由于制备过程更加绿色环保，且制备更容易控制从而受到极大关注。目前由于在制备过程中，液体难免发生挥发或者溅射，由于存在这种效果，会导致在制备过程中激光穿过的液面的高度发生变化，从而导致液体对激光的吸收作用产生影响；由于在烧蚀过程中，实际作用到样品表面的激光强度决定了制备的最终效果，如果液面位置变化，吸收效果变化会导致实际到达样品表面的激光强度改变，从而使得烧蚀的过程稳定性被破坏，加工出来的纳米颗粒粒径不均匀。由此需要一种可以自反馈控制激光液相烧蚀中液面高度的装置。
技术实现思路
针对上述内容，为解决上述问题一种自反馈激光液相烧蚀加工装置，包括激光器，第一反射镜、聚焦镜、液体池和旋转台；激光器发出的水平激光经过第一反射镜的反射后竖直向下射入聚焦镜；聚焦镜将激光聚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自反馈激光液相烧蚀加工装置，包括激光器(1)，第一反射镜(2)、聚焦镜(3)、液体池(4)和旋转台(5)；其特征在于：/n激光器(1)发出的水平激光经过第一反射镜(2)的反射后竖直向下射入聚焦镜(3)；聚焦镜(3)将激光聚焦到安装在旋转台(5)表面的样品表面；旋转台(5)设置在液体池(4)内底部，液体池(4)内具有去离子水，去离子水浸没旋转台(5)以及旋转台(5)上的样品，且去离子水的液面和样品表面的高度差为5-15mm；还设置有石英盖、加水模块、控制模块(6)和反馈检测模块；石英盖设置在液体池(4)的上开口处，用于使光透过的同时阻挡液体池(4)内的水溅出；/n反馈检测模块具有第二反射...

【技术特征摘要】
1.一种自反馈激光液相烧蚀加工装置，包括激光器(1)，第一反射镜(2)、聚焦镜(3)、液体池(4)和旋转台(5)；其特征在于：
激光器(1)发出的水平激光经过第一反射镜(2)的反射后竖直向下射入聚焦镜(3)；聚焦镜(3)将激光聚焦到安装在旋转台(5)表面的样品表面；旋转台(5)设置在液体池(4)内底部，液体池(4)内具有去离子水，去离子水浸没旋转台(5)以及旋转台(5)上的样品，且去离子水的液面和样品表面的高度差为5-15mm；还设置有石英盖、加水模块、控制模块(6)和反馈检测模块；石英盖设置在液体池(4)的上开口处，用于使光透过的同时阻挡液体池(4)内的水溅出；
反馈检测模块具有第二反射镜(7)、滤光片(8)和光检测器(9)，第二反射镜(7)设置在石英盖的上方不阻挡激光的位置，用于将激光液相烧蚀时产生的烧蚀光进行反射；滤光片(8)和光检测器(9)设置在与第二反射镜(7)配合的位置，使得激光液相烧蚀时产生的烧蚀光可以被第二反射镜(7)反射后穿过滤光片(8)到达光检测器(9)；光检测器(9)检测光信号的强度并将其强度数据发送至控制模块(6)；
滤光片(8)设置为滤除激光器(1)发...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩坤，解国良，蔡鑫，褚兴荣，韩雪，
申请(专利权)人：宁波齐云新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33