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本实用新型涉及一种自反馈激光液相烧蚀加工装置。在激光液相烧蚀中加入了自反馈的功能，使用光检测器检测烧蚀过程中由于激光与样品相互作用产生的烧蚀光；由于烧蚀光的波长时一个较宽的范围，同时由于烧蚀光的强度会随着相互作用的激烈程度增大而增大；当液体...
该专利属于宁波齐云新材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波齐云新材料技术有限公司授权不得商用。

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