一种供气系统及其制作方法技术方案

本申请涉及真空布气的领域，尤其是涉及一种供气系统及其制作方法，其中，一种供气系统包括内管与套设于内管外的外管，所述内管与外管贴合，所述内管外壁开设有通气槽；所述内管上开设有进气口，所述外管上开设有至少两个出气口，所述通气槽一端与进气口连通，另一端与出气口连通；所述通气槽上进气口与各出气口之间形成的通气通道的长度相等。本申请的供气系统供气更加均匀，具有提高基体品质的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种供气系统及其制作方法
本申请涉及真空布气的领域，尤其是涉及一种供气系统及其制作方法。
技术介绍
真空镀膜是指在真空环境下，金属或金属氧化物变成气态原子或分子，沉积在金属或非金属表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜广泛应用在模具的保护上，镀膜可协助模具散热、延长模具使用寿命、增加脱膜性与成型率、提升产品良率等。真空镀膜方法包括阴极溅射镀膜法，这种方法是将作为膜的靶材放在阴极上，将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体如氩气通入已抽真空的室内，保持压强约1.33～13.30Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极的靶材，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气体沉积到基体上形成膜。阴极溅射镀膜在真空室内进行，通常真空室内设有基体和一个供气口，供气口提供气体，气体通过供气口进入真空室内，在靶材与基体之间布气，从而为基体的镀膜提供镀膜条件。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：由于供气口与靶材各部位之间的距离不相同，气体从供气口进入真空室内后，布气不均匀，也就是气体难以均匀分散在靶材附近，使靶材原子分布不均匀，很容易导致基体镀膜不均匀，甚至很容易导致基体远离供气口的部位上的膜厚不达标，于是无法很好的保护基体以及改善基体的特性，给基体的品质造成一定影响。针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有供气不均匀从而影响基体品质的缺陷。
技术实现思路
为了改善供气不均匀的问题，本申请提供一种供气系统及其制作方法。第一方面，本申请提供一种供气系统，采用如下的技术方案：一种供气系统，包括内管与套设于内管外的外管，所述内管与外管贴合，所述内管外壁开设有通气槽；所述内管上开设有进气口，所述外管上开设有至少两个出气口，所述通气槽一端与进气口连通，另一端与出气口连通；所述通气槽上进气口与各出气口之间形成的通气通道的长度相等。通过采用上述技术方案，通过设置内管与外管，内管与外管贴合，从进气口往内管内通入气体后，气体能够进入通气槽，在通气槽内流动，随后从出气口流出，实现供气系统的供气作用。由于出气口开设有至少两个，且通气槽上进气口与各出气口之间形成的通气通道的长度相等，即气体通入进气口后依次经过各沟槽单元至任一出气口流出时所流通的路程是相同的，使得气体能够分散流出，从而达到更加均匀供气的目的，具有提高基体品质的效果。可选的，所述通气槽包括若干级依次连通的沟槽单元，所述沟槽单元包括一个进气端与两个出气端；第一级沟槽单元的进气端连通于进气口，出气端连通于下一沟槽单元的进气端；中间沟槽单元的进气端连通于上一沟槽单元的出气端，出气端连通于下一沟槽单元的进气端；最后一级沟槽单元的进气端连通于上一沟槽单元的出气端，出气端连通于出气口；从进气口依次经过各级沟槽单元至任一出气口之间的通道均形成通气通道，通气通道将气流均分；优选的，当出气口的数量大于2时，所述出气口等间距分布；优选的，上一沟槽单元出气端横截面面积为下一沟槽单元进气端横截面面积的两倍。通过采用上述技术方案，相邻两个沟槽单元之间通过进气端与出气端相互连通，且沟槽单元与进气口、出气口均连通，从而实现了通气槽供气体流动的功能。在一定程度上，沟槽单元越多，气体流动通路越多，气体越分散，供气越均匀。另外，通过限定出气口的分布方式以及上一沟槽单元出气端和下一沟槽单元进气端的横截面面积，能够进一步提高供气的均匀性。可选的，所述沟槽单元包括中部连通于进气口的第一沟槽，以及连通于第一沟槽两端的第二沟槽，所述第二沟槽远离第一沟槽一端连通于下一沟槽单元的第一沟槽中部或出气口。通过采用上述技术方案，气体从进气口进入相邻沟槽单元后，先进入第一沟槽，流经第一沟槽后进入第二沟槽，随后流经第二沟槽后进入下一沟槽单元的第一沟槽，以此循环往复，直到气体流经最后一沟槽单元的第二沟槽从出气口流出，完成供气过程。可选的，所述第二沟槽远离第一沟槽一端垂直连通于下一沟槽单元的第一沟槽中部。通过采用上述技术方案，当第二沟槽垂直连通于下一沟槽单元的第一沟槽时，气体能够从第二沟槽垂直进入下一沟槽单元的第一沟槽，随后均匀的往第一沟槽的两端流动，从而有助于气体的均匀分布，以及均匀供气。可选的，所述第一沟槽与第二沟槽连通处设有流通件，所述流通件一端连通于第一沟槽，另一端连通于第二沟槽。通过采用上述技术方案，流通件用于连通第一沟槽与第二沟槽，供气体流通。可选的，所述流通件的两端分别直线连通于第一沟槽或第二沟槽，所述流通件的两端形成直角、弧形或钝角。通过采用上述技术方案，直角的设置便于对流通件进行加工。弧形对气流的阻力更小，更有利于气体的快速流出。钝角使第一沟槽倾斜连接于第二沟槽，减短了气体流通的路程，同样有利于气体的快速流出。可选的，所述第二沟槽连通出气口一端内底壁为弧面。通过采用上述技术方案，通气槽内底壁弧面的设置减小了气阻，使气体能够更加流畅的流向出气口，具有提高供气效率的效果。可选的，所述第二沟槽与下一沟槽单元的第一沟槽连通处设有扩流槽，所述扩流槽的两端分别连通于第二沟槽与下一沟槽单元的第一沟槽，所述扩流槽的槽径从连通第二沟槽往连通下一沟槽单元的第一沟槽的方向逐渐增大；优选的，所述第一沟槽连通上一沟槽单元的第二沟槽处内壁设有凸块，所述凸块的宽度从靠近上一沟槽单元的第二沟槽往靠近第一沟槽的方向逐渐减小。通过采用上述技术方案，扩流槽增大了第二沟槽连通下一沟槽单元的第一沟槽的一端的开口，即增大了气体从第二沟槽进入下一沟槽单元的第一沟槽的空间，有利于气体的快速流动，达到提高供气效率的目的。凸块能够对进入第一沟槽的气体进行分流，使气体分散进入第一沟槽的两端，进一步提高供气效率。扩流槽与凸块配合使用，供气效率更高。可选的，所述通气槽内壁为弧形；优选的，所述外管内壁开设有凹槽，所述凹槽内壁为与通气槽内壁相配合的弧形。通过采用上述技术方案，弧形的设置有利于减小通气槽内壁对空气的阻力，使得供气效率更高。通过在外管内壁开设有凹槽，凹槽与通气槽连通后气体能够从凹槽与通气槽之间通过，增大了气体流动的空间，进一步有利于提高供气效率。可选的，所述内管与外管过盈配合。通过采用上述技术方案，内管与外管过盈配合能够使内管与外管更加紧密的贴合，有效的提高了内管与外管之间的气密性，有助于进一步提高供气效率和供气均匀性。第二方面，本申请提供一种供气系统的制作方法，采用如下的技术方案：一种供气系统的制作方法，包括以下步骤：降低温度使外管内径大于内管外径，将外管套设于内管外，将温度升高至内管膨胀后与外管贴合；其中，所述内管的膨胀系数大于外管的膨胀系数。通过采用上述技术方案，在内管的膨胀系数大于外管的膨胀系数的前提下，在低温下将外管套设于内管外后，基于热胀冷缩的原理，当套接后的内管与外管在室温或者高温下使用时，内管受热膨胀后能够与外管紧密贴合，从而将内管与外管组装在一起。综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.通过设置内管与外管，内管与外管贴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供气系统，其特征在于：包括内管（1）与套设于内管（1）外的外管（2），所述内管（1）与外管（2）贴合，所述内管（1）外壁开设有通气槽（13）；所述内管（1）上开设有进气口（11），所述外管（2）上开设有至少两个出气口（21），所述通气槽（13）一端与进气口（11）连通，另一端与出气口（21）连通；所述通气槽（13）上进气口（11）与各出气口（21）之间形成的通气通道的长度相等。/n

【技术特征摘要】
1.一种供气系统，其特征在于：包括内管（1）与套设于内管（1）外的外管（2），所述内管（1）与外管（2）贴合，所述内管（1）外壁开设有通气槽（13）；所述内管（1）上开设有进气口（11），所述外管（2）上开设有至少两个出气口（21），所述通气槽（13）一端与进气口（11）连通，另一端与出气口（21）连通；所述通气槽（13）上进气口（11）与各出气口（21）之间形成的通气通道的长度相等。


2.根据权利要求1所述的一种供气系统，其特征在于：所述通气槽（13）包括若干级依次连通的沟槽单元（131），所述沟槽单元（131）包括一个进气端与两个出气端；第一级沟槽单元（131）的进气端连通于进气口（11），出气端连通于下一沟槽单元（131）的进气端；中间沟槽单元（131）的进气端连通于上一沟槽单元（131）的出气端，出气端连通于下一沟槽单元（131）的进气端；最后一级沟槽单元（131）的进气端连通于上一沟槽单元（131）的出气端，出气端连通于出气口（21）；从进气口（11）依次经过各级沟槽单元（131）至任一出气口（21）之间的通道均形成通气通道，通气通道将气流均分；优选的，当出气口（21）的数量大于2时，所述出气口（21）等间距分布；优选的，上一沟槽单元（131）出气端横截面面积为下一沟槽单元（131）进气端横截面面积的两倍。


3.根据权利要求2所述的一种供气系统，其特征在于：所述沟槽单元（131）包括中部连通于进气口（11）的第一沟槽（1311），以及连通于第一沟槽（1311）两端的第二沟槽（1312），所述第二沟槽（1312）远离第一沟槽（1311）一端连通于下一沟槽单元（131）的第一沟槽（1311）中部或出气口（21）。


4.根据权利要求3所述的一种供气系统，其特征在于：所述第二沟槽（1312）远离第一沟槽（1311）...

【专利技术属性】
技术研发人员：张德军，杨武华，
申请(专利权)人：深圳市创基真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44