一种反应室温度监控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种反应室温度监控装置，其包括安装于被监控反应室的温度传感模块，温度监测模块，报警模块以及电源模块，其中上述温度传感模块用于检测温度并向上述温度监测模块发送温度信号，上述温度监测模块根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块，上述电源模块为上述反应室温度监控装置提供电源。本实用新型专利技术可防止半导体制造过程中由于反应室内温度漂移过大造成的产品报废，从而提高产品成品率，节约生产原料，且可防范安全事故。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及温度监控
，且特别涉及一种在半导体制造过程中对反应室的温度进行监控的反应室温度监控装置。
技术介绍
在电子、半导体等制造行业，对生产环境而言需要控制温、湿度，尤其是在半导体元件的制造过程中，需要对各机台，特别是反应室严格限制温度范围，超出或低于某一设定温度会对产品造成损害，导致废品率提高。另外，如果对温度监控稍有疏忽，还可能发生安全事故。目前，对反应室的温度监控一般采用人工采样的方式，效率低，精度差，不利于生产管理和控制。
技术实现思路
为克服目前反应室异常运行导致温度漂移过大造成产品报废的缺陷，本技术的目的在于提供一种监控反应室温度的温度监控装置。为达到上述目的，本技术的反应室温度监控装置包括：安装于被监控反应室的温度传感模块，温度监测模块，报警模块以及电源模块，其中上述温度传感模块用于检测温度并向上述温度监测模块发送温度信号，上述温度监测模块根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块，上述电源模块为上述反应室温度监控装置提供电源。本技术的反应室温度监控装置还可以包括无线传输模块，用于接受温度监测模块的输出信号，并将该信号发送至远程报警装置。上述温度传感模块的温度传感器可以有两个以上，分别设置于反应室-->的不同部位。上述温度传感模块的温度传感器可以是所属
的技术人员公知的传感器，例如热电偶。另外，上述温度监测模块设有一控制面板，用于进行温度范围设定等操作。本技术的有益效果是，当本装置检测到反应室温度发生异常变化时，立即发出报警信号，工作人员可马上采取措施，调整反应室的设置，使其回到正常工作温度，防止温度漂移对产品的损坏，以降低产品报废率，并起到预防安全事故的作用。本技术还可采用多个温度传感模块，可监测反应室的多个位置的温度，提高了整套装置的可靠性，防止温度误报。本技术还可以应用无线传输模块，方便管理人员在不同位置对温度进行实时监控，提高生产效率。为让本技术之上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。附图说明图1为本技术的一个较佳实施例的电连接示意图；图2为本技术的温度监测模块的控制面板的示意图。具体实施方式本技术的一个较佳实施例如图1所示，图中，温度传感模块1采用一热电偶作为温度传感器，热电偶的负极电连接温度监控模块2的接点24，热电偶的正极电连接温度监控模块2的接点25。温度监测模块2的接点26、27并联连接于告警模块3的蜂鸣器31的一端，蜂鸣器31的另一端电连接开关32，开关32另一端电连接电源模块5的零线端。温度监控模块2的接点29电连接电源模块5的零线端，温度监控模块2的接点30电连接电源模块5的火线端。温度监控模块2的接点28与接点30电连接，接点28的电压为120伏。温度监控模块2设有一控制面板6。无线传输模块4电连接温度监控模块2的接点20、21。当所监控的反应室温度大于所设置的上限温度，例如为115℃时，温度监控-->模块2的接点28与接点26导通，接点27截止，接点26输出电压至告警模块3，形成一电通路，蜂鸣器31开始报警；当所监控的反应室温度小于所设置的下限温度例如为105℃时，温度监控模块2的接点28与接点27导通，接点26截止，接点27输出电压至告警模块3，形成一电通路，蜂鸣器31开始报警。温度监控模块2还可以传送温度监测数据至无线传输模块4，无线传输模块4发送数据至远程监控装置。接下来请参照图2，如图所示，设置温度监测模块2的温度上下限值的方法详细叙述如下。在控制面板6上，首先按键61大约5秒，然后通过按键62找到上限(ALT1)，设置一种警报种类；下限(ALT2)，设置一种警报种类。最后再按键61大约5秒回到主页面。再设定温度报警范围，首先按键62找到AL-1和AL-2，通过上下键63、64设定报警范围。最后设定控制面板上的显示设置，首先按键61，然后通过按键62找到“ENS”，最后按上下键63、64使控制面板的显示与反应室机台的控制面板的显示相匹配。本技术虽然是一种反应室的温度监控装置，但所属
的技术人员均可知道其也可以用于其他机台的温度控制。虽然本技术已以较佳实施例披露如上，然其并非用以限定本技术，任何所属
的技术人员，在不脱离本技术之精神和范围内，当可作些许之更动与改进，因此本技术之保护范围当视权利要求所界定者为准。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反应室温度监控装置，其特征在于，包括：安装于被监控反应室的温度传感模块（１），温度监测模块（２），报警模块（３）以及电源模块（５），其中上述温度传感模块（１）用于检测温度并向上述温度监测模块（２）发送温度信号，上述温度监测模块（２）根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块（３），上述电源模块（５）为上述反应室温度监控装置提供电源。

【技术特征摘要】
1.一种反应室温度监控装置，其特征在于，包括：安装于被监控反应室的温度传感模块(1)，温度监测模块(2)，报警模块(3)以及电源模块(5)，其中上述温度传感模块(1)用于检测温度并向上述温度监测模块(2)发送温度信号，上述温度监测模块(2)根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块(3)，上述电源模块(5)为上述反应室温度监控装置提供电源。2.根据权利要求1所述的反应室温度监控装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋民峰，刘晓兵，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]