一种样品台及扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术涉及电子扫描显微装置技术领域，提供了一种样品台及扫描电子显微镜，该样品台包括：基台体，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面；所述水平台面沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面沿竖直方向设置，所述第一斜台面呈倾斜设置。本实用新型专利技术提供的样品台，基台体具有面向检测部件设置的第一端面，在第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面，可以同时用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种样品台及扫描电子显微镜
本技术涉及电子扫描显微装置
，具体涉及一种样品台及扫描电子显微镜。
技术介绍
SEM(ScanningElectronMicroscope，扫描电子显微镜)是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜，是一种新型的电子仪器，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。SEM的焦深比TEM(TransmissionElectronMicroscope，透射电子显微镜)大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜更多的信息。SEM所显示的断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，具有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品台，其特征在于，包括：/n基台体(1)，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面(5)、第一垂直断面台面(4)和第一斜台面(3)；所述水平台面(5)沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面(4)沿竖直方向设置，所述第一斜台面(3)呈倾斜设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种样品台，其特征在于，包括：
基台体(1)，具有面向检测部件设置的第一端面；所述第一端面上至少包括水平台面(5)、第一垂直断面台面(4)和第一斜台面(3)；所述水平台面(5)沿水平方向设置，所述第一垂直断面台面(4)沿竖直方向设置，所述第一斜台面(3)呈倾斜设置。


2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，
所述第一端面上还包括倾斜角度与所述第一斜台面(3)的倾斜角度不同的第二斜台面(7)。


3.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，
所述基台体(1)上设有凹槽，所述凹槽的槽底为所述水平台面(5)，所述凹槽的其中一个侧壁为所述第一垂直断面台面(4)。


4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，
所述凹槽为矩形槽，所述第一端面上还包括作为所述矩形槽的另一侧壁的第二垂直断面台面(6)。


5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，
所述矩形槽的其中一个槽口边缘向靠近所述基台体(1)的一侧边缘的方向倾斜延伸形成所述第一斜台面(3)；
所...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：安徽;34