下载一种样品台及扫描电子显微镜的技术资料

文档序号:29685730

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本实用新型涉及电子扫描显微装置技术领域,提供了一种样品台及扫描电子显微镜,该样品台包括:基台体,具有面向检测部件设置的第一端面;所述第一端面上至少包括水平台面、第一垂直断面台面和第一斜台面;所述水平台面沿水平方向设置,所述第一垂直断面台面沿...
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