一种扫描电镜用样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜用样品台，属于扫描电镜测试技术领域，包括圆柱形的样品台本体；在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道；每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道，每条滑道的一端位于样品台本体的侧面，每条滑道的长度小于样品台本体的半径；所述直线与样品台本体的一条直径重合；在每条滑道上安装有一根立柱，所述立柱包括与所述滑道配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；在所述立杆上套接有压片；在所述立杆上开设有与螺母配合的外螺纹，所述滑道的轴截面成凸字形。本实用新型专利技术不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜用样品台
本技术属于扫描电镜测试
，具体涉及一种扫描电镜用样品台。
技术介绍
众所周知，扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大，视野大，成像立体效果好。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。目前，扫描电镜测试中一般使用碳导电胶带固定样品，但对于减薄后的样品或InP、铌酸锂等易碎片，用碳胶带固定后，取样时容易造成样品断裂。且导电性差的样品通常需要喷金或者搭导电胶带改善导电性。
技术实现思路
本技术为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种不需要碳胶带固定样品，便于取放样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜用样品台；包括圆柱形的样品台本体(1)；其特征在于：/n在所述样品台本体(1)的上表面开设有N组滑道(5)；每组滑道(5)包括位于同一直线上的两条滑道(5)，每条滑道(5)的一端位于样品台本体(1)的侧面，每条滑道(5)的长度小于样品台本体(1)的半径；所述直线与样品台本体(1)的一条直径重合；N为大于1的自然数；/n在每条滑道(5)上安装有一根立柱(2)，所述立柱(2)包括与所述滑道(5)配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；/n在所述立杆上套接有压片(4)；/n在所述立杆上开设有与螺母(3)配合的外螺纹。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜用样品台；包括圆柱形的样品台本体(1)；其特征在于：
在所述样品台本体(1)的上表面开设有N组滑道(5)；每组滑道(5)包括位于同一直线上的两条滑道(5)，每条滑道(5)的一端位于样品台本体(1)的侧面，每条滑道(5)的长度小于样品台本体(1)的半径；所述直线与样品台本体(1)的一条直径重合；N为大于1的自然数；
在每条滑道(5)上安装有一根立柱(2)，所述立柱(2)包括与所述滑道(5)配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；
在所述立杆上套接有压片(4)；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：姬静远，王磊，白国人，陈帅，陈景春，曲迪，
申请(专利权)人：天津华慧芯科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12