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本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台,属于扫描电镜测试技术领域,包括圆柱形的样品台本体;在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道;每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道,每条滑道的一端位于样品台本体的侧面,每条滑道的长度小于样品台本体的半径;所...该专利属于天津华慧芯科技集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津华慧芯科技集团有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台,属于扫描电镜测试技术领域,包括圆柱形的样品台本体;在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道;每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道,每条滑道的一端位于样品台本体的侧面,每条滑道的长度小于样品台本体的半径;所...